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[发明专利]一种直爪式转子-CN202210208853.9有效
发明人：孔祥玲;王光玉;王云;徐静怡;钟瑞;费贤 -专利权人：中科仪（南通）半导体设备有限责任公司;中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司
申请日： 2022-03-04 - 公布日： 2023-10-20 - 主分类号： F04C18/12 文献下载
摘要：本发明属于干式真空泵转子型线设计领域，特别涉及一种直爪式转子。包括：三段直线、两段摆线以及五段圆弧依次连接组成，具体为：所述三段直线，分别包括：爪尖直线JA，爪臂直线BC，爪底直线FG；所述五段圆弧，分别包括：爪顶圆弧AB，节圆圆弧DE，爪底圆弧HI，爪臂处圆弧CD，去锐角圆弧EF；所述两段摆线，分别包括：爪臂处摆线IJ，爪底处摆线GH；所述的转子型线按照顺时针方向分别为：首尾连接的爪尖直线JA、爪顶圆弧AB，爪臂直线BC，爪臂处圆弧CD，节圆圆弧DE，去锐角圆弧EF，爪底直线FG，爪底处摆线GH，爪底圆弧HI，爪臂处摆线IJ。本发明通过去锐角尖点的方式，可有效地减少尖点处的应力集中现象，具有较高的强度。
一种直爪式转子

[发明专利]一种用于多级干式真空泵的氮气分配模块及其流量测定方法-CN202310824237.0在审
发明人：王光玉;孔祥玲;杨帆;刘云鹏;王冰冰;王云;刘在行;张佳崎;徐静怡;麻方娇;李鹏明 -专利权人：中科仪（南通）半导体设备有限责任公司;中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司
申请日： 2023-07-06 - 公布日： 2023-10-10 - 主分类号： F16K11/24 文献下载
摘要：本发明公开了一种用于多级干式真空泵的氮气分配模块，包括集成阀块、设置在集成阀块进气通道输入端的单向阀和安装在集成阀块上的减压阀，所述集成阀块内部设置有分流氮气的导气通道，所述集成阀块上设置有用于检测导气通道气压的压力检测组件，所述压力检测组件包括有第一压力传感器和第二压力传感器，所述第一压力传感器设置集成阀块上，所述第一压力传感器的感应端设置在集成阀块进气通道内用于检测进气端的压力，所述第二压力传感器设置在导气通道的出气端用于检测出气压力；本发明结构简单，设计合理，使用压力传感器检测进气压力，通过压力传感器反馈的模拟量转化反馈流量，实现压力到流量的转化，实现电控上的可检测，并大幅度降低成本。
一种用于多级真空泵氮气分配模块及其流量测定方法

[发明专利]一种真空泵的水冷变频器紧急保护装置-CN202310509074.7在审
发明人：雷震霖;王光玉;毕德龙;张佳崎;费贤 -专利权人：中科仪（南通）半导体设备有限责任公司;中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司
申请日： 2023-05-08 - 公布日： 2023-09-12 - 主分类号： F04B49/10 文献下载
摘要：一种真空泵的水冷变频器紧急保护装置，属于真空泵技术领域，为了解决当变频器外壳在外力作用或者老化作用下发生漏水现象时，冷却水则会发生泄漏，浸入到变频器上即其他电气设备上时，则极易产生短路等不安全的问题，发明包括变频器外壳和分别固定安装在变频器外壳两端一侧外壁上的安装板，变频器外壳的内腔底面上安装有紧急推起安装板，变频器外壳顶面开口的两端处分别活动安装有封堵门板，变频器外壳底面的一端一侧处连通固定安装有一对水冷管，变频器外壳内腔的下端两端处分别设置有吸水连接组件，本发明巧妙的运用了漏水时，水本身的重力，来启动紧急推起安装板，可同时完成多个效果，方便使用。
一种真空泵水冷变频器紧急保护装置

