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[实用新型]面蒸发源蒸镀装置-CN201822058879.1有效
发明人：张志林;张建华;李俊;蒋雪茵 -专利权人：上海大学
申请日： 2018-12-10 - 公布日： 2020-12-15 - 主分类号： C23C14/04 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种面蒸发源蒸镀装置。它是由可卷绕的柔性金属箔带作为蒸发料薄膜层的承载件，承载件上用波峰涂方法涂有蒸发料薄膜层，构成载有蒸发料膜层的面蒸发源；在此面蒸发源两端有一对加热电极，通过瞬间加热把承载件上蒸发料薄膜层瞬间全部均匀地蒸发到半成品基板上。从而大大提高了蒸发料的利用率。而且最后得到的蒸发薄膜层的材料成分、薄膜厚度、均匀度均由面蒸发源的蒸发料薄膜层来控制。使得此蒸镀装置不再需要蒸发速率和膜厚控制、多蒸发源控制，均匀性控制等复杂的机构，降低了设备成本、缩短了蒸镀节拍，提高了设备的利用率。
蒸发源蒸镀装置

[实用新型]一种电场控制图形化蒸镀装置-CN201921123117.3有效
发明人：张志林;张其胜;蒋雪茵 -专利权人：浙江虹舞科技有限公司
申请日： 2019-07-17 - 公布日： 2020-04-10 - 主分类号： C23C14/04 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种电场控制图形化蒸镀装置，包括：蒸发源、具有图形化电极的基板、电源系统；其中：蒸发源包括蒸发源基板、加热电源、和依次设于蒸发源基板上的加热层和蒸发料层，所述的加热层上得第一电极和第二电极均与所述加热电源相连形成回路；所述的具有图形化电极的基板包括基底、及设于所述基底下表面形成图形化的多个电极组，各组电极组通过电源分配器与所述高压直流电源的一极相连，所述高压直流电源的另一极与所述加热层相连，所述电源分配器用于控制其中一组或多组电极组与所述高压直流电源连通，从而实现选择性蒸镀。本实用新型的蒸镀装置可以实现图形化蒸镀，且不需要掩膜板，不需要精确对准，材料利用率高。
一种电场控制图形化蒸镀装置

[发明专利]氧化物薄膜的场效应晶体管器件及其制备方法-CN201610754922.0有效
发明人：李俊;张建华;蒋雪茵;张志林 -专利权人：上海大学
申请日： 2016-08-30 - 公布日： 2019-10-11 - 主分类号： H01L29/41 文献下载
摘要：本发明公开了一种具有成分缓变有源层结构的氧化物薄膜的场效应晶体管器件及其制备方法，属于薄膜晶体管器件技术领域。缓变结构氧化物有源层所采用结构为：ZnSnO/ZnSnO:X%HfO2/ZnSnO:Y%HfO2其中（X
具有成分有源结构氧化物薄膜场效应晶体管器件及其制备方法

[发明专利]电场控制图形化蒸镀装置及蒸镀方法-CN201910647232.9在审
发明人：张志林;张其胜;蒋雪茵 -专利权人：浙江虹舞科技有限公司
申请日： 2019-07-17 - 公布日： 2019-09-17 - 主分类号： C23C14/04 文献下载
摘要：本发明公开了一种电场控制图形化蒸镀装置及蒸镀方法，包括：蒸发源、具有图形化电极的基板、电源系统；其中：蒸发源包括蒸发源基板、加热电源、和依次设于蒸发源基板上的加热层和蒸发料层，所述的加热层上得第一电极和第二电极均与所述加热电源相连形成回路；所述的具有图形化电极的基板包括基底、及设于所述基底下表面形成图形化的多个电极组，各组电极组通过电源分配器与所述高压直流电源的一极相连，所述高压直流电源的另一极与所述加热层相连，所述电源分配器用于控制其中一组或多组电极组与所述高压直流电源连通，从而实现选择性蒸镀。本发明的蒸镀装置可以实现图形化蒸镀，且不需要掩膜板，不需要精确对准，材料利用率高。
图形化蒸发源基板蒸镀高压直流电源蒸镀装置加热层电源分配器图形化电极电场控制加热电源电极组材料利用率基底下表面第二电极第一电极电源系统多组电极掩膜板基底料层连通对准蒸发

