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[发明专利]装载锁定腔室-CN201980081286.1有效
发明人：开田准一 -专利权人：平田机工株式会社
申请日： 2019-12-11 - 公布日： 2023-09-12 - 主分类号： H01L21/677 文献下载
摘要：提供一种闸阀的动作次数少即可的扬尘量少的装载锁定腔室。该装载锁定腔室具备：框体，其具有送入送出基板的开口部；闸阀机构，其能够将所述开口部气密地密封；多段的基板载置部，其设置在所述框体的内部，用于载置所述基板；升降机构，其使所述基板载置部升降；以及转动机构，
装载锁定

[实用新型]装载锁定腔室-CN202222598929.1有效
发明人：金仁敎;高锡珍;郑石源 -专利权人：三星显示有限公司
申请日： 2022-09-29 - 公布日： 2023-03-14 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：提供一种装载锁定腔室。根据一实施例的装载锁定腔室可以包括：槽，形成为多面体并且形成有供基板进出的开口部；以及加强件，布置于所述槽，其中，所述槽可以包括形成有所述开口部的前表面、与所述前表面对向的后表面、连接所述前表面和所述后表面的侧表面以及布置在所述前表面
装载锁定

[发明专利]双装载锁定腔室-CN201980030339.7在审
发明人：迈克尔·R·赖斯 -专利权人：应用材料公司
申请日： 2019-05-08 - 公布日： 2020-12-11 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本文揭露在多腔室处理系统中使用的双装载锁定腔室。在一些实施方式中，双装载锁定腔室包括：第一装载锁定腔室，具有第一内部空间及第一基板支撑件，其中第一基板支撑件包括以第一预定距离垂直间隔开的第一多个支撑表面；至少一个传热装置，布置于第一基板支撑件中，以加热或冷却第一多个基板；及第二装载锁定腔室，布置成与第一装载锁定腔室相邻，且具有第二内部空间及第二基板支撑件，其中第二基板支撑件包括以第二预定距离垂直间隔开的第二多个支撑表面，第二预定距离小于第一预定距离。
装载锁定

[发明专利]支架装载装置-CN202210547757.7在审
发明人：李延辉;张文娟 -专利权人：江苏博朗森思医疗器械有限公司
申请日： 2022-05-18 - 公布日： 2022-08-30 - 主分类号： A61F2/95 文献下载
摘要：本发明公开了一种支架装载装置，包括壳体组件、装载组件和第一推动件，壳体组件包括第一壳体和第二壳体，装载组件包括设置在第一壳体内的装载件和推进件，装载件可相对推进件往复滑动，装载件的内部开设有装载腔，装载件相对开设装载腔的一侧开设有与装载腔连通的置入腔，装载件的侧壁上开设有与装载腔相连通的装载槽，推进件内开设有推进腔，装载件部分设置在推进腔内，装载腔内设置有多个推板，多个推板的一端设置在装载腔内，推进件的侧壁上开设有推动槽，第一推动件可滑动地安装在第二壳体上，第一推动件包括推片，推片穿过推动槽延伸至推进件的内部，推片可沿推动槽和装载槽往复滑动，支气管支架可通过推片推挤完全进入置入腔内。
支架装载装置

[实用新型]一种烟盒-CN201620533028.6有效
发明人：刘佳 -专利权人：昆明金德包装工程联合研发中心
申请日： 2016-06-02 - 公布日： 2016-12-28 - 主分类号： B65D85/10 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种烟盒，用于香烟的包装，包括底板，所述底板上方设置有竖壁，所述竖壁围绕形成有装载腔，所述装载腔内部用于装载香烟，所述装载腔内部设置有隔板，所述隔板将所述装载腔分成相互独立的左装载腔与右装载腔，所述左装载腔上设置有左盖板，所述左盖板用于所述左装载腔的密封，所述右装载腔上设置有右盖板，所述右盖板用于所述右装载腔的密封，所述左盖板与所述右盖板上设置有可以分区开启的双襟拉线BOPP薄膜层，所述双襟拉线BOPP薄膜层分别用于所述左装载腔与所述右装载腔的保润保湿保香。
一种烟盒

