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[发明专利]一种雾化辅助CVD薄膜沉积装置-CN201811587320.6有效
发明人：冯倩;龚恒翔;郝跃;张进成;廖飞;杨专青;马五吉 -专利权人：西安电子科技大学;重庆理工大学
申请日： 2018-12-25 - 公布日： 2023-07-14 - 主分类号： C23C18/02 文献下载
摘要：本发明公开一种雾化辅助CVD薄膜沉积装置，包括缓冲混合室、过渡腔和反应室，其中缓冲混合室顶部竖直设有多路气相物进管，该缓冲混合室外壁的左侧设有多路气溶胶进管；上升降板的上板面沿反应腔长度方向并排固定有一组上碘钨灯；上升降板和下升降板的左、右端分别通过一个高度调整组件与反应腔外表面相连，并可以在高度调整组件的作用下调整上、下升降板的高度。本案主要从前驱体混合方式和收集液体方面来保证前驱体的成分、含量，并通过保证气流场稳定和控制温度场这两个个方面来控制反应区的反应环境，上述4个方面的技术手段相互配合，共同实现高质量制备薄膜，且本装置特别适合于制造氧化物薄膜。
一种雾化辅助 cvd 薄膜沉积装置

[发明专利]一种热分解薄膜制备反应装置-CN201810722202.5有效
发明人： 马五吉;龚恒翔;杨专青 -专利权人：重庆理工大学
申请日： 2018-06-26 - 公布日： 2023-05-23 - 主分类号： C23C16/455 文献下载
摘要：本发明公开一种热分解薄膜制备反应装置，石英管进口端的内部同轴设有一根供前驱体气溶胶通过的压缩管，石英管出口端处设有密封套，该密封套连接有尾气收集冷却组件，并在石英管出口端外面套有外冷却管；挡气块由条形连接部和遮挡部构成，其中遮挡部为n形结构，遮挡部的连接边顶部与条形连接部底端固定，该条形连接部上的条形孔中穿设有锁紧螺母。本发明设置用于水平放置衬底的沉积舟，该沉积舟具有热解反应腔，并配合第一、二阻热片和压缩管的缩口能让热解反应腔的流场、温度场恒定，从而让衬底近表面气流场、温度场恒定，同时又通过加载短波长光线和加电场的方式提高前驱体前驱体气溶胶的“活性”，最终保证热解反应的顺利进行，提高薄膜的成膜质量。
一种分解薄膜制备反应装置

[发明专利]一种雷达仿真教学系统、方法、存储介质及电子设备-CN202210025143.2在审
发明人：杨涛;冯江华;王端;马五吉 -专利权人：四川九洲防控科技有限责任公司
申请日： 2022-01-10 - 公布日： 2022-05-13 - 主分类号： G09B9/54 文献下载
摘要：本发明提供了一种雷达仿真教学系统，该系统包括：主控单元，用于接收教员的训练指令，并根据训练指令向实装操作单元发送雷达操控训练数据，以及接收实装操作单元发送的训练结果，并对训练结果进行评估；与主控单元进行通信连接的实装操作单元，用于接收学员的操控指令，并根据操控指令控制雷达模块，以及根据操控指令和训练数据生成训练结果并发送到主控单元。针对雷达操作人员和维修保障人员素质能力需求和教学需求，提供了必要的训练条件，实现了雷达装备的实装模拟，通过提供装备模块的真实工作环境，既可以进行实装操作训练，也可以进行装备故障现象演示、故障模拟及排除训练，提高了雷达装备操作人员和维修保障人员训练水平。
一种雷达仿真教学系统方法存储介质电子设备

[发明专利]一种无人机反制装置以及系统-CN202010150446.8在审
发明人：张宇;吴健;祁麟;刘佳雨;马五吉 -专利权人：四川九洲防控科技有限责任公司
申请日： 2020-03-04 - 公布日： 2021-09-07 - 主分类号： H04K3/00 文献下载
摘要：本公开公开了一种无人机反制装置以及系统，涉及无人机反制技术领域，无人机反制装置包括干扰反制器以及引导指示器，根据所述无人机位置和高度信息、所述干扰反制器的位置和指向信息，确定所述干扰反制器与所述无人机的相对位置关系，以使操作人员能够根据相对位置关系调整所述干扰反制器对无人机进行反制的发射方向。本公开的有益效果是：解决了通过肉眼或光学瞄准镜搜索发现无人机受能见度影响大且夜间使用困难的问题，实现了对无人机的远距离定位，能够充分发挥无人机反制装置的功能。
一种无人机反制装置以及系统

