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农业化学；冶金建筑机械工程区域搜索

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B 作业；运输

C 化学；冶金

D 纺织；造纸

E 固定建筑物

F 机械工程、照明、加热

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2023-10-24 公布专利

2023-10-20 公布专利

2023-10-17 公布专利

2023-10-13 公布专利

2023-10-10 公布专利

2023-10-03 公布专利

2023-09-29 公布专利

2023-09-26 公布专利

2023-09-22 公布专利

2023-09-19 公布专利

专利权人

国家电网公司

华为技术有限公司

中兴通讯股份有限公司

三星电子株式会社

中国石油化工股份有限公司

鸿海精密工业股份有限公司

松下电器产业株式会社

上海交通大学

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[发明专利]电子轰击镀膜机-CN201210012537.0在审
发明人：叶宗锋;范继良;刘惠森 -专利权人：东莞宏威数码机械有限公司
申请日： 2012-01-13 - 公布日： 2012-10-03 - 主分类号： C23C14/30 文献下载
摘要：本发明公开了一种电子轰击镀膜机，包括腔体、抽真空装置、基板输送装置、蒸发源装置、膜厚监测装置及控制器。腔体内开有与抽真空装置连通的真空腔；基板输送装置承担基板于外界和真空腔之间输送；蒸发源装置内于真空腔内并位于真空腔内的基板正下方且包括装置本体、电子枪、偏转电极和蒸发源承装器；电子枪和蒸发源承装器分别设于装置本体内，偏转电极位于电子枪和蒸发源承装器之间，装置本体的顶端分别开设有电子枪射出口和溅镀开口；膜厚监测装置包括设于真空腔内且位于蒸发源装置和基板之间的膜厚监测仪；控制器分别与抽真空装置、电子枪、偏传电极、基板输送装置及厚膜监测仪电性连接本发明能提高蒸发效率和材料利用率以满足自动化的要求。
电子轰击镀膜

[实用新型]一种高真空多源蒸发镀膜设备-CN202223148976.2有效
发明人：吴科宁;朱姝 -专利权人：沈阳硕科科技有限公司
申请日： 2022-11-25 - 公布日： 2023-05-09 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本实用新型涉及真空镀膜机技术领域，尤其是一种高真空多源蒸发镀膜设备，包括高真空多源蒸发镀膜仪，所述高真空多源蒸发镀膜仪的一侧上方与环形板的一端固定连接，所述高真空多源蒸发镀膜仪的一侧下方与壳体的一端固定连接通过高真空多源蒸发镀膜仪、底板、万向轮、壳体、环形板、圆块和移动结构的配合，使得该装置在使用时，可以通过转动丝杆，丝杆带动斜板向下移动，斜板带动竖杆向下移动，竖杆带动底板向下移动，使底板与地面想接触，进而增大与地面的接触面积，提高高真空多源蒸发镀膜仪的稳定性，避免在受到外力的作用时，导致高真空多源蒸发镀膜仪发生滑动，影响工作人员正常使用。
一种真空蒸发镀膜设备

[实用新型]一种真空离子蒸发镀膜装置-CN201620435356.2有效
发明人：关振奋 -专利权人：晋谱（福建）光电科技有限公司
申请日： 2016-05-13 - 公布日： 2016-09-07 - 主分类号： C23C14/26 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种真空离子蒸发镀膜装置，该真空离子蒸发镀膜装置的壳体包括三层密封壳体，并在不同密封壳体之间设置有夹层空腔，在不同的夹层空腔内和在壳体外分别设置了真空泵，通过逐层抽真空的方式对中央真空室进行抽真空，大大提高了抽真空的效果，从而使本真空离子蒸发镀膜装置能够制得连续薄膜，提高薄膜在基板上的附着力，以及工艺重复性。
一种真空离子蒸发镀膜装置

