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[实用新型]一种LCD偏压电源电流值检测电路-CN201820172506.4有效
发明人：李峰;卢星华;陶玉红;杨文虎;李雪;周智勇;杨柳 -专利权人：深圳市峰泳科技有限公司
申请日： 2018-02-01 - 公布日： 2018-08-17 - 主分类号： G01R19/25 文献下载
摘要：本实用新型提供一种LCD偏压电源电流值检测电路，包括主控单元以及与该主控单元相连接、用于检测对应电路中电阻电流值大小的第一偏压电源电流检测电路、第二偏压电源电流检测电路、第三偏压电源电流检测电路和第四偏压电源电流检测电路，且第一偏压电源电流检测电路、第二偏压电源电流检测电路、第三偏压电源电流检测电路和第四偏压电源电流检测电路中分别设置有对应的第一电源电流检测芯片U1、第二电源电流检测芯片U2、第三电源电流检测芯片U3、第四电源电流检测芯片U4，此电路结构简单实用，它通过检测电路上检测串联电阻(毫欧级)两端的电压，再经欧姆定律计算出电流值，最后经ADC转换将电流值输出给外部主控单元，检测效果好。
检测电路偏压电源电流电源电流检测芯片主控单元检测本实用新型串联电阻电路结构电阻电流欧姆定律电路输出外部

[发明专利]等离子体刻蚀设备及刻蚀方法-CN201811061619.8在审
发明人：卫晶;韦刚;杨京 -专利权人：北京北方华创微电子装备有限公司
申请日： 2018-09-12 - 公布日： 2020-03-20 - 主分类号： H01J37/32 文献下载
摘要：本发明提供一种等离子体刻蚀设备，所述等离子体刻蚀设备包括等离子体发生装置、用于承载晶片基座和用于为基座供电的偏压电源，其中，所述偏压电源能够周期性地输出电压，所述偏压电源的每个输出周期都包括正偏压输出阶段和负偏压输出阶段，所述偏压电源能够在所述正偏压阶段输出电压值恒定的正偏压，所述偏压电源能够在所述负偏压阶段输出电压值恒定的负偏压。
等离子体刻蚀设备方法

[实用新型]一种等离子体化学气相沉积镀膜装置-CN201620206505.8有效
发明人：渠洪波 -专利权人：沈阳科友真空技术有限公司
申请日： 2016-03-18 - 公布日： 2016-08-10 - 主分类号： C23C16/50 文献下载
摘要：该实用新型包括真空室，真空室内设置有阴极屏、工件架和偏压电源，阴极屏设置在真空室的下部，工件架设置在阴极屏上，偏压电源设置在真空室外部，偏压电源包括第一偏压电源和第二偏压电源，第一偏压电源与阴极屏连接，第二偏压电源与工件台连接，真空室接地。
一种等离子体化学沉积镀膜装置

[发明专利]基座、基座偏压的调整方法和等离子体发生装置-CN201910189726.7在审
发明人：张超 -专利权人：北京北方华创微电子装备有限公司
申请日： 2019-03-13 - 公布日： 2020-09-22 - 主分类号： H05H1/46 文献下载
摘要：本发明属于半导体加工技术领域，具体涉及基座、基座偏压的调整方法和等离子体发生装置。该基座包括金属盘，该金属盘包括互相绝缘设置的至少两个子盘，每一子盘均与射频源和偏压电源连接，基座还设置有偏压电源的调整电路，所有子盘均与调整电路连接，调整电路用于：以所有子盘中绝对值最小的偏压电源的直流偏压值为基准电压值，将施加至其他子盘的偏压电源的直流偏压值调节至与基准电压值相比在一设定范围内。其通过对基座上的电场分布进行调整，即通过自动检测并比较偏压电源的直流偏压值来调整各子盘所施加偏压电源的直流偏压值的大小，对基座上的偏压电源分区进行自动调整，从而实现整个基座区域刻蚀的均匀性调整，改善对晶圆刻蚀的均匀性
基座偏压调整方法等离子体发生装置

[发明专利]干蚀刻设备及干蚀刻方法-CN201110159714.3无效
发明人：高桥秀治 -专利权人：富士胶片株式会社
申请日： 2011-06-09 - 公布日： 2011-12-14 - 主分类号： H01J37/32 文献下载
摘要：干蚀刻设备包括：真空室，其中包括固定待蚀刻部件的载物台；工艺气体提供装置，用于向真空室中提供工艺气体；等离子体产生装置，其包括用于在真空室中产生等离子体的电极；等离子体产生电源，其向等离子体产生装置的电极提供用于进行等离子体产生的高频电源；偏压电源，其为单偏压电源，用于控制载物台的自偏压电位，并且其输出频率可变；匹配箱，其为电连接在载物台与偏压电源之间的单匹配箱，并且对偏压电源的负载与偏压电源之间的阻抗进行匹配；频率设置装置，用于设置偏压电源的输出频率；以及控制装置，用于根据所设置的偏压电源的输出频率来控制匹配箱的阻抗。
蚀刻设备方法

