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[发明专利]一种半导体薄膜材料的真空蒸发设备及OLED导电层的制备方法-CN201210086981.7无效
发明人：杨耀武;苏晓燕;苏怡 -专利权人：常熟卓辉光电科技有限公司
申请日： 2012-03-29 - 公布日： 2013-10-23 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本发明公开了一种半导体薄膜材料的真空蒸发设备，包括真空室和蒸发器，蒸发器下方设置有主动轴和从动轴，主动轴带动基材通过蒸发器下的蒸发区，并对通过蒸发区基材进行卷取，通过蒸发区的基材只需要卷在主动轴上便可，不需要反复的打开真空室来拿出基材，提高镀膜的效率。本发明还公开了制备OLED导电层的方法，其包括以下步骤：(1)将OLED基材卷在从动轴上，基材穿过托辊与冷却辊之间，然后连接在主动轴上；(2)对真空室进行抽真空，保持真空度30-50Pa；(3)开启蒸发器；(4)启动电机带动主动轴，保持基材匀速行走；(5)主动轴在带动OLED基材行走的同时，对OLED基材进行卷取；(6)蒸发完毕时，关闭蒸发器及主动轴电机，开启真空室，取出基材。
一种半导体薄膜材料真空蒸发设备 oled 导电制备方法

[实用新型]一种半导体薄膜材料的真空蒸发设备-CN201220124041.8有效
发明人：杨耀武;苏晓燕;苏怡 -专利权人：常熟卓辉光电科技有限公司
申请日： 2012-03-29 - 公布日： 2012-11-21 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种半导体薄膜材料的真空蒸发设备，包括真空室和蒸发器，蒸发器下方设置有主动轴和从动轴，主动轴带动基材通过蒸发器下的蒸发区，并对通过蒸发区基材进行卷取，通过蒸发区的基材只需要卷在主动轴上便可，不需要反复的打开真空室来拿出基材，提高镀膜的效率。本实用新型还公开了制备OLED导电层的方法，其包括以下步骤：(1)将OLED基材卷在从动轴上，基材穿过托辊与冷却辊之间，然后连接在主动轴上；(2)对真空室进行抽真空，保持真空度30-50Pa；(3)开启蒸发器；(4)启动电机带动主动轴，保持基材匀速行走；(5)主动轴在带动OLED基材行走的同时，对OLED基材进行卷取；(6)蒸发完毕时，关闭蒸发器及主动轴电机，开启真空室，取出基材。
一种半导体薄膜材料真空蒸发设备

[实用新型]一种真空涂层设备用弧电源的切换装置-CN202020632617.6有效
发明人：卢国英;石昌仑;兰睿 -专利权人：常州夸克涂层科技有限公司
申请日： 2020-04-23 - 公布日： 2021-02-09 - 主分类号： C23C14/32 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种真空涂层设备用弧电源的切换装置，真空涂层设备中设有真空室，三行蒸发源固定设于真空室内，每行蒸发源组分别包含4台蒸发源,共形成四列蒸发源组,弧电源的正极与真空室电性连接，两列蒸发源组中的每一行蒸发源组分别电性连接有一台弧电源的负极,剩余两列蒸发源组中的每台蒸发源分别电性连接有与之一一对应的弧电源的负极，形成并联支路，弧电源、蒸发源与真空室形成回路，每个弧电源与其所对应的蒸发源的并联支路上均设有接触器，若干接触器的信号输入端分别电性连接有继电器本实用新型具有节约成本、减少真空涂层设备体积和重量的优点。
一种真空涂层备用电源切换装置

[发明专利]一种真空多效强制循环蒸发装置及其浓缩物料的方法-CN201010297581.1无效
发明人：孙家隆;吴学文 -专利权人：温州市天龙轻工设备有限公司
申请日： 2010-09-30 - 公布日： 2011-04-13 - 主分类号： B01D1/26 文献下载
摘要：本发明公开一种真空多效强制循环蒸发装置，属于蒸发装置领域。包括至少两个强制循环蒸发器，冷凝排水装置以及抽真空装置，所述抽真空装置与所述强制循环蒸发器、冷凝排水装置通过管路相连通；所述每一效的强制循环蒸发器的进料管道上设有进料阀，用于控制料液的进入。本发明通过抽真空装置实现蒸发器的真空进料过程，同时在每一效蒸发器都设置进料阀、放空阀，通过关闭真空泵，打开两效蒸发器的进料阀同时打开后一效蒸发器的放空阀的方式，可以将后一效的物料吸入一效后继续加热蒸发后，循环蒸发后物料浓度达到要求后，通过强制循环泵将物料排出。本发明适用于各种蒸发器，也适用于各种有机溶媒的浓缩设备。
一种真空强制循环蒸发装置及其浓缩物料方法

