专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]晶片的加工方法-CN202111312130.5在审
  • 中村胜 - 株式会社迪思科
  • 2021-11-08 - 2022-05-10 - H01L21/78
  • 晶片的加工方法包含如下的步骤:激光加工槽形成步骤,通过对于膜或基板具有吸收性的波长的激光光线,在晶片的背面形成将膜局部地去除的激光加工槽;预备磨削步骤,对晶片的背面进行磨削而将膜和激光加工槽去除,形成规定以上的厚度的晶片;形成步骤,将对于基板具有透过性的波长的激光光线的聚光点定位于基板的内部而从晶片的背面侧进行照射,在基板的内部形成沿着分割预定线的;以及磨削步骤,从背面侧对晶片进行磨削,将晶片薄化至完工厚度,并且沿着将晶片分割成芯片
  • 晶片加工方法
  • [发明专利]加工方法-CN202210666026.4在审
  • 中村胜 - 株式会社迪思科
  • 2022-06-14 - 2023-01-06 - H01L21/268
  • 本发明提供加工方法,能够在被加工物的内部适当地形成。;片覆盖工序,利用具有透过性的片将卡盘工作台的上表面与被加工物一同覆盖;紧贴工序,在卡盘工作台的保持面上产生吸引力,将被片覆盖的区域减压,通过施加至片的大气压而使被加工物紧贴于卡盘工作台的上表面;以及形成工序,隔着片而将激光光线的聚光点定位于被加工物的内部,向被加工物照射激光光线而形成
  • 加工方法
  • [发明专利]晶片的加工方法-CN201310499177.6有效
  • 关家一马 - 株式会社迪思科
  • 2013-10-22 - 2018-01-23 - H01L21/78
  • 本发明提供晶片的加工方法,包括以使得聚光点对齐到内部的方式沿着分割预定线照射相对于晶片具有透过性的波长的激光光线,在晶片的内部沿着分割预定线形成作为断裂起点的形成步骤;以及对晶片的背面磨削而将晶片形成为规定厚度,并且沿着形成了而强度降低的分割预定线而分割为各个器件的背面磨削步骤,至少在实施该背面磨削步骤之前,实施将被冷却至比实施该背面磨削步骤时的温度低的温度的保护部件贴合于晶片的表面的保护部件贴合步骤,
  • 晶片加工方法
  • [发明专利]晶片的生成方法-CN201610373433.0有效
  • 平田和也 - 株式会社迪思科
  • 2016-05-31 - 2019-07-30 - B23K26/53
  • 晶片的生成方法具有:分离起点形成步骤,将对于六方晶单晶锭具有透过性的波长的激光束聚光点定位在距正面相当于要生成的晶片厚度的深度,并且使聚光点与锭相对地移动而对正面照射激光束,形成与正面平行的和从伸长的裂痕而形成分离起点如果将聚光光斑的直径设为d、将相邻的激光束的聚光光斑的间隔设为x,则按照‑0.3≤(d‑x)/d≤0.5的范围照射激光束而形成
  • 晶片生成方法
  • [发明专利]晶片的生成方法-CN201610373778.6有效
  • 平田和也 - 株式会社迪思科
  • 2016-05-31 - 2020-02-21 - B23K26/53
  • 晶片的生成方法具有:分离起点形成步骤,将对于六方晶单晶锭具有透过性的波长的激光束聚光点定位在距正面相当于要生成的晶片厚度的深度,使聚光点与锭相对地移动而对正面照射激光束,形成与正面平行的和从伸长的裂痕而形成分离起点在分离起点形成步骤中,在形成有偏离角的方向上将激光束的聚光点隔着规定的间隔定位2个以上而同时形成2条以上的直线状的
  • 晶片生成方法
  • [发明专利]晶片的加工方法-CN201610522458.2有效
  • 中村胜 - 株式会社迪思科
  • 2016-07-05 - 2020-06-19 - H01L21/784
  • 本发明的课题在于提供晶片的加工方法,当在形成了由脉冲激光光线形成的和裂痕之后执行磨削工序而分割成各个器件的情况下,不会导致器件的品质降低。为了解决上述课题,将在本发明的晶片的加工方法的形成工序中设定的脉冲激光光线的功率设定为按照如下的方式形成以及裂痕的功率:通过按照在背面磨削工序中设定的规定的磨削条件进行磨削,从而能够在达到完工厚度之前将晶片分割成各个器件芯片
  • 晶片加工方法
  • [发明专利]晶片的生成方法-CN201610512179.8有效
  • 平田和也 - 株式会社迪思科
  • 2016-06-30 - 2019-11-19 - B28D5/00
  • 从六方晶单晶锭生成晶片的晶片的生成方法包含形成步骤,c轴相对于锭正面的垂线倾斜偏离角,在正面与c面之间在与形成有偏离角的方向垂直的方向上使激光束的聚光点相对地移动而形成直线状的。在形成步骤中,在激光束的光斑面积全部与锭的上表面交叠之前以从未达到相当于晶片的厚度的深度的位置起描绘抛物线的方式定位激光束的聚光点,在光斑面积全部与上表面交叠的时刻将聚光点定位在相当于晶片的厚度的深度
  • 晶片生成方法

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