[发明专利]一种等离子体体征参数检测电路及可插拔模块-CN201911049172.7在审
发明人：柴忪;邬润辉;孟刚;刘佳琪;刘鑫;赵巨岩;王伟东;艾夏;李亚男;徐银芳 -专利权人：北京航天长征飞行器研究所;中国运载火箭技术研究院
申请日： 2019-10-31 - 公布日： 2020-07-17 - 主分类号： H05H1/00 文献下载
摘要：本申请实施例中提供了一种等离子体体征参数检测电路及可插拔模块，检测电路，包括：彼此串联的一偏压正电位、第一分压电阻和第二分压电阻；彼此串联的一偏压负电位、偏压电源、第三分压电阻和第四分压电阻；偏压负电位连接至偏压电源负极，偏压电源正极连接至第三分压电阻的一端；第二分压电阻和第四分压电阻共地；偏压正电位和偏压负电位在检测时与等离子体接触；量程切换模块，用于根据检测到的等离子体的离子饱和流将不同阻值的采样电阻连接至偏压正电位和偏压电源的正极之间采用本申请中的方案，通过改变分压电阻比率，实现大于两个量级的等离子体信号的高精度采集和测量。
一种等离子体体征参数检测电路可插拔模块

[发明专利]图像形成装置-CN201410458846.X有效
发明人：坂户伸吾 -专利权人：京瓷办公信息系统株式会社
申请日： 2014-09-10 - 公布日： 2017-03-29 - 主分类号： G03G15/02 文献下载
摘要：带电偏压电源对带电部件施加直流电压的带电偏压。显影部件与像载体的表面相向设置，在像载体的表面显影调色剂像。显影偏压电源对显影部件施加重叠有交流电压与直流电压的显影偏压。控制装置控制带电偏压电源以及显影偏压电源。在将显影于像载体表面的调色剂像转印在被转印体上的图像形成处理开始以前，控制装置控制带电偏压电源，执行使像载体表面带电的前带电控制。在图形成处理开始以后，控制装置控制带电偏压电源以及显影偏压电源，执行后带电控制，以使像载体的表面电位与显影偏压之间的电位差成为能够防止发生图像不良的有效电位差。
图像形成装置

[发明专利]一种适用于脉冲电子束焊接的偏压电源装置-CN201110272609.0无效
发明人：齐铂金;徐国宁 -专利权人：北京航空航天大学
申请日： 2011-09-15 - 公布日： 2012-02-22 - 主分类号： B23K15/02 文献下载
摘要：本发明公开了一种适用于脉冲电子束焊接的偏压电源装置，该偏压电源装置包括偏压基值产生模块、偏压脉冲产生模块、电压闭环电路、PWM电路和驱动电路。偏压基值产生模块的输出正极串联到60kV～150kV高压电源的输出负极，偏压基值产生模块输出负极和偏压脉冲产生电路输出正极串联，偏压脉冲产生电路输出负极串联到电子枪的栅极，该装置与高压电源和阴极加热电源共同作用产生幅值
一种适用于脉冲电子束焊接偏压电源装置

[实用新型]电流偏压电路、MEMS传感器及智能电子设备-CN201921154184.1有效
发明人：林庆宗 -专利权人：歌尔科技有限公司
申请日： 2019-07-22 - 公布日： 2019-12-27 - 主分类号： G05F1/567 文献下载
摘要：本实用新型公开一种电流偏压电路、MEMS传感器及智能电子设备，该电流偏压电路包括：温敏电阻式温度补偿电路，被配置为对接入的电流进行温度补偿；偏压电流产生电路，偏压电流产生电路的输入端接入所述偏压电源，偏压电流产生电路的接地端与温敏电阻式温度补偿电路连接，偏压电流产生电路接入的偏压电源经温敏电阻式温度补偿电路进行温度补偿后，产生偏压电流；电流镜，输入端与偏压电流产生电路连接，输出端与惠斯通电桥连接；电流镜被配置为将偏压电流输出至惠斯通电桥，以为惠斯通电桥提供偏压电流本实用新型消除了温度对电流偏压电路的影响。
偏压电流产生电路电流偏压电路温度补偿电路惠斯通电桥偏压电流温敏电阻本实用新型偏压电源温度补偿电流镜智能电子设备输入端接入接地端输出端输入端配置输出

[发明专利]偏压电源、电源和跨越隔离阻障传送数据的方法-CN201310001189.1有效
发明人： S.C.古思里;S.帕尔 -专利权人：天堂电力公司
申请日： 2013-01-04 - 公布日： 2017-07-11 - 主分类号： H02M1/08 文献下载
摘要：本发明提供一种偏压电源、跨越隔离阻障传送数据的方法和电源。在一个实施例中，偏压电源包括(1)偏压电源变压器，具有跨越隔离阻障而电感耦合到二次绕组的一次绕组，(2)控制器，配置成指导偏压电源的操作，以及(3)偏压操纵电路，耦合到控制器的输入，配置成接收一次数据并且基于该一次数据，通过改变提供给控制器的电压，在规定的电压电平之间更改二次绕组的二次偏压输出电压，控制器和偏压操纵电路位于一次侧。
偏压电源跨越隔离阻障传送数据方法

