专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]光刻胶外金属层的处理方法、去除光刻胶的方法及所用的设备-CN202210432262.X在审
  • 不公告发明人 - 浙江拓感科技有限公司
  • 2022-04-22 - 2022-08-02 - G03F7/42
  • 本发明的目的是针对现有技术剥离光刻胶的工艺去胶时间长效率低,去胶过程中易产生有害挥发物的不足,提供一种光刻胶外金属层的处理方法、去除光刻胶的方法及所用的设备,设备包括由低温介质供应管路和低温介质源组成的低温介质供应装置,低温介质源内的低温介质通过低温介质供应管路供应到晶圆表面,位于晶圆表面的光刻胶及位于光刻胶外的金属层在低温介质的作用下产生冷缩从而金属层与光刻胶间产生裂隙,从而能使光刻胶暴露出来,当用去胶去胶去胶液可以直接作用在暴露的光刻胶表面,无需费时渗透去胶液,因此,可以提高后续光刻胶去除的效率。
  • 光刻金属处理方法去除所用设备
  • [实用新型]保护膜、刀模组件及终端盖板结构-CN201922010918.5有效
  • 林桂林;王晓雁 - 深圳小辣椒科技有限责任公司
  • 2019-11-19 - 2020-08-07 - C09J7/25
  • 本实用新型涉及保护膜技术领域,具体涉及一种保护膜、刀模组件及终端盖板结构;一种保护膜,用于贴合于待保护件上,以保护待保护件的待保护区域,保护膜包括:主膜层,主膜层包括具有粘性的粘贴面,粘贴面上粘贴有去胶部,去胶部与主膜层相背的一表面不具有粘性,去胶部小于粘贴面,且去胶部的大小对应于待保护区域;主膜层的粘贴面用于与待保护件相贴合,去胶部用于对齐待保护区域,从而使得在将保护膜贴合于待保护件上时,对齐待保护区域的去胶部上不具有粘性
  • 保护膜模组终端盖板结构
  • [实用新型]一种晶圆水平式去胶机的固定机构-CN202223439087.1有效
  • 倪裕林;徐新志;尹旺;尹康 - 昆山蕴鼎自动化科技有限公司
  • 2022-12-20 - 2023-07-14 - H01L21/687
  • 本实用新型属于去胶机技术领域,具体的说是一种晶圆水平式去胶机的固定机构,包括底座;所述底座的顶部固定连接有工作台;所述工作台顶部的两侧均固定连接有挡板;两个所述挡板相对的一侧且位于工作台的顶部开设有工作腔所述放置台的底部固定连接有支撑柱;所述支撑柱的底端与工作台的顶部固定连接;所述放置台顶部的两侧均固定连接有安装柱;通过上卡环、下卡环与挤压圆块的结构设计,实现了固定的功能,解决了需要往复将固定后的物品放入去胶机,操作步骤繁琐,费时费力,相应的去胶效率还有待提升的问题,方便调整去胶位置,提高了在去胶时固定的效率。
  • 一种水平式去胶机固定机构
  • [实用新型]一种去胶剥离机剥离液的回收再利用装置-CN202123057482.9有效
  • 刘毅;陆瑞珠 - 江苏晋誉达半导体股份有限公司
  • 2021-12-08 - 2022-05-27 - B01D35/02
  • 本实用新型公开了一种去胶剥离机剥离液的回收再利用装置,包括新液储罐和回收液储罐,所述新液储罐的出液口通过新液供应系统与去胶剥离机的高压喷嘴相连通,所述回收液储罐通过回收液供应系统与去胶剥离机的下喷嘴和常压喷嘴连通;所述去胶剥离机上的排液口通过回收液收集系统与回收液储罐连通,所述新液储罐和回收液储罐上均设置有温控装置,所述新液储罐上还设置有新液补充管路。该回收再利用装置可以将去胶剥离机回收的剥离液回收后再利用,从而减少剥离液的消耗。
  • 一种剥离回收再利用装置
  • [实用新型]一种改善干法去胶工艺均匀性的装置-CN202221362925.7有效
  • 张志强;袁康 - 上海稷以科技有限公司