[发明专利]自动补湿节能型真空预冷系统-CN200910055487.2无效
发明人：阚安康;韩厚德;纪珺 -专利权人：上海海事大学
申请日： 2009-07-28 - 公布日： 2010-07-21 - 主分类号： F25B25/00 文献下载
摘要：本发明提供了一种洁净安全节能的真空预冷系统，该系统可以通过设置在真空室上的抽吸增压泵自动向真空室内补偿雾化水，水分低压吸热蒸发而在真空室内产生制冷效果，同时补偿水分的蒸发取代果蔬自身水分的蒸发，避免预冷过程中因果蔬自身水分的蒸发带来的质量流失即“干耗”，保障果蔬品质；捕水器设置在真空室内，可以预冷真空室内的空气，缩短真空预冷所必须的保压时间，且具有节能效果；真空泵前设有干燥器，吸收残余水分，保证真空泵的正常安全运行。本发明是目前真空预冷系统的改进和升级，可以极大的提高果蔬的真空预冷的效果，保证果蔬品质，提高真空预冷系统的工作效率，节能效果显著。
自动节能型真空预冷系统

[实用新型]一种真空薄层蒸发器-CN201821532284.9有效
发明人：元晓华;吕卫奇 -专利权人：福建中庚环境技术有限公司
申请日： 2018-09-19 - 公布日： 2019-06-04 - 主分类号： B01D1/22 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种真空薄层蒸发器，包括真空筒体、主轴和若干个圆盘；真空筒体大致呈水平放置，其上方设有抽气口，其下方设有进液口和出液口；主轴沿轴向穿过真空筒体的中心，主轴为具有空腔的空心轴，其一端设有蒸汽入口，其另一端与驱动机构相连接；若干个圆盘串联并套设在主轴上，圆盘呈竖直放置，其表面形成薄层蒸发的换热表面。本实用新型的真空薄层蒸发器结合了真空蒸发和薄层蒸发的双重理论，有效地克服了高浓高盐废液在蒸发结果过程因过度浓缩造成的粘滞、结垢等问题。
薄层蒸发器真空筒体蒸发本实用新型表面形成薄层换热表面结果过程驱动机构竖直放置蒸汽入口轴向穿过抽气口出液口进液口空心轴有效地薄层废液高浓高盐结垢空腔粘滞串联浓缩

[实用新型]煤油气相干燥设备-CN201920555530.0有效
发明人：张文;丘福生;吴标平 -专利权人：中山凯旋真空科技股份有限公司
申请日： 2019-04-19 - 公布日： 2020-01-17 - 主分类号： F26B9/06 文献下载
摘要：该该煤油气相真空干燥设备可以包括储存罐、蒸发装置、第一过滤装置、真空罐、变压器以及回油通道。储存罐用于存储煤油；蒸发装置通过出油管连接于储存罐，蒸发装置用于将储存罐提供的煤油加热为煤油蒸汽；第一过滤装置设于出油管；真空罐通过连接管连接于蒸发装置；变压器设于真空罐内；回油通道连接于储存罐和蒸发装置之间，以及储存罐和真空罐之间，用于将蒸发装置和真空罐内的液体回流至储存罐。
储存罐蒸发装置真空罐油气过滤装置回油通道出油管煤油变压器干燥技术领域真空干燥设备本实用新型干燥产品干燥设备加热介质煤油蒸汽液体回流连接管加热存储

[实用新型]一种蒸发真空镀膜设备的腔体-CN202320699632.6有效
发明人：朱大军;刘晓涵 -专利权人：泽鸿真空设备科技（苏州）有限公司
申请日： 2023-04-03 - 公布日： 2023-06-30 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本实用新型提供一种蒸发真空镀膜设备的腔体，包括反应腔体，还包括，蒸发腔体，贯通连接所述反应腔体的底部，内部安装有蒸发源，第一法兰，设于所述反应腔体的顶部中间，用于安装基片架转动系统和膜厚监控系统，真空腔体，所述真空腔体一侧与反应腔体的一侧贯通连接，本实用新型：通过由蒸发腔体、反应腔体及真空腔体三部分组成设备腔体，在既保证腔体真空效率及真空度的前提下，最大程度地提高腔体内镀膜的均匀性、一致性，对反应工艺的效率提高及设备成本的可控均有较大影响，利用反应腔体与蒸发腔体配合，同时最大程度地减小蒸发腔体的体积。
一种蒸发真空镀膜设备