[发明专利]一种五腔体全自动电子束沉积系统-CN201310567063.0在审
发明人：赵崇凌;赵科新;李士军;洪克超;徐宝利;张健;张冬;王磊;李松;林峰雪 -专利权人：中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司
申请日： 2013-11-13 - 公布日： 2015-05-20 - 主分类号： C23C14/30 文献下载
摘要：包括抽气系统和五个腔体，所述五个腔体包括依次相连通的传输腔I、装载腔I、工艺腔、装载腔II及传输腔II，各腔体均与抽气系统连接。所述装载腔I和装载腔II与工艺腔之间设有真空锁闭系统。所述装载腔I、工艺腔及装载腔II内均设有样品载板。本发明在产量高的同时，节约工艺腔在每次取换样品载板后的抽气时间，让工艺腔的工艺过程与装载腔I，装载腔II取放样品载板同时进行，并且除工艺腔门，装载腔I，装载腔II门在洁净间以外其他的部分都可以放到普通环境中
一种五腔体全自动电子束沉积系统

[发明专利]一种带推压装置的整体式垃圾压缩箱-CN201410021718.9有效
发明人：石道凯 -专利权人：宁波江东晟创工业产品设计有限公司;余姚市捷宇机械有限公司
申请日： 2014-01-17 - 公布日： 2017-07-18 - 主分类号： B65F9/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种带推压装置的整体式垃圾压缩箱，该垃圾压缩箱前部分为垃圾装载腔、后部分为垃圾储存腔，垃圾装载腔内置有垃圾装载装置，垃圾装载装置设有上下滑动的升降板；垃圾储存腔与垃圾装载腔之间设有装载口，该装载口内设有推压装置，该推压装置内置有摆动运行的推压板；推压板背面铰接有推压油缸；升降板上部设有缺口，且推压油缸穿于该缺口内；垃圾储存腔顶部配设有斜封板；独立配置垃圾装载用的推压板，改变现有刮滑板垃圾装载模式，确保垃圾装载直接、高效，整体结构设计合理，利于提高垃圾的实际装载量；在装载口底配置进料阻挡台，在底部将储存腔与装载腔进行分离，可以有效地防止装载后垃圾的回泄，提高一次垃圾装载成功率。
一种带推压装置整体垃圾压缩

[实用新型]一种整体式垃圾压缩箱-CN201420029689.6有效
发明人：石道凯 -专利权人：余姚市捷宇机械有限公司
申请日： 2014-01-17 - 公布日： 2014-06-25 - 主分类号： B65F1/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种整体式垃圾压缩箱，该垃圾压缩箱前部分为垃圾装载腔、后部分为垃圾储存腔，垃圾装载腔内置有垃圾装载装置，垃圾装载装置设有上下滑动的升降板；垃圾储存腔与垃圾装载腔之间设有装载口，该装载口内设有摆动运行的推压板；推压板背面铰接有推压油缸，该推压油缸另端与垃圾装载腔顶部铰接；升降板上部设有缺口，且推压油缸穿于该缺口内；独立配置垃圾装载用的推压板，改变现有刮滑板垃圾装载模式，确保垃圾装载直接、高效，整体结构设计合理，利于提高垃圾的实际装载量，并解决车辆运输的亏载问题；在装载口底配置进料阻挡台，在底部将储存腔与装载腔进行分离，可以有效地防止装载后垃圾的回泄，提高一次垃圾装载成功率。
一种整体垃圾压缩