  • 2022-06-02 - 2022-11-29 - H01J37/32
  • 本实用新型公开了一种改善干法去胶工艺均匀性的装置,包括制程腔体,所述制程腔体中设有加热载盘,所述制程腔体顶部设有主气体注入口和辅助补偿气体注入口。本实用新型与现有技术相比的优点是:本实用新型通过主辅气路系统解决径向等离子体浓度分布不均问题,同时可旋转的加热承载台会使得晶圆动态旋转,与各个方向等离子体均匀接触,完美解决由于等离子体浓度分布不均造成的去胶速率均一性不好的问题,即解决了干法去胶中工艺晶圆中心去胶速率快,边缘去胶速率慢的均一性不好的问题。
  • 一种改善干法去胶工艺均匀装置
  • [发明专利]一种去胶液及其制备方法-CN201510929529.6在审
  • 吴来友 - 吴来友
  • 2015-12-15 - 2016-04-06 - G03F7/42
  • 本发明公开了一种去胶液,它包括按重量份计:10-20份无机碱、5-10份松香水、0.2-0.6份松油醇、1.2-1.6份乙二醇单甲醚、4-8份甘油和6-10份去离子水。本发明的有益效果是制得的去胶剂性质温和,可以适用于大多数胶质和介质,去胶时间短,效果好,由于加入了甘油,可以提高去胶剂的活性及抗氧化能力,延长其存储时间。
  • 一种去胶液及其制备方法
  • [发明专利]去胶剂组合物-CN94110786.8无效
  • 曹宝成;计峰;马洪磊;罗升旭 - 山东大学
  • 1994-09-14 - 1996-12-04 - C23G5/032
  • 本发明涉及一种去胶剂组合物,包括重量百分比10-20%的脂肪醇聚氧乙烯醚硫酸钠和80-90%的下列有机溶剂之一或其任意比例的组合苯乙酮,松油醇,苯甲醇,月桂醇;还可加入脂肪醇聚氧乙烯醚硅烷和去离子水,以降低去胶剂组合物的沸点;本发明去胶剂可有效的去除固体表面环化橡胶系列负性光刻胶,去胶工艺简单成品率高。
  • 去胶剂组合
  • [发明专利]一种镜片附件去除设备-CN201510234769.4有效
  • 欧阳晓勇;许生炎;曾金芳;张国军 - 江苏万新光学有限公司
  • 2015-05-11 - 2017-03-15 - B29C37/00
  • 一种镜片附件去除设备,由输送链(1)、送料机构(2)、去夹机构(3)、去胶机构(4)、胶条收集箱(5)、定位夹收集箱(6)组成,所述的输送链(1)贯穿在去胶机构(4)和去夹机构(3)下方,送料机构(2)安装在输送链(1)上,其特征在于所述的去夹机构(3)设置在去胶机构(4)的前面;去夹机构(3)将定位夹取出并且放入定位夹收集箱(6)内,去除定位夹后输送链(1)继续运动,将眼镜送入到去胶机构(4)内,去胶机构
  • 一种镜片附件去除设备
  • [实用新型]一种用于插芯去胶装置-CN201420615509.2有效
  • 陈波;樊建银;唐淋;郑敏;余朝晃;梁俊;侯易;代静波 - 新中合光电科技(保靖)有限公司
  • 2014-10-23 - 2015-02-11 - G02B6/38
  • 本实用新型公开了一种用于插芯去胶装置,其特征在于,此装置包括外箱(2)、电机(3)、夹持装置(4)、去胶套筒(5)、固定装置(6)和底座(7);所述用于夹持去胶套筒(5)的夹持装置(4)安装于电机(3)上;所述电机(3)安装在外箱(2)内部;所述与去胶套筒(5)相对应设置的固定装置(6)安装在底座(7)上;所述外箱(2)和底座(7)均设置在操作台(1)上。本实用新型解决的技术问题是提供一种用于插芯去胶装置,此装置结构简单,操作便捷,可以有效地去除插芯上的胶水,提高插芯光纤端面与几何尺寸合格率。 
  • 一种用于插芯去胶装置

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