[发明专利]面蒸发源蒸镀装置-CN201811500640.3在审
发明人：张志林;张建华;李俊;蒋雪茵 -专利权人：上海大学
申请日： 2018-12-10 - 公布日： 2019-03-12 - 主分类号： C23C14/04 文献下载
摘要：本发明涉及一种面蒸发源蒸镀装置。它是由可卷绕的柔性金属箔带作为蒸发料薄膜层的承载件，所述承载件上用波峰涂方法涂有蒸发料薄膜层，构成载有蒸发料膜层的面蒸发源；在此面蒸发源两端有一对加热电极，通过瞬间加热把承载件上蒸发料薄膜层瞬间全部均匀地蒸发到半成品基板上。从而大大提高了蒸发料的利用率。而且最后得到的蒸发薄膜层的材料成分、薄膜厚度、均匀度均由面蒸发源的蒸发料薄膜层来控制。使得此蒸镀装置不再需要蒸发速率和膜厚控制、多蒸发源控制，均匀性控制等复杂的机构，降低了设备成本、缩短了蒸镀节拍，提高了设备的利用率。所提供的波峰涂装置是溶有一定蒸发料浓度的溶液在波峰发生器中产生能产生一高于溶液面的稳定的溶液波峰，此波峰与波峰垂直方向移动的蒸发料薄膜承载件基板的表面接触后在承载件上留下部分的溶液薄层经烘烤干燥后形成一均匀的蒸发料薄膜层。
蒸发料薄膜蒸发源承载件波峰蒸镀装置半成品基板波峰发生器均匀性控制柔性金属箔加热电极膜厚控制设备成本瞬间加热蒸发薄膜均匀度可卷绕速率和烘烤薄层基板料膜蒸镀薄膜节拍移动

[发明专利]沉积薄膜膜厚分布测量系统-CN201510025293.3有效
发明人：张建华;张志林;蒋雪茵 -专利权人：上海大学
申请日： 2015-01-16 - 公布日： 2018-03-06 - 主分类号： G01B21/08 文献下载
摘要：本发明涉及一种沉积薄膜膜厚分布测量系统，包括第一膜厚测试单元，真空腔体，膜厚测量仪和计算机；将若干第一膜厚测试单元组合成一维或多维阵列，固定在一个平面或空间的支架上，将若干第一膜厚测试单元并联连接成一个第一网络，置于真空腔体中，所述第一网络通过导线连接膜厚测量仪，所述膜厚测量仪连接计算机。本发明可以测量到厚度，平均速度，瞬间速度3种数据。本发明可以测量整个沉积过程中各个时间段沉积速度和厚度的分布图，对分析整个沉积过程极大的好处。
沉积薄膜分布测量系统

[发明专利]多测量头的水氧透气率测量系统-CN201510025295.2有效
发明人：张建华;张志林;蒋雪茵 -专利权人：上海大学
申请日： 2015-01-16 - 公布日： 2017-08-25 - 主分类号： G01N15/08 文献下载
摘要：本发明涉及一种多测量头的水氧透气率测量系统，包括一个公共腔，所述公共腔是由上基板，下基板和边桶构成的一个密闭空间，工作时充以高纯惰性气体；在公共腔的上基板上固定有多个与上基板中心等距的测量探头腔，在公共腔体的下基板的中心固定有一个共用的真空蒸发腔；在每一个测量探头腔下有一个与之对接的移动腔，所述移动腔内装有一个蒸镀有活泼金属膜的石英晶振片，所述石英晶振片的上下电极经电线穿过移动腔的移动腔体和公共腔的边桶连接到振荡器形成振荡信号，通过各自的电子开关再转接到膜厚测量仪，所述膜厚测量仪连接计算机。在本发明中提供了多测量头可以同时测量多个样品大大提高了仪器的利用率。
测量透气系统

