专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [实用新型]前驱物输送系统及前驱物供应封装-CN202222342592.8有效
  • P·莫雷斯基尼 - 恩特格里斯公司
  • 2022-09-02 - 2023-05-12 - F17C9/02
  • 本申请案涉及前驱物输送系统及前驱物供应封装。一些实施例涉及用于产生气态前驱物的前驱物输送系统。所述前驱物输送系统可包含容纳固态前驱物材料的一或多个前驱物供应封装。所述一或多个前驱物供应封装可经配置以将所述固态前驱物材料加热到足以导致所述固态前驱物材料热分解的温度。所述固态前驱物材料的所述热分解可产生气态前驱物。所述气态前驱物可供应到利用气态前驱物的工艺。另外实施例涉及前驱物供应封装及相关方法。
  • 前驱输送系统供应封装
  • [发明专利]用于半导体设备的前驱体物供应装置、供应方法及设备-CN202110872836.0在审
  • 史晶 - 北京北方华创微电子装备有限公司
  • 2021-07-30 - 2023-02-03 - C23C16/52
  • 本发明公开一种用于半导体设备的前驱体物供应装置、供应方法及设备,其中供应装置包括:前驱体物容器,前驱体物容器内包括相互隔离设置的前驱体物供应区和前驱体物补充区,前驱体物补充区和前驱体物供应区均用于容纳液态前驱体物;液压监测系统,液压监测系统用于实时监测并显示前驱体物供应区内的液态前驱体物的液压;补液系统,补液系统用于根据液压监测系统监测的前驱体物供应区内的液态前驱体物的液压,将前驱体物补充区内的液态前驱体物输送至前驱体物供应区本装置保证了前驱体物的稳定充足供应,提高了前驱体物的利用率,提高了薄膜的沉积质量。
  • 用于半导体设备前驱供应装置方法设备
  • [发明专利]半导体设备及其供气系统-CN201911353207.6在审
  • 史晶;郑波;马振国;王晶;吴鑫 - 北京北方华创微电子装备有限公司
  • 2019-12-25 - 2020-04-07 - C23C16/52
  • 该供气系统的载气管路与前驱物主容器连通,前驱物主容器用于容纳前驱物并生成前驱物气体,前驱物气体与载气在前驱物主容器中混合形成混合气体;前驱物管路与半导体设备的工艺腔室连通,混合气体通过前驱物管路通向工艺腔室;前驱物补充容器用于容纳前驱物并生成前驱物气体,前驱物补充容器通过补充管路与前驱物管路连通;第一质量流量器设于前驱物管路上,用于检测混合气体的流量值;控制器控制补充管路中前驱物气体的流量值,以向前驱物管路中补充前驱物气体
  • 半导体设备及其供气系统
  • [发明专利]一种量子点的制备方法-CN201910208244.1在审
  • 程陆玲;杨一行 - TCL集团股份有限公司
  • 2019-03-19 - 2020-09-29 - C09K11/56
  • 本发明提供一种量子点的制备方法,包括如下步骤:提供量子点核;将所述量子点核分散到第一前驱体溶液中,得到混合溶液;加入第二前驱体和第三前驱体进行晶体生长,得到所述量子点;其中,所述第一前驱体溶液被配置为离子前驱体溶液,所述第二前驱体和第三前驱体选自阴离子前驱体;或者,所述第一前驱体溶液被配置为阴离子前驱体溶液,所述第二前驱体和第三前驱体选自阳离子前驱体;并且,所述第二前驱体与所述第一前驱体反应进行晶体生长的反应活性大于所述第三前驱体与所述第一前驱体反应进行晶体生长的反应活性
  • 一种量子制备方法
  • [实用新型]一种汽车分动箱前驱结构-CN201420173477.5有效
  • 叶伟飞;胡楚金;程森;李欣 - 浙江万里扬变速器股份有限公司
  • 2014-04-11 - 2014-09-03 - B60K17/344
  • 本实用新型属于汽车分动箱类,具体是一种汽车分动箱前驱结构,包括前驱轴总成、油封、端盖、前驱壳体、密封塞片、定位螺钉、拨叉、气缸总成,其特征在于:前驱轴总成通过端盖轴向固定在前驱壳体上;气缸总成通过螺栓连接在前驱壳体上;前驱壳体通过定位止口与分动箱壳体连接,前驱轴总成与分动箱主箱二轴同心,前驱轴总成、气缸总成安装在前驱壳体上,构成整体式前驱结构,通过气缸总成保证换挡准确定位。本实用新型前驱轴总成、气缸总成安装在前驱壳体上,构成整体式前驱结构,结构简单,拆装方便,成本低。
  • 一种汽车分动箱前驱结构
  • [发明专利]制备BiGaO3薄膜材料的反应装置-CN201710579314.5在审
  • 尹海宏;王志亮;宋长青 - 南通大学
  • 2015-11-11 - 2017-12-15 - C23C16/40