[发明专利]一种真空泵轴防腐蚀配气结构-CN202310569962.8在审
发明人：王冰冰;雷震霖;孔祥玲;王光玉;郝昌龙;李昌龙 -专利权人：中科仪（南通）半导体设备有限责任公司;中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司
申请日： 2023-05-19 - 公布日： 2023-09-12 - 主分类号： F04C18/12 文献下载
摘要：本发明公开了一种真空泵轴防腐蚀配气结构，包括真空泵体（20），所述真空泵体（20）设有上腔体（22），所述上腔体（22）底部连接下腔体（10），所述上腔体（22）顶部中心安装有进气接口（21），所述上腔体（22）内部设有细长通道（23），屏障流体通过所述进气接口（21）进入所述细长通道（23）后到达下腔体通道（12），屏障流体通过下腔体通道（12）进入轴与孔道（11）的空隙处进行稀释工艺气体，本发明可以防止轴被工艺气体腐蚀，从而保护零部件，延长真空泵的使用寿命。
一种真空泵腐蚀结构

[发明专利]一种附带防水安全结构的水冷变频器-CN202310455127.1在审
发明人：雷震霖;孔祥玲;王光玉;毕德龙;刘在行;张佳崎;杨士威 -专利权人：中科仪（南通）半导体设备有限责任公司;中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司
申请日： 2023-04-25 - 公布日： 2023-08-25 - 主分类号： H05K7/20 文献下载
摘要：本发明公开了一种附带防水安全结构的水冷变频器，包括外框架和变频器本体，所述外框架的内部设置有变频器本体，所述外框架的前侧设置有控制区，所述控制区与变频器本体相连接，所述外框架的侧面开设有呈倾斜状的换气口，所述变频器本体的侧面内部设置有水冷结构，所述水冷结构循环设置在变频器本体的侧面，所述水冷结构的内部设置有低压渐动结构，所述水冷结构的外侧等距设置有风冷结构；当水流入到水冷结构的内部后，低压渐动结构可以带动水在水冷结构内进行循环震荡，从而避免水冷结构内出现水垢或是异物等对水冷结构造成腐蚀，造成水冷结构出现漏水的现象，增加水冷结构的使用寿命。
一种附带防水安全结构水冷变频器

[发明专利]一种大型真空机械手-CN202310713926.4有效
发明人：赵崇凌;王启佳;张学锋;李治;王忠旭;王勇;毕永生;佟雷 -专利权人： 中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司
申请日： 2023-06-16 - 公布日： 2023-08-22 - 主分类号： B65G47/90 文献下载
摘要：本发明涉及真空腔体交接技术领域，特别涉及一种大型真空机械手。包括水平传动机构、支撑翘动机构、固定组件、翘动腔体及传递杆组件，其中翘动腔体活动安装在固定组件上，支撑翘动机构设置于固定组件上，且与翘动腔体连接，支撑翘动机构用于支撑及驱动翘动腔体上下摆动；传递杆组件贯穿翘动腔体且能够沿轴向移动；水平传动机构设置于固定组件上且与传递杆组件传动连接，水平传动机构用于驱动传递杆组件伸缩。本发明原理简单，运动稳定可靠，传递行程可调，可交接大行程，大负载样品，在低、高真空环境都可以使用，应用范围广。
一种大型真空机械手

[发明专利]一种真空机械手-CN202310713929.8有效
发明人：王启佳;赵崇凌;张学锋;李治;林秀清;王勇;吕良;佟雷 -专利权人： 中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司
申请日： 2023-06-16 - 公布日： 2023-08-18 - 主分类号： B65G47/90 文献下载
摘要：本发明涉及真空腔体交接技术领域，特别涉及一种真空机械手。包括交接叉组件、曲柄连杆滑块机构、机械手底座及驱动装置，其中曲柄连杆滑块机构和驱动装置分别设置于机械手底座的两端，交接叉组件与曲柄连杆滑块机构连接，驱动装置通过机械手底座和曲柄连杆滑块机构驱动交接叉组件绕机械手底座的轴线旋转同时能够伸缩。本发明可以在各种真空环境下，完成对样品的360°的旋转传输，传输稳定、可靠，可以满足不同交接距离，不同质量样品的真空传输。
一种真空机械手

