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- [发明专利]移动的、可运输的静电衬底保持设备-CN201180059882.3有效
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F.施瓦茨
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曼兹股份公司
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2011-12-14
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2013-11-13
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H01L21/683
- 用于薄的片状工件以及在高温下使用的移动的、可运输的静电衬底保持设备（1），该静电衬底保持设备具有衬底保持器（2，20，30，40）以及用于衬底保持器（2，20，30，40）的载体（3），所述衬底保持器包括至少一个包括电极对（31.1,31.2,32.1,32.2,33.1,33.2,34.1,34.2；41.1,41.2,42.1,42.2,43.1,43.2,44.1,44.2）的保持装置（31-34，41-44），其特征在于，衬底保持器（2，20，30，40）经由至少一个侧边缘（2a，2b，2c，2d）至少最大程度热去耦地与所述载体（3）机械连接。
- 移动运输静电衬底保持设备
- [发明专利]衬底处理装置及衬底处理方法-CN202110980004.0在审
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山口贵大;泽岛隼;圆札昭寿
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株式会社斯库林集团
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2021-08-25
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2022-03-01
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H01L21/67
- 本发明涉及一种衬底处理装置及衬底处理方法。本发明提供一种衬底处理装置，包含：分度器块；及处理块，在所述分度器块的横向上相邻，在上下方向积层着多个处理块层。所述分度器块包含：收容器保持部，用来保持收容衬底的衬底收容器；及第1搬送机构，在保持在所述收容器保持部的衬底收容器与所述处理块之间搬送衬底。各处理块层包含：多个处理单元，对衬底进行处理；衬底载置部，暂时保持在所述第1搬送机构与所述处理块层之间交接的衬底；伪衬底收容部，收容所述多个处理单元中能使用的伪衬底；及第2搬送机构，在所述衬底载置部与所述多个处理单元之间搬送衬底，在所述伪衬底收容部与所述多个处理单元之间搬送伪衬底。
- 衬底处理装置方法
- [发明专利]衬底洗净装置-CN202080064970.1在审
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甲盛谆;西山耕二
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株式会社斯库林集团
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2020-08-07
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2022-04-26
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B08B1/02
- 本发明的衬底洗净装置的旋转保持部保持衬底下表面中央部而旋转。第1及第2直动保持部分别保持衬底下表面周缘部的相互对向的第1及第2区域，且在平行于第1方向的方向往复移动。下表面洗净器在由第1及第2直动保持部保持衬底时洗净衬底下表面中央部，在由旋转保持部将衬底保持及旋转时洗净衬底下表面周缘部。第1直动保持部包含通过吸引而保持衬底的第1区域的多个第1吸附垫；第2直动保持部包含通过吸引而保持衬底的第2区域的多个第2吸附垫。
- 衬底洗净装置
- [发明专利]衬底保持器、衬底支撑件和将衬底夹持至夹持系统的方法-CN201880075157.7在审
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A·A·索图特;T·波耶兹
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ASML荷兰有限公司
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2018-10-24
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2020-07-10
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G03F7/20
- 一种将衬底(W)夹持至夹持系统的方法，所述方法包括以下步骤：提供衬底保持器(200)，所述衬底保持器包括：主体(210)，具有第一主体表面(212)和第二主体表面(214)，其中所述第一主体表面和第二主体表面在所述主体的相反侧上；和多个第一突节(220a，220b)，从所述第一主体表面突出，其中每个第一突节具有配置成支撑所述衬底的远端表面；提供用于支撑所述衬底保持器的支撑表面(300)；提供多个第二突节(240)，所述多个第二突节用于通过所述支撑表面与多个第二突节的远端表面接触而将所述衬底保持器支撑在所述支撑表面上；生成第一力以将所述衬底保持器吸引至所述支撑表面；将所述衬底放置在所述衬底保持器上，以使得所述衬底接触所述多个第一突节；生成第二力以将所述衬底吸引至所述衬底保持器；和控制在释放步骤中的所述第一力和第二力中的至少一个，以使得所述主体在第二突节之间变形，从而在第一子集的多个第一突节的远端表面和衬底之间产生间隙(225，226)，并使得所述衬底被支撑在第二子集的所述多个第一突节的远端表面上。
- 衬底保持支撑夹持系统方法
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