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[发明专利]用于半导体工件的热处理装置和精确测温方法-CN202310762006.1在审
发明人：王文岩;冀建民;李文艺 -专利权人：北京屹唐半导体科技股份有限公司
申请日： 2023-06-26 - 公布日： 2023-08-15 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：所述热处理装置包括一个或多个加热元件；上盖板和下盖板；反应腔室，由上盖板、下盖板和反应腔室主体限定；工件支撑元件；位于上盖板一端的红外发射器；位于上盖板另一端的红外反射传感器，和位于下盖板另一端的红外透射传感器；红外发射器和红外反射传感器位于上盖板面向反应腔室的一侧，红外透射传感器位于下盖板面向反应腔室的一侧；且红外发射器位于反应腔室主体一端的侧壁上，红外反射传感器和红外透射传感器位于反应腔室主体另一端的侧壁上
用于半导体工件热处理装置精确测温方法

[实用新型]一种恒定pH反应箱-CN201620173228.5有效
发明人：陈嘉琦;严绍军;时红莲;赵莽 -专利权人：中国地质大学（武汉）
申请日： 2016-03-07 - 公布日： 2016-07-27 - 主分类号： G01N17/00 文献下载
摘要：本实用新型涉及岩石及建筑材料抗酸性能试验技术领域，具体涉及一种恒定pH反应箱。其包括下部的调配室和上部的反应室，在反应室的侧壁的上部设置有入酸口，在入酸口的下方设置有体积感应器，在侧壁的底部设置有出水口，在出水口的上方设置有入水口。其还包括至少一个回酸装置，回酸装置包括与调配室的下部连通的回酸口、泵送器以及与反应室连通的若干喷头，回酸口通过管道与泵送器的入液端连通，各喷头通过管道与泵送器的出液端连通。本实用新型所提供的恒定pH反应箱可以利用喷雾型喷酸设计保持试样沐浴在恒定的酸环境中；在喷洒后留下的水中可加入适量的酸溶液达到预定酸浓度；调配后的酸溶液再次喷撒入反应室达到循环利用，减少酸消耗的目的。
一种恒定 ph 反应

[发明专利]一种反应腔室和反应设备-CN201410269591.2有效
发明人：杨玉杰 -专利权人：北京北方华创微电子装备有限公司
申请日： 2014-06-17 - 公布日： 2018-12-11 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明提供一种反应腔室和反应设备，包括用于承载被加工工件的基座和工艺组件，所述工艺组件包括遮蔽件，所述遮蔽件包括上遮蔽件和下遮蔽件，所述下遮蔽件的底部为Ｕ型槽结构，所述Ｕ形槽包围所述上遮蔽件的底部，所述Ｕ形槽靠近所述反应腔室侧壁的一侧的下部开有至少一个第一气孔。本发明提供的反应腔室和反应设备的技术方案中，第一气孔开设在下遮蔽件的底部临近气源进口，反应气体可以直接进入处理区域。通过上述进气方式，反应气体能够充分均匀的扩散至反应腔室，以至于影响反应气体在反应腔室中的比例成分以及提高反应气体进入反应腔室的扩散效果和均匀性，从而获得更好的薄膜。
一种反应设备

[实用新型]一种药品生产用反应釜-CN201820588501.X有效
发明人：邵冰;刘佳;李玉红 -专利权人：邵冰
申请日： 2018-04-24 - 公布日： 2019-04-19 - 主分类号： B01J19/18 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种药品生产用反应釜，包括反应室和支撑柱，所述反应室底端固定连接有支撑柱，所述反应室外围固定连接有保温板，所述反应室内侧壁固定连接有加热丝，所述反应室内部一侧固定连接有出水口，所述出水口底端固定设有稳流板，所述反应室内底端固定连接有一号过滤板，所述反应室底部固定连接有连接管，所述连接管底端固定连接有过滤箱。本实用新型设计新颖，结构简单，能够对原料和水液进行充分搅拌，以便于原料和水液彻底混合，同时可以随反应室进行加热，从而可以提升原料和水液的混合速度，以便于提升装置对药液的生产效率，其次，可以对反应室进行清理，防止反应室内部残留的药液影响到反应室的下次使用。
反应室底端水液本实用新型药品生产出水口反应釜连接管室内部支撑柱生产效率室内侧壁提升装置保温板过滤板过滤箱加热丝稳流板加热残留室内外围

[实用新型]一种密封装置-CN201220386693.9有效
发明人：魏景峰;李一吾;龙睿芬;刘东 -专利权人：北京七星华创电子股份有限公司
申请日： 2012-08-06 - 公布日： 2013-03-13 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种密封装置，包括反应腔室、位于反应腔室两端的进气法兰组件、排气法兰组件以及关节轴承，所述进气法兰组件与反应腔室之间设有密封圈，所述排气法兰组件与反应腔室的接触面之间设有密封圈，所述排气法兰组件与所述关节轴承连接实用新型提供的密封装置，可减小压力分布不均造成的冲击，避免接触到反应腔室侧壁的边缘造成损坏；通过气路控制系统控制气缸的速度和压力，保持密封压力的恒定；减少对其进行维护和更换时的磨损，延长反应腔室的使用寿命
一种密封装置