[发明专利]装载腔体及其清洗方法、及半导体设备-CN202211730410.2在审
发明人：周仁;石帅;吴刘兴 -专利权人：江苏微导纳米科技股份有限公司
申请日： 2022-12-30 - 公布日： 2023-04-04 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本申请涉及一种装载腔体及其清洗方法、及半导体设备，包括腔本体。腔本体内部构造有至少一个装载腔，且具有连通各装载腔的进气部和出气部。其中，腔本体具有至少一个分散部，每一分散部对应一装载腔布置，各分散部包括独立设置的多个分散孔，各个分散孔均连通进气部与对应的装载腔，并用于分散进入对应装载腔内的气流。与现有技术相比，本申请能够分散气流并降低气流速度，有效避免气流集中形成涡流，装载腔内气体分布更加均匀，气流与装载腔内壁的接触几率大大增加，提高了气流清除装载腔内壁附着的微粒粉尘效果，可以延长装载腔体的维护周期
装载及其清洗方法半导体设备

[发明专利]固相前驱体输出装置及气相沉积系统-CN202310383052.0在审
发明人：邵大立;金荣宽;史皓然;齐彪;李宇晗;陆淋康 -专利权人：上海星原驰半导体有限公司
申请日： 2023-04-12 - 公布日： 2023-05-12 - 主分类号： C23C16/448 文献下载
摘要：一种固相前驱体输出装置，固相前驱体输出装置包括：罩体，具有容置腔；装载组件，包括若干个装载盘；装载盘置于罩体的容置腔内，且沿容置腔的深度方向间隔排布；装载盘与容置腔的侧壁密封对接；容置腔的底壁与相邻装载盘间隔，形成气流中转腔；装载盘具有装载面；装载盘上设有若干个过孔；过孔沿垂直于装载面的方向贯穿装载盘；若干个扩散件，扩散件与过孔一一对应设置；扩散件具有一端开口的扩散腔；扩散件位于对应装载盘的装载面上，且其扩散腔的开口端与对应的过孔密封对接；扩散件还具有连通扩散腔和外部环境的扩散孔。
前驱输出装置沉积系统

[发明专利]一种新型的医疗器械生产设备-CN201810279095.3在审
发明人：黄志生 -专利权人：黄志生
申请日： 2018-03-31 - 公布日： 2018-09-07 - 主分类号： B24B29/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种新型的医疗器械生产设备，包括主机体，所述主机体内壁体中设有容纳腔，所述容纳腔底端壁滑动配合安装有装载座，所述装载座顶部端面内设有装载腔，所述装载腔左右两侧内壁内对称设有弹簧腔，所述弹簧腔中固设有顶压弹簧，所述装载腔中滑动配合安装有与左右两侧的所述顶压弹簧固定连接的顶压板，所述装载腔底端的所述装载座中设有蓄水腔，所述蓄水腔与所述装载腔之间设有滤水网，所述蓄水腔右侧底端设有贯穿所述装载座右侧端面的开关阀，所述主机体右侧端面内与所述容纳腔连通设有开口腔，所述容纳腔内底壁内设有第一滑动腔，所述第一滑动腔中滑动配合安装有滑动块。
装载腔容纳腔装载滑动配合蓄水腔顶压弹簧生产设备左右两侧弹簧腔滑动腔主机体医疗器械顶部端面底端壁顶压板滑动块开关阀开口腔滤水网内底壁壁体底端内壁连通主机对称体内贯穿

[发明专利]一种医疗器械生产设备-CN201810279097.2在审
发明人：黄志生 -专利权人：黄志生
申请日： 2018-03-31 - 公布日： 2018-07-20 - 主分类号： B24B29/02 文献下载
摘要：本发明公开了一种医疗器械生产设备，包括主机体，所述主机体内壁体中设有容纳腔，所述容纳腔底端壁滑动配合安装有装载座，所述装载座顶部端面内设有装载腔，所述装载腔左右两侧内壁内对称设有弹簧腔，所述弹簧腔中固设有顶压弹簧，所述装载腔中滑动配合安装有与左右两侧的所述顶压弹簧固定连接的顶压板，所述装载腔底端的所述装载座中设有蓄水腔，所述蓄水腔与所述装载腔之间设有滤水网，所述蓄水腔右侧底端设有贯穿所述装载座右侧端面的开关阀，所述主机体右侧端面内与所述容纳腔连通设有开口腔，所述容纳腔内底壁内设有第一滑动腔，所述第一滑动腔中滑动配合安装有滑动块。
装载腔容纳腔装载滑动配合蓄水腔顶压弹簧生产设备左右两侧弹簧腔滑动腔主机体医疗器械顶部端面底端壁顶压板滑动块开关阀开口腔滤水网内底壁壁体底端内壁连通主机对称体内贯穿