[实用新型]一种无人机反制装置以及系统-CN202020264978.X有效
发明人：张宇;吴健;祁麟;刘佳雨;马五吉 -专利权人：四川九洲防控科技有限责任公司
申请日： 2020-03-04 - 公布日： 2020-11-06 - 主分类号： H04K3/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种无人机反制装置以及系统，涉及无人机反制技术领域，无人机反制装置包括干扰反制器以及引导指示器，引导指示器包括通信模块、指向模块、定位模块以及显示屏，该显示屏用于显示无人机位置和高度信息以及干扰反制器的指向和位置信息，并指示干扰反制器与无人机的相对位置关系。本实用新型的有益效果是：解决了通过肉眼或光学瞄准镜搜索发现无人机受能见度影响大且夜间使用困难的问题，实现了对无人机的远距离定位，能够充分发挥无人机反制装置的功能。
一种无人机反制装置以及系统

[发明专利]雾化辅助CVD薄膜沉积方法-CN201811587319.3有效
发明人：龚恒翔;冯倩;郝跃;廖飞;杨专青;马五吉 -专利权人：重庆理工大学;西安电子科技大学
申请日： 2018-12-25 - 公布日： 2020-09-25 - 主分类号： C23C16/455 文献下载
摘要：本发明公开一种雾化辅助CVD薄膜沉积方法，其特征在于包括如下步骤：步骤a：设计一款雾化辅助CVD薄膜沉积装置；步骤b：先将欲成膜的平面衬底放置在衬底模板上的安装孔中，再将衬底模板水平放置在下升降板上板面，并调整下升降板的位置；步骤d：反应区的温度达到预设温度后，先开启雾化源，雾化源将液体前驱体雾化成气溶胶前驱体，并利用雾化源发出的载气将气溶胶前驱体输入缓冲混合室内；步骤e:待反应区的温度接近室温或者在45℃以下时，先停止通过气相物进管和气溶胶进管向缓冲混合室内输入前驱体，再关闭抽气泵，最后打开密封盖，并将衬底模板取出，最后从衬底模板上取下衬底。本薄膜沉积方法沉积效率高，工艺安排合理，薄膜质量高。
雾化辅助 cvd 薄膜沉积方法

[发明专利]一种薄膜的热分解制备方法-CN201810722203.X有效
发明人：杨专青;龚恒翔;马五吉 -专利权人：重庆理工大学
申请日： 2018-06-26 - 公布日： 2020-03-31 - 主分类号： C23C16/48 文献下载
摘要：本发明公开一种薄膜的热分解制备方法，其特征在于包括如下步骤：步骤a：设计一款薄膜制备设备；步骤b：将压缩管的进口端与雾化器的气溶胶输出端连通，并在雾化器内加入待热解反应的前驱体液体；步骤c：先启动雾化器，待前驱体液体被雾化产生气溶胶后；步骤d：热解反应时可透过石英管及上盖板观察内部的反应情况；步骤e：等待一段时间待衬底冷却后将衬底取出。本制备方法的制备设备设置用于水平放置衬底的沉积舟，该沉积舟具有热解反应腔，并配合第一、二阻热片和压缩管的缩口能让热解反应腔的流场、温度场恒定，从而让衬底近表面气流场、温度场恒定，最终保证热解反应的顺利进行，大幅提高薄膜的成膜质量。
一种薄膜分解制备方法