[实用新型]一种自吸喷雾真空蒸发装置-CN200820099955.7无效
发明人：李川;喻其炳;胡晓林;张贤明 -专利权人：重庆工商大学
申请日： 2008-09-10 - 公布日： 2009-06-10 - 主分类号： B01D1/16 文献下载
摘要：一种用于液体浓缩的自吸喷雾真空蒸发装置，主要由出料管、真空蒸发室罐体、观察窗、分离塔、进料电磁阀、液体雾化器、抽气管道、液位控制器等组成。在进料电磁阀与真空蒸发室罐体之间设置有液体雾化器，出料管与真空蒸发室底部相连。液体雾化器采用螺旋圆锥雾化喷嘴，喷嘴安装中心线与真空蒸发室底部的夹角为90°，使喷射雾化的料液可以在真空自吸的低压力下形成横截面呈螺旋状的油雾罩形式，同时实现自吸进料和抑制泡沫的作用。本实用新型的蒸发效率高，通过很少的投资即可实现较高的料液浓缩效果。
一种喷雾真空蒸发装置

[发明专利]一种直写式真空蒸发系统及其方法-CN201480000021.1有效
发明人：闫鹏;张立源;张震;郭雷 -专利权人：北京航空航天大学
申请日： 2014-01-03 - 公布日： 2014-07-23 - 主分类号： C23C14/30 文献下载
摘要：本发明提出一种直写式真空蒸发系统及其方法，属于镀膜加工领域。装置包括电子束发生装置、真空蒸发室、真空系统、样品室、驱动器、多路信号采集调理模块、主控计算机、量子检测台、控制柜、显示与检测模块。方法包括：步骤1，准备；步骤2，抽真空；步骤3，定位；步骤4，靶材蒸发；步骤5，靶材束沉积镀膜；步骤6，样品台特定轨迹运动；步骤7，判断；步骤8，量子效应检测；步骤9，是否具有量子效应。本发明克服了现有真空蒸发系统中样品固定的镀膜机制，控制蒸发材料以直写形式镀膜到做超精密运动的基片表面，实现了量子功能器件制备中对图案、点阵和多层结构的加工要求，有效提高了真空蒸发镀膜的精度、效率和功能。
一种直写式真空蒸发系统及其方法

[实用新型]沉积蒸发系统及沉积蒸发传动装置-CN201520433342.2有效
发明人：乐仲;孙福河;闻永祥;曹永辉 -专利权人：杭州士兰集成电路有限公司
申请日： 2015-06-19 - 公布日： 2015-12-16 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种沉积蒸发系统以及沉积蒸发系统的传动装置，沉积蒸发系统用于对基片进行倾斜蒸发沉积，包括动力机构、沉积蒸发传动装置和真空蒸发器，所述动力机构与所述沉积蒸发传动装置相连接，用于驱动所述沉积蒸发传动装置转动；所述真空蒸发器位于所述沉积蒸发传动装置的下方；所述真空蒸发器的蒸发源面向所述沉积蒸发传动装置放置，所述蒸发源的纵向中心线与基片所在平面平行。本实用新型提供的沉积蒸发系统具有多片蒸发、基片旋转等优点，可有利于产能提升和生产成本的降低，更适用于倾斜角蒸发纳米结构薄膜的批量生产。
沉积蒸发系统传动装置

[发明专利]真空蒸发系统-CN201110424150.1有效
发明人：张志林;张建华;蒋雪茵;刘立宁;李俊 -专利权人：上海大学
申请日： 2011-12-16 - 公布日： 2017-06-30 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本发明涉及一种真空蒸发系统，包括真空腔室、蒸发源、电磁感应圈以及托架；托架设置在真空腔室的底部，电磁感应圈设置在托架上方，与托架相对，蒸发源为多个，真空蒸发系统还包括移动支架，多个蒸发源排列放置在移动支架上，移动支架将蒸发源送至托架上方，托架将蒸发源托送至电磁感应圈中通过电磁感应加热进行蒸发，并在蒸发结束后返回初始位置，将蒸发源放回移动支架上的初始位置。移动支架在蒸发源放回到初始位置时，进行移动将下一蒸发源送至托架上方，进行下一次蒸发。本发明通过移动支架的移动来更换蒸发源，实现连续生产，大大简化了系统的结构，降低了能量消耗，大幅度的提高生产效率和可控性，保证了产品质量。
真空蒸发系统