[发明专利]一种罗茨转子-CN202210208276.3有效
发明人：王光玉;徐静怡;王云;杨帆;张佳崎 -专利权人：中科仪（南通）半导体设备有限责任公司;中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司
申请日： 2022-03-04 - 公布日： 2023-08-15 - 主分类号： F04C18/12 文献下载
摘要：本发明属于干式真空泵领域，具体说是一种罗茨转子。其中端面型线包括：首尾连接的n条曲线，其中，n为罗茨转子的叶数；第一曲线由齿根圆弧包络线处直线修型、齿根圆弧包络线、以齿顶圆弧处的直线修型截取齿顶圆弧得到的曲线、齿根圆弧包络线以及齿根圆弧包络线处直线修型按逆时针依次连接，第n曲线均由第一曲线阵列n个得到；以通过回转中心点O与齿顶圆弧圆心的直线为第一型线的对称轴；齿根圆弧包络线处直线修型与齿根圆弧包络线处直线修型相对于对称轴对称；齿根圆弧包络线与齿根圆弧包络线相对于对称轴对称；本发明可有效地减少齿顶处的应力集中现象，具有较高的强度。
一种转子

[实用新型]一种钛升华泵用的常温冷阱结构-CN202320281647.0有效
发明人：张颖志;王启佳;袁方;赵崇凌 -专利权人： 中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司
申请日： 2023-02-22 - 公布日： 2023-08-01 - 主分类号： F04B37/14 文献下载
摘要：本实用新型属于钛升华泵领域，具体地说是一种钛升华泵用的常温冷阱结构，包括大法兰焊件、小法兰焊件、冷阱筒焊件、挡板焊件及波浪板焊件，冷阱筒焊件的一端与大法兰焊件的一端相连，大法兰焊件的另一端连接真空腔室，冷阱筒焊件的另一端与小法兰焊件的一端相连，小法兰焊件的另一端连接钛升华器；大法兰焊件与冷阱筒焊件的连接处设有挡板焊件，挡板焊件可拆卸地安装于冷阱筒焊件内部，挡板焊件阻挡钛升华器升华的钛溢出到真空腔室内；波浪板焊件容置于冷阱筒焊件内，波浪板焊件具有增加吸附钛蒸汽表面积的多个波浪。本实用新型的波浪圆板使钛升华器的吸附表面积增加了4～6倍，提高了钛升华器的升华速率；挡板焊件避免污染真空腔室，且易于拆卸清洗。
一种升华常温结构

[发明专利]一种具有渐变形状系数的罗茨转子及其设计方法-CN202011445831.1有效
发明人：谢元华;高满堂;王光玉;王云;刘坤;钟瑞;王桂鹏;巴要帅;巴德纯;蔡旭 -专利权人：东北大学;中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司
申请日： 2020-12-09 - 公布日： 2023-07-25 - 主分类号： F04C18/12 文献下载
摘要：本发明涉及真空罗茨泵领域，具体地说是一种具有渐变形状系数的罗茨转子及其设计方法，转子的形状系数沿着轴向方向逐渐变化，且变化趋势为一个连续函数，并且变化趋势至少包括逐渐递减和逐渐递增中的一种，转子的最大形状系数为理论最大值Cmax，转子腰部为凹部A，转子外侧为顶部B，且两个转子配合时，其中一个转子的顶部B嵌入另一个转子的凹部A中。本发明转子的形状系数在沿着轴向的方向上逐渐变化，并形成大形状系数段和小形状系数段，其中大形状系数段的转子可以达到形状系数的理论最大值，因此罗茨泵的容积利用系数和抽速显著提高，而小形状系数段的转子可以充当大形状系数段转子的肋板，对整个转子起到加强作用。
一种具有渐变形状系数转子及其设计方法

[发明专利]一种螺杆真空干泵转子的设计方法-CN202011445863.1有效
发明人：刘坤;彭阳;王光玉;王云;王桂鹏;秦柏林;巴要帅;迟小宇;巴德纯;黄成 -专利权人：东北大学;中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司
申请日： 2020-12-09 - 公布日： 2023-07-11 - 主分类号： F04C18/16 文献下载
摘要：本发明涉及真空泵领域，具体地说是一种螺杆真空干泵转子及其设计方法，转子型线包括多个弧段且角端形成ef平直段，并且所述ef平直段与相邻转子之间形成平行间隙，转子设计方法包括如下步骤：步骤一、根据泵所需要的抽速建立螺杆转子端面型线；步骤二、将齿顶圆弧ad段与摆线ab段交点a处进行倒角处理，形成平直段ef；步骤三、将步骤二中获得的图形沿着螺旋线进行扫描拉伸获得阴阳转子配合结构；步骤四、对转子间隙剖面视图放大确认相邻螺杆转子齿面之间形成平行间隙结构；步骤五、调整平直段ef的长度，进而调整螺杆转子间隙。本发明将螺杆转子间的间隙改为平行状态，降低转子泄露，且间隙设计可调。
一种螺杆真空转子设计方法