[实用新型]反应室-CN201822182152.4有效
发明人：杨专青;马五吉;龚恒翔 -专利权人：重庆理工大学
申请日： 2018-12-25 - 公布日： 2019-08-27 - 主分类号： C23C16/54 文献下载
摘要：本实用新型公开一种反应室，反应室本体内水平设有反应腔，上升降板的上板面沿反应腔长度方向并排固定有一组上碘钨灯，该上碘钨灯的长度方向朝反应室本体的前、后侧壁，下升降板下板面对应上碘钨灯固定有一组下碘钨灯；上、下升降板之间的区域为反应区，而下升降板的上板面配设有多组不同厚度的衬底模板，该衬底模板上的安装孔用于放置相应厚度的衬底。本案增设了上、下升降板，这样就便于根据需要调整上、下升降板之间的间距，也能使衬底模板的顶面与反应腔的下壁平齐，这样就能避免反应区处的气流场畸变。有效保证薄膜的制备质量。
下升降板碘钨灯衬底反应腔反应室本体反应室上板面本实用新型并排固定反应区处上升降板水平设有安装孔反应区后侧壁气流场畸变顶面平齐下板下壁薄膜制备增设保证

[发明专利]反应室-CN200980144064.6有效
发明人： M·吉文斯;M·G·古德曼;M·霍金斯;B·哈莱克;H·特霍斯特 -专利权人： ASM美国公司
申请日： 2009-11-02 - 公布日： 2011-09-28 - 主分类号： H01L21/205 文献下载
摘要：本发明提供一种反应室，该反应室中界定有反应空间，其中该反应空间为可调节的，以形成流过该反应空间的气体的实质稳定的层流。该实质稳定的层流被配置为提高在反应室内处理的基板上的沉积均匀性，从而提供可预测的沉积轮廓。
反应

[发明专利]反应室-CN201080006806.1无效
发明人： J·佩尔托涅米;P·索伊尼宁 -专利权人： BENEQ有限公司
申请日： 2010-02-08 - 公布日： 2012-01-04 - 主分类号： C23C16/455 文献下载
摘要：本发明涉及用于原子层沉积反应器的反应室，该反应室包括用于在反应室内部提供反应空间的外壁(2、4；40、42、44、46)。根据本发明，反应室的至少一个外壁(2、4；40、42、44、46)由柔性薄板构成。
反应

[实用新型]煤分级气化装置-CN201821719255.3有效
发明人：聂永广;周三;马丽荣;孙中卫;王蕾 -专利权人：新奥科技发展有限公司
申请日： 2018-10-23 - 公布日： 2019-09-10 - 主分类号： C10J3/20 文献下载
摘要：本实用新型提出了一种煤分级气化装置，包括：相连通的气化反应器、加氢热解器，加氢热解器设置在气化反应器的上方，气化反应器包括气化室，气化室的侧壁上设置有一段气化工艺烧嘴，气化室的下部设置有排渣口；加氢热解器的上部侧壁上设置有合成气出口、中部侧壁上设置有二段粉煤喷嘴、下部侧壁上设置有旋风返料口；合成气出口与旋风返料口连通。通过自下而上设置的气化反应器和加氢热解器，加氢热解器中部设置二段粉煤喷嘴，在加氢热解器中的煤粉和氢气与气化反应器生成的高温合成气混合升温，发生加氢热解反应生成大量轻质油品和半焦，该半焦向下运动，可以部分转化为轻质油品从而可以进一步提高煤焦油收率和品质
加氢热解气化反应器气化室煤焦油合成气出口粉煤喷嘴气化装置轻质油品返料口煤分级半焦收率旋风本实用新型高温合成气气化工艺上部侧壁下部侧壁向下运动中部侧壁氢气排渣口侧壁煤粉烧嘴连通转化

[发明专利]离子交换树脂自动再生系统及方法-CN202210466537.1在审
发明人：云昌锋;戴鑫;郑清瀚;张龙明;田利;周恩哲;钮宾;吴清阳;陈裕忠;曹士海;孙甜 -专利权人：华能国际电力股份有限公司;华能洋浦热电有限公司;浙江西热利华智能传感技术有限公司
申请日： 2022-04-29 - 公布日： 2022-07-29 - 主分类号： B01J49/30 文献下载
摘要：本发明属于材料处理技术领域，涉及一种全自动离子交换树脂再生系统及方法，再生系统包括反应壳体、离子交换膜以及纯水罐；离子交换膜为两个，两个离子交换膜并行且均垂直放置于反应壳体内底面上，两个离子交换膜的侧壁均与反应壳体内壁相接触，将反应壳体内依次分为阳电解室、再生反应室以及阴电解室；纯水罐置于反应壳体外并分别与阳电解室、再生反应室和阴电解室连通；离子交换膜为阴离子交换膜或阳离子交换膜。
离子交换树脂自动再生系统方法