[发明专利]一种改进型的医疗器械生产设备-CN201810279107.2在审
发明人：黄志生 -专利权人：黄志生
申请日： 2018-03-31 - 公布日： 2018-07-20 - 主分类号： B24B29/02 文献下载
摘要：本发明公开了一种改进型的医疗器械生产设备，包括主机体，所述主机体内壁体中设有容纳腔，所述容纳腔底端壁滑动配合安装有装载座，所述装载座顶部端面内设有装载腔，所述装载腔左右两侧内壁内对称设有弹簧腔，所述弹簧腔中固设有顶压弹簧，所述装载腔中滑动配合安装有与左右两侧的所述顶压弹簧固定连接的顶压板，所述装载腔底端的所述装载座中设有蓄水腔，所述蓄水腔与所述装载腔之间设有滤水网，所述蓄水腔右侧底端设有贯穿所述装载座右侧端面的开关阀，所述主机体右侧端面内与所述容纳腔连通设有开口腔，所述容纳腔内底壁内设有第一滑动腔，所述第一滑动腔中滑动配合安装有滑动块。
装载腔容纳腔装载滑动配合蓄水腔顶压弹簧生产设备左右两侧弹簧腔改进型滑动腔主机体医疗器械顶部端面底端壁顶压板滑动块开关阀开口腔滤水网内底壁壁体底端内壁连通主机对称体内贯穿

[实用新型]温湿度控制宽体晶圆装载腔-CN201620703460.5有效
发明人：不公告发明人 -专利权人：上海陛通半导体能源科技股份有限公司
申请日： 2016-07-06 - 公布日： 2017-02-08 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种温湿度控制宽体晶圆装载腔,包括2个装载腔室，所述装载腔室设置污染物控制系统，所述污染物控制系统由供气系统、排气系统、加热系统组成；本实用新型提供的温湿度控制宽体晶圆装载腔,利用加热系统给晶圆装载腔室外表面加热从而抑制污染物在装载腔室的形成，装载腔室里的污染物蒸发并且由腔室的排气系统抽走，同时可以给装载腔室提供干净的氮气去吹扫腔室加热后释放出来的污染物。
温湿度控制宽体装载

[发明专利]一种智能便捷机器人-CN201810229641.2在审
发明人：龚昭辉;刘慧;袁春梅 -专利权人：海门市彼维知识产权服务有限公司
申请日： 2018-03-20 - 公布日： 2018-09-04 - 主分类号： E01H1/05 文献下载
摘要：本发明公开了一种智能便捷机器人，包括行走机体，所述行走机体底部端面内设有装载凹腔，所述装载凹腔中滑动配合安装有装载框架，所述装载框架左侧的所述装载凹腔中顶压配合安装有顶压弹簧，所述装载框架右侧端动力配合安装有驱动执行机构，所述装载凹腔前后内壁连通设有导滑腔，所述导滑腔中滑动配合安装有与所述装载框架前后端面固定连接的导滑块，所述装载框架底部端面内设有容纳凹腔，所述容纳凹腔中固设有左右延伸设置的安装板，所述安装板下侧的所述容纳凹腔中滑动配合安装有下滑动座，所述安装板上侧的所述容纳凹腔中滑动配合安装有上滑动座。
装载滑动配合容纳凹腔凹腔安装板底部端面行走机体导滑腔滑动座驱动执行机构顶压弹簧顶压配合动力配合内壁连通前后端面人本发明左右延伸智能导滑块机器人

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