专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]衬底保持和夹具-CN201010535420.1无效
  • T·贝纳尔 - S.O.I.TEC绝缘体上硅技术公司
  • 2010-11-01 - 2011-06-22 - H01L21/683
  • 本发明涉及一种衬底保持和夹具,所述衬底保持包括:衬底支撑件;可移动的夹紧装置,其被配置为在第一位置接合位于所述支撑件上的衬底以及在不同的位置远离衬底;定位装置,其用于使所述夹紧装置从所述第二位置向所述第一位置移动为了防止当没有衬底位于所述支撑件上时所述夹紧装置和所述支撑件之间接触,使用限制所述夹紧装置的运动的弹性止动元件。本发明还涉及一种夹具以及一种使用所述衬底保持和所述夹具的离子注入机。
  • 衬底保持夹具

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