[实用新型]一种热泵真空浓缩干燥装置-CN201420322746.X有效
发明人：黄华 -专利权人：黄华
申请日： 2014-06-17 - 公布日： 2014-10-08 - 主分类号： B01D1/00 文献下载
摘要：一种热泵真空浓缩干燥装置，包括真空泵、压缩机、节流阀、蒸发室、冷凝室和冷凝水箱，蒸发室内置冷凝器，冷凝器通过压缩机与蒸发器连接；蒸发室上部设有入料口阀门，底部设有出料口阀门；蒸发室外壁设有保温套，保温套与蒸发室外壁之间填充保温材料；冷凝室内置蒸发器，蒸发器通过节流阀与冷凝器连接；冷凝室与真空泵通过真空阀门连接，冷凝室通过蒸发冷凝通道与蒸发室连通，蒸发冷凝通道设有阻热材料，用于阻挡冷凝室和蒸发室的金属壁的热传导，蒸发冷凝通道的上方设有挡水盖和挡水盖支架，用于防止冷凝水滴进蒸发室；冷凝室的底部与冷凝水箱连接，冷凝水箱底部设有冷凝水出口阀门。
一种真空浓缩干燥装置

[发明专利]一种环保空调系统-CN201910267095.6在审
发明人：江冠金;裴庆国;易细 -专利权人：山东霍普环保科技有限公司
申请日： 2019-04-03 - 公布日： 2019-06-11 - 主分类号： F24F5/00 文献下载
摘要：本发明提供了一种环保空调系统，包括真空蒸发系统、真空冷凝系统及凉水循环系统，其特征在于，所述真空蒸发系统包括真空蒸发器和冷水罐，所述真空蒸发器上设有循环水入口，凉水出口及水蒸汽出口，所述凉水出口与冷水罐通过管道连通，所述真空蒸发器的的循环水入口通过管道连接有补水罐且在真空蒸发器与补水罐之间的管道上设有补水阀。
真空蒸发器环保空调系统真空蒸发系统循环水入口凉水出口补水罐冷水罐制热真空冷凝系统水蒸汽出口管道连接管道连通循环利用循环系统补水阀纯净水高效率软化水水空调冷能凉水水资源节约

[实用新型]一种环保空调系统-CN201920447105.X有效
发明人：江冠金;裴庆国;易细 -专利权人：山东霍普环保科技有限公司
申请日： 2019-04-03 - 公布日： 2019-11-29 - 主分类号： F24F5/00 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种环保空调系统，包括真空蒸发系统、真空冷凝系统及凉水循环系统，其特征在于，所述真空蒸发系统包括真空蒸发器和冷水罐，所述真空蒸发器上设有循环水入口，凉水出口及水蒸汽出口，所述凉水出口与冷水罐通过管道连通，所述真空蒸发器的的循环水入口通过管道连接有补水罐且在真空蒸发器与补水罐之间的管道上设有补水阀。
真空蒸发器环保空调系统真空蒸发系统本实用新型循环水入口凉水出口补水罐冷水罐制热真空冷凝系统水蒸汽出口管道连接管道连通循环利用循环系统补水阀纯净水高效率软化水水空调冷能凉水水资源节约

[实用新型]真空镀膜系统中真空室观察窗的转动档板-CN03210900.8无效
发明人：宋航;李志明 -专利权人：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
申请日： 2003-01-08 - 公布日： 2003-12-17 - 主分类号： C23C14/52 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种对真空镀膜系统中真空室观察窗的改进。包括基板10、观察孔11、转轮12、转动轮13、弹簧14、磁铁15和观察孔16，本实用新型解决原有的观察窗在蒸发不透光的材料时，开始能看清真空室内蒸发物的情况，逐渐就模糊，往往没有等到蒸发的膜达到要求的厚度时，就看不见真空室内部情况。而使用本实用新型的转动档板，就能解决频繁更换玻璃的问题，能够在操作设备时，更方便看清真空室内的情况，从而能提高蒸发器件的成品率。本实用新型提供一种结构简单、操作方便、蒸发器件的成品率高、能在真空镀膜时始终能观察到蒸发情况的真空室观察窗转动档板。
真空镀膜系统真空观察窗转动档板

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