[发明专利]偏压装置及基片处理设备-CN202211190740.7在审
发明人：赵成伟;邬文波 -专利权人：西实显示高新材料（沈阳）有限公司
申请日： 2022-09-28 - 公布日： 2022-11-22 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明涉及一种偏压装置及基片处理设备，偏压装置包括偏压电源及偏压装置。偏压电源设有电极。偏压装置用于向电连接于偏压电源的电极，并将偏压电源电极的电势传导至通电对象。具体地，通电对象为基片或载具。进一步地，偏压装置容置于内腔，以便于与处于处理工位的通电对象接触。更具体地，偏压电源具有正电极及负电极，偏压装置将负电极的电势传导至通电对象。
偏压装置处理设备

[发明专利]用于质谱仪离子检测器的超低噪声浮置高压电源-CN202080066390.6在审
发明人： M·福尔;E·格拉丁 -专利权人： DH科技发展私人贸易有限公司
申请日： 2020-09-24 - 公布日： 2022-04-29 - 主分类号： H02M1/14 文献下载
摘要：一种用于质谱仪的高压电源系统包括：地参考电源，其具有含初级绕组和次级绕组的第一变压器，该初级绕组与第一AC电源电耦合；以及浮置偏压电源，其具有含初级绕组和次级绕组的第二变压器，第二变压器的初级绕组与第二AC电源电耦合。浮置偏压电源的返回电路径与地参考电源电耦合，以偏置地参考电源的输出电压。浮置屏蔽件围绕浮置偏压电源设置，并且至少一个电阻元件位于浮置偏压电源的返回电路径中，以减少从浮置偏压电源耦合到地参考电源的噪声。
用于质谱仪离子检测器噪声高压电源

[发明专利]一种用于电子束精密调控的多级偏压电源-CN202211294940.7在审
发明人：张伟 -专利权人：星航高能科技（南京）有限公司;南京晟源企业管理合伙企业（有限合伙）
申请日： 2022-10-21 - 公布日： 2023-01-31 - 主分类号： H02M3/28 文献下载
摘要：本发明公开了一种用于电子束精密调控的多级偏压电源，其中：束流反馈电路采集电子束流反馈值并将其发送给单片机控制电路，单片机控制电路根据电子束流给定值和电子束流反馈值计算电压设定值并将其发送给偏压调节低压电路，偏压调节低压电路连接偏压调节高压电路，偏压调节高压电路的正输出端连接电子枪阴极灯丝，偏压调节高压电路的负输出端连接电子枪栅极。所述偏压调节低压电路包括偏压粗调电源电路、偏压细调电源电路和束流封闭电源电路。本发明大大提高了束流封闭的可靠性；可以大大提高电子束流调节的动态响应速度；可以大大提高偏压电源和电子束流的调节精度，从而实现小束流和大束流输出的高精度控制。
一种用于电子束精密调控多级偏压电源

[实用新型]一种激光接收系统、激光雷达系统以及机器人设备-CN202020949420.5有效
发明人：冉银春;金超;李通;唐旋来 -专利权人：上海擎朗智能科技有限公司
申请日： 2020-05-29 - 公布日： 2021-02-26 - 主分类号： G01S17/08 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种激光接收系统、激光雷达系统以及机器人设备，其中，激光接收系统包括：光电接收阵列、I/V转换电路、信号处理电路、控制器和偏压电路；光电接收阵列包括多个光电接收单元，以将激光信号转换为电信号；I/V转换电路将电信号由电流信号转换为电压信号；信号处理电路将电压信号进行放大和整形处理；偏压电路包括多路偏压电源单元，每路偏压电源单元可与至少一个光电接收单元连接，为光电接收单元提供供电偏压；控制器还包括与多路偏压电源单元一一对应连接的偏压调制端，以输出调制信号以调节对应偏压电源单元输出的电压值。本方案，可解决现有的单个偏压电路只能为对应APD进行偏压补充，无法兼容不同数量的APD进行偏压补偿的问题。
一种激光接收系统激光雷达以及机器人设备

[发明专利]金属热处理装置及金属热处理方法-CN200810304471.6无效
发明人：陈杰良 -专利权人：鸿富锦精密工业（深圳）有限公司;鸿海精密工业股份有限公司
申请日： 2008-09-11 - 公布日： 2010-03-17 - 主分类号： C22F1/06 文献下载
摘要：本发明提供一种金属热处理装置，其包括加热腔、第二偏压电源与第一偏压电源。该加热腔用于收容待处理金属以对其进行热处理，该第一偏压电源与第二偏压电源分别于该加热腔内产生两个方向相反的电场。该第一偏压电源的偏压值U₁与第二偏压电源的偏压值U₂分别满足以下关系式：(见右上)n为大于或等于0的整数，u₁的取值范围为50伏至1000
金属热处理装置方法

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