[实用新型]具备定量配比机构的金属有机框架材料制备装置-CN201921859888.9有效
发明人：栾奕;杜鑫;禹杰 -专利权人：无锡波士思达环保科技有限公司
申请日： 2019-10-31 - 公布日： 2020-09-18 - 主分类号： B01J4/02 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种具备定量配比机构的金属有机框架材料制备装置，包括原料反应室，设置在所述原料反应室顶部的比例控制器、设置在侧壁的原料进料口、从所述原料反应室的顶部延伸至底靠近底部的原料进料机构、与所述原料反应室连接的水热反应釜和包覆所述水热反应釜的温湿度控制室本实用新型的用于金属有机框架材料反应的反应装置，能够实现金属有机框架材料原料的定量配比、混合搅拌、完成水热反应釜内的反应，且能够在该装置内同时实现烘箱加热、降至室温、母液抽滤、反复洗涤、静置、干燥等功能，能够很好地应用于金属有机框架材料反应。
具备定量配比机构金属有机框架材料制备装置

[实用新型]UASB反应器-CN201820076477.1有效
发明人：姜超;吴明超;郭桂永;宋卫旭;王迎春 -专利权人：河北先达环保工程有限公司
申请日： 2018-01-17 - 公布日： 2018-09-04 - 主分类号： C02F3/28 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种UASB反应器，包括罐体，所述罐体内包括自下而上依次连通的污泥床、悬浮室和集水室，所述集水室与所述悬浮室之间设有三相分离器，所述集水室上设有集气室，所述集气室的底端延伸至所述集水室内，所述集水室上部侧壁与所述集气室上部侧壁上分别连通有出水管和出气管，所述罐体底部还设有污水均布装置，所述污水均布装置与所述污泥床连通。本实用新型具有污水与厌氧菌充分接触反应，收集的气体无杂质，三相分离效果好的特点，适用于污水的处理的领域。
集水室集气室罐体污水本实用新型均布装置上部侧壁污泥床悬浮室连通三相分离效果三相分离器充分接触依次连通出气管出水管厌氧菌底端集水室内延伸

[发明专利]带有储物箱的驾驶室侧壁-CN201510247317.X有效
发明人： A.波尔策 -专利权人：曼卡车和巴士股份公司
申请日： 2015-05-15 - 公布日： 2019-12-10 - 主分类号： B62D33/06 文献下载
摘要：本发明涉及一种带有储物箱的驾驶室侧壁(10)，其用于商用汽车的驾驶室。侧壁(10)包括驾驶室门(1)和侧向地布置在驾驶室门(1)旁的储物箱(2)，其用于储藏装载物且具有优选地能够摆动的储物箱外壁(3)。侧壁(10)特征尤其在于，在驾驶室门(1)和储物箱外壁(3)的闭合状态中驾驶室门(1)逐段地遮盖储物箱外壁(3)且以此防止打开。
带有储物箱驾驶室侧壁

[发明专利]地下室侧壁防排水构造-CN201410071711.8无效
发明人：虞功平;韦金炎 -专利权人：中天建设集团有限公司
申请日： 2014-02-28 - 公布日： 2014-05-28 - 主分类号： E02D31/02 文献下载
摘要：本发明公开了一种地下室侧壁防排水构造，在混凝土结构侧壁外侧铺设塑料夹层板，塑料夹层板外侧固定有钢丝网，钢丝网外侧为水泥砂浆抹面层。
地下室侧壁排水构造

[实用新型]带侧壁开关的双室袋-CN201320111139.4有效
发明人：李科;李阳锐;袁媛 -专利权人：重庆莱美药业股份有限公司
申请日： 2013-03-12 - 公布日： 2013-07-17 - 主分类号： A61J1/10 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种带侧壁开关的双室袋，包括软袋和接口，软袋内设置隔离带，软袋由隔离带分割为上室和下室，在隔离带的凹部设置一基座，基座上设有一通孔，通孔的孔壁向接口延伸出基座，在通孔的孔壁的延伸端上连接一硬质管，硬质管的末端封闭，在硬质管的侧壁上具有一薄弱部位，硬质管的外侧壁上设有一弹性压片，弹性压片的自由端设置一垂直于薄弱部位的压杆。在混药之前，末端封闭的硬质管阻断基座的通孔，使软袋内的上室和下室不连通；混药时，按压弹性压片，压杆直接戳穿硬质管的薄弱部位，使软袋内的上室和下室连通便可进行混药操作。
侧壁开关双室袋