[实用新型]反应室-CN201822182152.4有效
发明人：杨专青;马五吉;龚恒翔 -专利权人：重庆理工大学
申请日： 2018-12-25 - 公布日： 2019-08-27 - 主分类号： C23C16/54 文献下载
摘要：本实用新型公开一种反应室，反应室本体内水平设有反应腔，上升降板的上板面沿反应腔长度方向并排固定有一组上碘钨灯，该上碘钨灯的长度方向朝反应室本体的前、后侧壁，下升降板下板面对应上碘钨灯固定有一组下碘钨灯；上、下升降板之间的区域为反应区，而下升降板的上板面配设有多组不同厚度的衬底模板，该衬底模板上的安装孔用于放置相应厚度的衬底。本案增设了上、下升降板，这样就便于根据需要调整上、下升降板之间的间距，也能使衬底模板的顶面与反应腔的下壁平齐，这样就能避免反应区处的气流场畸变。有效保证薄膜的制备质量。
下升降板碘钨灯衬底反应腔反应室本体反应室上板面本实用新型并排固定反应区处上升降板水平设有安装孔反应区后侧壁气流场畸变顶面平齐下板下壁薄膜制备增设保证

[实用新型]雾化辅助CVD薄膜沉积装置-CN201822192034.1有效
发明人：廖飞;杨专青;马五吉;冯倩;龚恒翔;郝跃;张进成 -专利权人：重庆理工大学;西安电子科技大学
申请日： 2018-12-25 - 公布日： 2019-08-27 - 主分类号： C23C18/02 文献下载
摘要：本实用新型公开一种雾化辅助CVD薄膜沉积装置，包括缓冲混合室、过渡腔和反应室，其中缓冲混合室顶部竖直设有多路气相物进管，该缓冲混合室外壁的左侧设有多路气溶胶进管；上升降板的上板面沿反应腔长度方向并排固定有一组上碘钨灯；上升降板和下升降板的左、右端分别通过一个高度调整组件与反应腔外表面相连，并可以在高度调整组件的作用下调整上、下升降板的高度。本案主要从前驱体混合方式和收集液体方面来保证前驱体的成分、含量，并通过保证气流场稳定和控制温度场这两个个方面来控制反应区的反应环境，上述4个方面的技术手段相互配合，共同实现高质量制备薄膜，且本装置特别适合于制造氧化物薄膜。
缓冲混合薄膜沉积装置高度调整组件上升降板下升降板反应腔多路进管雾化本实用新型氧化物薄膜并排固定反应环境混合方式技术手段碘钨灯反应区反应室过渡腔气流场气溶胶气相物前驱体上板面温度场驱体竖直制备薄膜室外保证配合制造

[实用新型]缓冲混合室-CN201822182671.0有效
发明人：杨专青;马五吉;龚恒翔 -专利权人：重庆理工大学
申请日： 2018-12-25 - 公布日： 2019-08-20 - 主分类号： C23C26/00 文献下载
摘要：本实用新型公开一种缓冲混合室，缓冲混合室本体为圆筒状结构，并采用耐腐蚀材质制成，该缓冲混合室本体两侧的端口由密封盖板密封；缓冲混合室本体的顶部竖直设有多路气相物进管，该缓冲混合室本体外壁的左侧设有多路气溶胶进管；缓冲混合室本体内竖直固定有一块缓冲板，缓冲板上端与缓冲混合室本体固定。本沉积装置在传统CVD的基础上，引入了气溶胶，从而利用气溶胶辅助成膜，这样就将CVD和热解喷涂结合在一起，证实了CVD方法不能混入液体气溶胶前驱体这一学术观点的错误。本案使用的气溶胶进管分别接一个单独的雾化源，这样先雾化、再输入到缓冲混合室内，最后与气相物充分缓冲和混合，这样就能避免气溶胶提前发生反应，进而保证薄膜的成分及含量。
缓冲混合气溶胶室本体进管缓冲板气相物多路本实用新型耐腐蚀材质液体气溶胶圆筒状结构沉积装置密封盖板热解喷涂竖直固定学术观点前驱体雾化源上端成膜缓冲混入竖直外壁雾化薄膜密封体内室内引入保证