[发明专利]真空蒸发系统-CN201110424150.1有效
发明人：张志林;张建华;蒋雪茵;刘立宁;李俊 -专利权人：上海大学
申请日： 2011-12-16 - 公布日： 2017-06-30 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本发明涉及一种真空蒸发系统，包括真空腔室、蒸发源、电磁感应圈以及托架；托架设置在真空腔室的底部，电磁感应圈设置在托架上方，与托架相对，蒸发源为多个，真空蒸发系统还包括移动支架，多个蒸发源排列放置在移动支架上，移动支架将蒸发源送至托架上方，托架将蒸发源托送至电磁感应圈中通过电磁感应加热进行蒸发，并在蒸发结束后返回初始位置，将蒸发源放回移动支架上的初始位置。移动支架在蒸发源放回到初始位置时，进行移动将下一蒸发源送至托架上方，进行下一次蒸发。本发明通过移动支架的移动来更换蒸发源，实现连续生产，大大简化了系统的结构，降低了能量消耗，大幅度的提高生产效率和可控性，保证了产品质量。
真空蒸发系统

[发明专利]具有含氮的氧化物薄膜的场效应晶体管器件及其制备方法-CN201610761105.8在审
发明人：李俊;张建华;蒋雪茵;张志林 -专利权人：上海大学
申请日： 2016-08-30 - 公布日： 2016-11-09 - 主分类号： H01L29/786 文献下载
摘要：本发明公开了一种具有含氮的氧化物薄膜的场效应晶体管器件及其制备方法，属于薄膜场效应晶体管器件技术领域。含氮的氧化物的主要通过反应溅射、共溅射来实现，N元素相对总的摩尔百分比含量控制在0.1到3%之间。本器件依次由基板、栅极、绝缘层、含氮氧化物有源层、源极、漏极、钝化层构成。本发明能同时实现提升氧化物的电学性能和光照负偏压稳定性。另外，含氮氧化物的制备方法与现有的氧化物TFT制备工艺具有良好的兼容性，这样有效地节约了含氮氧化物TFT的制造成本。
具有氧化物薄膜场效应晶体管器件及其制备方法

[发明专利]具有正电荷阻挡层的金属氧化物薄膜晶管器件及其制备方法-CN201610225855.3在审
发明人：李俊;黄传鑫;蒋雪茵;张志林 -专利权人：上海大学
申请日： 2016-04-13 - 公布日： 2016-07-06 - 主分类号： H01L21/283 文献下载
摘要：本发明公开了一种具有正电荷阻挡层的金属氧化物薄膜晶管器件及其制备方法，依次由基板、栅极、绝缘层、金属氧化物半导体有源层、源极、漏极、钝化层构成底栅结构，并在金属氧化物半导体有源层中间沉积一层厚度为0.5～5nm的正电荷阻挡层，形成复合有源功能层。在本发明薄膜晶管器件的各结构中，采用正电荷阻挡层能有效地抑制在光照偏压下空穴向绝缘层/有源层界面处移动，提升薄膜晶体管器件的稳定性，同时使得金属氧化物薄膜晶体管的迁移率不受影响。这种结构容易实现且制备方法简单，同时还能有效地避免氧化物薄膜在刻蚀过程中造成的损伤。适用于大面积制备，可在基于氧化物薄膜晶体管的平板显示器件中获得广泛应用。
具有正电荷阻挡金属氧化物薄膜器件及其制备方法

[发明专利]具有复合有源层的双极型薄膜晶体管器件及其制备方法-CN201610225871.2在审
发明人：李俊;傅逸周;蒋雪茵;张志林 -专利权人：上海大学
申请日： 2016-04-13 - 公布日： 2016-07-06 - 主分类号： H01L51/05 文献下载
摘要：本发明公开了一种具有复合有源层的双极型薄膜晶体管器件及其制备方法，依次由基板、栅极、绝缘层、无机半导体有源层、源极、漏极和有机半导体有源层构成底栅结构，源极和漏极形成同层源漏电极薄膜层，无机半导体有源层和有机半导体有源层位于源漏电极薄膜层两侧，从而形成双极型的薄膜晶体管器件的无机‑有机复合结构有源层。本发明充分结合无机N型半导体材料丰富、迁移率较高且制备方法相对简单的优势和有机P型半导体材料种类比较多、迁移率较高且稳定性较好的优势，结合底栅顶接触结构的特点，很好地避免了有机薄膜晶体管刻蚀过程造成的损伤，合理地运用在双极型薄膜晶体管器件中，实现了N型和P型输出。
具有复合有源双极型薄膜晶体管器件及其制备方法

