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本网专利代理业务由天津创信方达专利代理事务所(普通合伙)承接机构代码：12247 本网专利代理业务由天津创信方达专利代理事务所(普通合伙)承接机构代码：12247 本网专利代理业务由天津创信方达专利代理事务所(普通合伙)承接机构代码：12247

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专利名称

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申请人
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农业化学；冶金建筑机械工程区域搜索

主分类

B 作业；运输

C 化学；冶金

D 纺织；造纸

E 固定建筑物

F 机械工程、照明、加热

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公布日期

2023-10-24 公布专利

2023-10-20 公布专利

2023-10-17 公布专利

2023-10-13 公布专利

2023-10-10 公布专利

2023-10-03 公布专利

2023-09-29 公布专利

2023-09-26 公布专利

2023-09-22 公布专利

2023-09-19 公布专利

专利权人

国家电网公司

华为技术有限公司

中兴通讯股份有限公司

三星电子株式会社

中国石油化工股份有限公司

鸿海精密工业股份有限公司

松下电器产业株式会社

上海交通大学

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[发明专利]基板处理装置-CN202310251733.1在审
发明人： 甲盛谆 -专利权人：株式会社斯库林集团
申请日： 2023-03-15 - 公布日： 2023-09-19 - 主分类号： G03F7/30 文献下载
摘要：本发明的显影装置具有多个喷嘴和多个配管。多个喷嘴向基板供给处理液。多个配管各自与多个喷嘴中的任一个连接，并向所连接的喷嘴供给处理液。显影装置具备支撑体和罩构件。支撑体支撑多个配管的一部分。罩构件容许从多个喷嘴向基板供给处理液并收纳多个喷嘴和多个配管的一部分。通过使支撑体移动或旋转，使多个喷嘴在处理位置与待机位置之间移动。
处理装置

[发明专利]衬底处理装置-CN202310228395.X在审
发明人： 甲盛谆 -专利权人：株式会社斯库林集团
申请日： 2023-03-10 - 公布日： 2023-09-19 - 主分类号： G03F7/30 文献下载
摘要：本发明涉及一种衬底处理装置。显影装置具备壳体、气流形成部及衬底保持装置。气流形成部在壳体的内部空间形成清洁的下降气流。显影装置还具备多个喷嘴及划分机构。多个喷嘴向由衬底保持装置保持的衬底供给处理液。划分机构在由衬底保持装置保持衬底的状态下，将壳体的内部空间划分为处理空间与非处理空间。处理空间是包含由衬底保持装置保持的衬底的空间。划分机构包含接住从衬底飞散的处理液的杯、具有喷嘴开口及多个贯通孔且设置于杯的上方的划分板、及覆盖喷嘴开口的罩构件。
衬底处理装置

[发明专利]衬底洗净装置-CN202080064970.1在审
发明人： 甲盛谆;西山耕二 -专利权人：株式会社斯库林集团
申请日： 2020-08-07 - 公布日： 2022-04-26 - 主分类号： B08B1/02 文献下载
摘要：本发明的衬底洗净装置的旋转保持部保持衬底下表面中央部而旋转。第1及第2直动保持部分别保持衬底下表面周缘部的相互对向的第1及第2区域，且在平行于第1方向的方向往复移动。下表面洗净器在由第1及第2直动保持部保持衬底时洗净衬底下表面中央部，在由旋转保持部将衬底保持及旋转时洗净衬底下表面周缘部。第1直动保持部包含通过吸引而保持衬底的第1区域的多个第1吸附垫；第2直动保持部包含通过吸引而保持衬底的第2区域的多个第2吸附垫。
衬底洗净装置

[发明专利]旋转保持装置及具备该旋转保持装置的衬底处理装置-CN202111032159.8在审
发明人：徐飞;熊田雄介;甲盛谆 -专利权人：株式会社斯库林集团
申请日： 2021-09-03 - 公布日： 2022-03-04 - 主分类号： H01L21/683 文献下载
摘要：本发明涉及一种旋转保持装置及具备该旋转保持装置的衬底处理装置。旋转保持装置具备：吸附保持部，具有吸附保持衬底的下表面中央部的上表面；及旋转驱动部，使吸附保持部绕铅垂轴旋转。上表面具有周缘部区域、及被周缘部区域包围的中央部区域。在周缘部区域设置有多个第1抽吸孔，且在中央部区域设置有多个第2抽吸孔。周缘部区域中的多个第1抽吸孔的面密度比中央部区域中的多个第2抽吸孔的面密度大。多个第1抽吸孔的面密度及多个第2抽吸孔的面密度也可以不满足所述关系。在该情况下，在旋转保持装置中设置对未由吸附保持部吸附保持的衬底的下表面周缘部的至少一部分的温度进行调整的温度调整部。
旋转保持装置具备衬底处理

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