[实用新型]热分解薄膜制备反应装置-CN201821055237.X有效
发明人：杨专青;马五吉;龚恒翔 -专利权人：重庆理工大学
申请日： 2018-06-26 - 公布日： 2019-01-04 - 主分类号： C23C16/455 文献下载
摘要：本实用新型公开一种热分解薄膜制备反应装置，石英管进口端的内部同轴设有一根供前驱体气溶胶通过的压缩管，石英管出口端处设有密封套，该密封套连接有尾气收集冷却组件，并在石英管出口端外面套有外冷却管；挡气块由条形连接部和遮挡部构成，其中遮挡部为n形结构，遮挡部的连接边顶部与条形连接部底端固定，该条形连接部上的条形孔中穿设有锁紧螺母。本实用新型设置用于水平放置衬底的沉积舟，该沉积舟具有热解反应腔，并配合第一、二阻热片和压缩管的缩口能让热解反应腔的流场、温度场恒定，从而让衬底近表面气流场、温度场恒定，同时又通过加载短波长光线和加电场的方式提高前驱体前驱体气溶胶的“活性”，最终保证热解反应的顺利进行，提高薄膜的成膜质量。
条形连接部热解反应前驱体石英管遮挡恒定本实用新型热分解薄膜反应装置出口端密封套气溶胶温度场压缩管衬底沉积制备短波长光线冷却组件锁紧螺母外冷却管尾气收集加电场近表面连接边气流场条形孔阻热片成膜底端加载流场缩口同轴薄膜进口配合保证

[实用新型]带外罩的气敏特性响应曲线测试装置-CN201820050375.2有效
发明人：杨专青;马五吉;龚恒翔 -专利权人：重庆理工大学
申请日： 2018-01-11 - 公布日： 2018-10-09 - 主分类号： G01N21/01 文献下载
摘要：本实用新型公开一种带外罩的气敏特性响应曲线测试装置，样品载台底部设有加热片，法兰盘上设有第一进气管、第二进气管和出气管，其中第二进气管的出气端接有万向竹节管，且第一进气管、第二进气管位于样品载台上方，万向竹节管靠近该样品载台的顶面；内罩为透明罩，该内罩罩在样品载台、加热片、第一探针、第二探针、第一进气管、第二进气管、出气管和万向竹节管外面，且内罩的开口端与法兰盘的外圆面固定，内罩与法兰盘之间通过o型圈密封，且外罩的内壁上设有加热丝。本案在现有结构的基础上，增设了不可拆卸的透明的内罩，该内罩的内腔与外面实现隔热，这样就能使待测试气敏材料与外界的温度隔离，从而避免外界温度对气敏特性曲线的影响。
进气管内罩气敏特性法兰盘竹节管外罩万向载台测试装置响应曲线出气管加热片探针本实用新型不可拆卸温度隔离测试气出气端加热丝开口端透明的透明罩外圆面隔热顶面内壁内腔增设

[实用新型]带搅拌叶的气敏特性响应曲线测试装置-CN201820056206.X有效
发明人： 马五吉;杨专青;龚恒翔 -专利权人：重庆理工大学
申请日： 2018-01-11 - 公布日： 2018-10-09 - 主分类号： G01N27/00 文献下载
摘要：本实用新型公开一种带搅拌叶的气敏特性响应曲线测试装置，样品载台底部设有加热片，该样品载台顶面用于承载待测试的气敏材料；法兰盘上设有第一进气管、第二进气管和出气管，其中第二进气管的出气端接有万向竹节管；内罩的内腔中设有搅拌支架，在搅拌支架的外端沿周向固设有一组从动磁铁，该从动磁铁均为N极的磁铁，且从动磁铁的外圆面与内罩的内壁转动配合；搅拌支架中心处同轴固设有连接轴，该连接轴的两端沿周向均布有一组搅拌叶。本案在现有结构的基础上，增设了不可拆卸的透明的内罩，该内罩的内腔与外面实现隔热，这样就能使待测试气敏材料与外界的温度隔离，从而避免外界温度对气敏特性的影响。
内罩从动磁铁搅拌支架气敏特性搅拌叶进气管测试装置响应曲线连接轴载台本实用新型不可拆卸气敏材料温度隔离周向均布转动配合测试气出气端出气管法兰盘加热片内腔中透明的外圆面中心处竹节管磁铁隔热顶面内壁内腔同轴外端万向承载增设测试

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