[发明专利]一种新型极高真空离子泵异常放电检测与抑制装置-CN202310275134.3在审
发明人：叶琳琳;赵崇凌;汪良;袁方;佟雷 -专利权人： 中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司
申请日： 2023-03-21 - 公布日： 2023-07-04 - 主分类号： F04B51/00 文献下载
摘要：本发明涉及极高真空离子泵异常打火放电检测领域，具体来说是一种新型极高真空离子泵异常放电检测与抑制装置，包括异常放电信号获取单元、异常放电信号调理单元、异常放电信号截取单元及异常放电信号处理与显示单元。本发明能够检测极高真空离子泵内异常打火放电情况，并根据离子泵内异常放电情况进行统计分析与自启动防护策略，从而可以起到保护离子泵与离子泵控制仪的作用。
一种新型极高真空离子异常放电检测抑制装置

[发明专利]一种低温杜瓦瓶及其使用方法-CN202310172268.2在审
发明人：张学良;赵崇凌;袁方;王启佳 -专利权人： 中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司
申请日： 2023-02-28 - 公布日： 2023-06-23 - 主分类号： F17C3/04 文献下载
摘要：本发明属于液氮存储及低温传导领域，具体地说是一种低温杜瓦瓶及其使用方法，内腔室安装于外腔室内部，内腔室与外腔室之间为用于内腔室与外界隔热的真空夹层；内腔室设有穿出外腔室外部的液氮管路管道，液氮管路管道的一端与内腔室的内部相连通、另一端设有冷却铜头，向内腔室灌装液氮的液氮管路的一端与外部液氮存储罐相连，另一端伸入内腔室内部，并伸至冷却铜头处；液氮管路管道上套设有真空腔对接法兰，真空腔对接法兰的一端位于外腔室外部、并连接于真空腔室上，另一端伸入外腔室的内部，真空腔对接法兰与内腔室及外腔室的固接点相互远离。本发明实现了将液氮的低温传导至真空腔室内部，安装简单，使用方便且稳定性高。
一种低温杜瓦瓶及其使用方法

[发明专利]一种具有自动调焦功能的差分高能电子衍射系统及方法-CN202010939036.1有效
发明人：赵崇凌;张宁;袁方 -专利权人： 中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司
申请日： 2020-09-09 - 公布日： 2023-06-20 - 主分类号： G01N23/20058 文献下载
摘要：本发明涉及电路技术领域，具体说是一种具有自动调焦功能的差分高能电子衍射系统及方法。包括PC机、高能电源箱、以及安装在真空腔室腔壁上的高能电子枪、荧光屏、样品台和CCD相机；PC机输出端与高能电源箱连接，输入端与CCD相机连接，接收CCD相机采集在荧光屏上的衍射图像，并得到控制输入电压传输至高能电源箱，实时接收高能电子枪的控制输出电压；高能电源箱接收的控制输入电压对高能电子枪进行调整聚焦；高能电子枪接收到高能电源箱传输的调整的控制输出电压，并发送电子束至样品台上；本发明将采集的图像数据作为控制输入、通过获取控制电压输出、形成闭环控制，自动调节衍射图像的质量，避免了手动调节带来的误差，并降低了设备操作的复杂性。
一种具有自动调焦功能高能电子衍射系统方法

[发明专利]一种新型极高真空离子泵的离子流高精测量装置与方法-CN202310275137.7在审
发明人：叶琳琳;赵崇凌;汪良;袁方;佟雷;郭东民 -专利权人： 中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司
申请日： 2023-03-21 - 公布日： 2023-06-06 - 主分类号： F04B51/00 文献下载
摘要：本发明属于极高真空离子泵领域，具体说是一种新型极高真空离子泵的离子流高精测量装置与方法。所述装置包括：信号采集单元，用于采集离子泵内离子流信号；信号处理单元，用于对采样到的信号进行提取与放大；信号转换单元，用于对处理后的信号进行模数转换；数据处理与显示单元，用于对转换后的信号进行处理与显示。本发明可以准确测量离子泵内离子流大小，并能够根据离子流大小准确反映离子泵内部真空度，从而可以替代真空计，非常适用于超高真空或极高真空系统。
一种新型极高真空离子流高精测量装置方法

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