  • 一种制备BiGaO3薄膜材料的反应装置,包括有铋前驱体源、铋前驱体管路手动阀、铋前驱体管路自动阀、铋前驱体载气管路质量流量控制器、镓前驱体源、镓前驱体管路手动阀、镓前驱体管路自动阀、镓前驱体载气管路质量流量控制器、氧前驱体源、氧前驱体管路手动阀、氧前驱体管路自动阀、氧前驱体载气管路质量流量控制器、惰性气体源、惰性气体管路手动阀、真空反应腔、真空泵、真空泵进气口自动阀门、设备控制器,真空反应腔中设有电加热器和温度传感器,铋前驱体源1、镓前驱体源2、氧前驱体源3的容器均设有电加热器和半导体制冷器。
  • 制备bigao3薄膜材料反应装置
  • [发明专利]一种量子点的制备方法-CN201811583541.6在审
  • 聂志文;杨一行 - TCL集团股份有限公司
  • 2018-12-24 - 2020-06-30 - C09K11/70
  • 本发明公开了一种量子点的制备方法,方法包括:提供阴离子前驱体溶液,所述阴离子前驱体溶液包括V族前驱体、第一配位溶剂和介孔材料,所述V族前驱体包括P前驱体;提供阳离子前驱体溶液,所述阳离子前驱体溶液包括III族前驱体,所述III族前驱体包括In前驱体;将所述阴离子前驱体溶液和所述阳离子前驱体溶液混合,在所述介孔材料的孔道中进行量子点晶体生长;加入脱附剂,得到量子点。
  • 一种量子制备方法
  • [发明专利]一种可移动基座-CN202111543781.5在审
  • 代楚汉;王挺;王元军;黄浩东 - 宁波睿达医疗器械有限公司
  • 2021-12-16 - 2022-02-25 - B62D63/02
  • 本说明书实施例提供一种可移动基座,包括底座和安装在底座下端的前驱组件和后轮。前驱组件有两组;每组前驱组件包括电机、前驱轮、传动机构、手动离合机构和前驱底板;电机、前驱轮、传动机构、手动离合机构通过前驱底板固定连接在底座上;手动离合机构包括离挡位和合挡位;当手动离合机构处于合挡位时,电机通过传动机构与前驱轮传动连接,每组前驱组件的前驱轮能够在其对应的电机的带动下运动;当手动离合机构处于离挡位时,电机与前驱轮脱离传动连接,前驱轮能够被外力推动。该可移动基座,前驱轮反应灵敏,电机助力,可快速推行,制动迅速,配有手动离合,电机断电状态也可以将电机驱动与前驱轮分离,可实现人工外力推动,使用方便。
  • 一种移动基座
  • [实用新型]一种可移动基座-CN202123174961.9有效
  • 代楚汉;王挺;王元军;黄浩东 - 宁波睿达医疗器械有限公司
  • 2021-12-16 - 2022-05-31 - B62D63/02
  • 本说明书实施例提供一种可移动基座,包括底座和安装在底座下端的前驱组件和后轮。前驱组件有两组;每组前驱组件包括电机、前驱轮、传动机构、手动离合机构和前驱底板;电机、前驱轮、传动机构、手动离合机构通过前驱底板固定连接在底座上;手动离合机构包括离挡位和合挡位;当手动离合机构处于合挡位时,电机通过传动机构与前驱轮传动连接,每组前驱组件的前驱轮能够在其对应的电机的带动下运动;当手动离合机构处于离挡位时,电机与前驱轮脱离传动连接,前驱轮能够被外力推动。该可移动基座,前驱轮反应灵敏,电机助力,可快速推行,制动迅速,配有手动离合,电机断电状态也可以将电机驱动与前驱轮分离,可实现人工外力推动,使用方便。
  • 一种移动基座
  • [发明专利]前驱体供应腔室-CN202080045851.1在审
  • J·韦斯林;M·马里拉;P·索恩宁 - BENEQ有限公司
  • 2020-04-24 - 2022-02-01 - C23C16/448
  • 本发明涉及用于容纳前驱体容器(80)的前驱体供应腔室(10),该前驱体供应腔室(10)与原子层沉积设备连接。前驱体供应腔室(10)包括腔室壁(11、12、13、15、16、18),该腔室壁(11、12、13、15、16、18)限定前驱体供应腔室(10)内部的腔室空间。前驱体供应腔室(10)还包括腔室门组件(12、17、30、32、40)、第一加热元件(61)以及气密式前驱体连接件(50),该腔室门组件(12、17、30、32、40)布置成以气密方式关闭前驱体供应腔室(10),第一加热元件(61)设置至前驱体供应腔室(10)并且布置成加热前驱体供应腔室(10)的腔室空间内部的前驱体容器(80),气密式前驱体连接件(50)设置至腔室壁(11、12、13、15、16、18)以将前驱体从前驱体容器(80)供应到前驱体供应腔室(10)外部。
  • 前驱供应

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