[实用新型]车辆自照明系统-CN201520840386.7有效
发明人：张志林;程星;蒋雪茵 -专利权人：彩融电光源技术（上海）有限公司
申请日： 2015-10-27 - 公布日： 2016-03-30 - 主分类号： F21S8/10 文献下载
摘要：车辆自照明系统，包括反光罩，置于反光罩内的自照明光源，在自照明光源发射光束前进的方向上置有一光线分布调整装置。所述光线分布调整装置包括多维调整架和置于多维调整架上的接收光的一面向着自照明光源发射光束前进方向的光线分布调整件。本实用新型利用光线分布调整装置使自照明系统既能够显示车辆的外形轮廓和标志，又可以照明前面的路面；既不会有强光刺激对方车辆的驾驶员视线，又不会干扰自家车辆驾驶员的视线。
车辆照明系统

[发明专利]车辆自照明系统-CN201510707697.0在审
发明人：张志林;程星;蒋雪茵 -专利权人：彩融电光源技术（上海）有限公司
申请日： 2015-10-27 - 公布日： 2015-12-16 - 主分类号： F21S8/10 文献下载
摘要：车辆自照明系统，包括反光罩，置于反光罩内的自照明光源，在自照明光源发射光束前进的方向上置有一光线分布调整装置。所述光线分布调整装置包括多维调整架和置于多维调整架上的接收光的一面向着自照明光源发射光束前进方向的光线分布调整件。本发明利用光线分布调整装置使自照明系统既能够显示车辆的外形轮廓和标志，又可以照明前面的路面；既不会有强光刺激对方车辆的驾驶员视线，又不会干扰自家车辆驾驶员的视线。
车辆照明系统

[发明专利]电火花式真空检漏器产生等离子体及清洗装置-CN201510022194.X在审
发明人：张建华;张志林;蒋雪茵 -专利权人：上海大学
申请日： 2015-01-16 - 公布日： 2015-04-29 - 主分类号： H05H1/46 文献下载
摘要：本发明涉及一种电火花式真空检漏器产生等离子体及清洗装置，由腔体和腔体盖形成一个真空腔体，在腔体和腔体盖之间设置密封胶垫，在腔体外表面缠绕金属丝网或金属薄片的感应电极，在感应电极外面包上一层透明的绝缘膜，将感应电极用导线连接到电火花式真空检漏器的放电头上；在真空腔体有一个抽气口，抽气口与三通阀门的一个接口连接，三通阀门的另一个接口与真空机械泵连接，三通阀门的第三个接口连接到大气、氧气或其他气体。本发明的电火花式真空检漏器产生等离子体及清洗装置用火花式真空检漏器来替代一般使用的高频电源和匹配器降低成本达数十倍，简化了结构，缩小了体积，降低了能耗，操作简便可靠。
电火花真空检漏产生等离子体清洗装置

[发明专利]可持续生产可蒸发材料的管式提纯装置-CN201410162063.7有效
发明人：张建华;张志林;王子兴;蒋雪茵 -专利权人：上海大学
申请日： 2014-04-22 - 公布日： 2014-07-30 - 主分类号： B01D7/00 文献下载
摘要：本发明涉及一种可持续生产可蒸发材料的管式提纯装置，由一个带有进料管、多个出料管、进气管和抽气管的外管，一个比外管直径稍小可以套在外管里面密配合的并在与外管的各出口处都有相应的开孔的内管，与外管相连的真空封头，在真空封头中心有一个与它有真空密封的可以推拉和旋转的推拉杆，推拉杆上还连接有匀料盘带缺口的刮料盘、3个刮料盘和一个阻气盘，在外管的进料口上连接有真空阀门进料装置真空接头与原料瓶相连，在外管下面有四个出料口上都连接有真空阀门、真空接头，与相应的不挥发料瓶、精料瓶、中温料瓶、低温料瓶、相连接，在外管的外面有三个独立的可控温的加热炉丝以形成三个温区。
可持续生产蒸发材料提纯装置

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