[实用新型]一种真空多效强制循环蒸发装置-CN201020549524.3无效
发明人：孙家隆;吴学文 -专利权人：温州市天龙轻工设备有限公司
申请日： 2010-09-30 - 公布日： 2011-05-11 - 主分类号： B01D1/26 文献下载
摘要：本实用新型公开一种真空多效强制循环蒸发装置，属于蒸发装置领域。包括至少两个强制循环蒸发器，冷凝排水装置以及抽真空装置，所述抽真空装置与所述强制循环蒸发器、冷凝排水装置通过管路相连通；所述每一效的强制循环蒸发器的进料管道上设有进料阀，用于控制料液的进入。本实用新型通过抽真空装置实现蒸发器的真空进料过程，同时在每一效蒸发器都设置进料阀、放空阀，通过关闭真空泵，打开两效蒸发器的进料阀同时打开后一效蒸发器的放空阀的方式，可以将后一效的物料吸入一效后继续加热蒸发后，循环蒸发后物料浓度达到要求后，通过强制循环泵将物料排出。本实用新型适用于各种蒸发器，也适用于各种有机溶媒的浓缩设备。
一种真空强制循环蒸发装置

[发明专利]一种超薄基膜的连续式卷绕真空镀膜方法-CN202110345072.X有效
发明人：李成林;杜雪峰;郝明 -专利权人：辽宁分子流科技有限公司
申请日： 2021-03-31 - 公布日： 2023-07-25 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本发明公开一种超薄基膜的连续式卷绕真空镀膜方法，用于新能源动力电池领域中在柔性基膜上制备多层膜层，主要包括：（1）将基膜放置在真空镀膜机的放卷室中的放卷辊上，关闭真空室，对真空室进行抽真空；（2）在真空环境中采用真空穿膜机构使基膜在卷绕系统上真空穿膜；（3）当真空镀膜机的真空蒸发镀膜室和磁控溅射镀膜室中的真空度达到工艺要求时，启动卷绕系统、蒸发装置和磁控靶；磁控溅射镀膜室竖直立式排布，真空蒸发镀膜室呈层叠排布于磁控溅射镀膜室的两侧；基膜走膜依次经过一侧的真空蒸发镀膜室、磁控溅射镀膜室和另一侧的真空蒸发镀膜室，分别进行蒸发镀膜和磁控溅射镀膜，实现在基膜的两面分别镀制多层膜层。
一种超薄连续卷绕真空镀膜方法

[发明专利]一种真空蒸发镀膜设备的自动送丝填料工艺-CN202211305934.7在审
发明人：朱刚劲;朱刚毅 -专利权人：广东腾胜科技创新有限公司
申请日： 2022-10-24 - 公布日： 2023-01-31 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本发明公开一种真空蒸发镀膜设备的自动送丝填料工艺，包括真空室，放薄膜装置、收薄膜装置、镀膜辊、真空抽气装置、蒸发坩埚和送丝装置；将薄膜装置上原膜绕过镀膜辊，再由收薄膜装置收紧；真空抽气装置对抽真空，预热坩埚使膜料预溶；调节预热坩埚的中频感应蒸发源频率和功率使膜料溶化蒸发，对原膜进行蒸发镀膜；启动送丝装置，使膜料丝不断地加入到坩埚中进行加热蒸发，保持长时间蒸发；镀膜完成时按停机顺序进行关停机操作；通过送丝装置对蒸发坩埚进行投送膜料膜丝，在提高镀膜的厚度时，调节蒸发坩埚的蒸发速度，进而提高镀膜厚度；在镀较长原膜时，可以持续不断对蒸发坩埚添加蒸发材料，进而减少镀膜过程中的停机次数、提高蒸发镀膜的生产效率。
一种真空蒸发镀膜设备自动填料工艺

[发明专利]一种燃油蒸发系统的噪声测试方法和噪声测试台架-CN201910785657.6在审
发明人：熊飞;靳春梅;刘飞;饶建渊;韩亮;邱优峰;路怀华;赵建轩 -专利权人：上海汽车集团股份有限公司
申请日： 2019-08-23 - 公布日： 2021-02-26 - 主分类号： G01M17/007 文献下载
摘要：本发明公开了一种燃油蒸发系统的噪声测试方法和基于该噪声测试方法的噪声测试台架，该噪声测试方法包括以下步骤：在燃油蒸发系统的蒸发管路靠近发动机的位置连接上真空源；开启真空源，使蒸发管路靠近发动机的位置的真空度达到发动机怠速时进气歧管的真空度；控制燃油蒸发系统的电磁阀周期性地启闭；检测燃油蒸发系统的噪声并分析噪声特性。该方法通过真空源向蒸发管路靠近发动机的位置提供真空度，使燃油蒸发系统在发动机处于非工作状态时也能够正常工作，从而可以在发动机不工作时测试燃油蒸发系统的噪声，从而可以规避发动机的噪声干扰，由此可以准确地测出燃油蒸发系统的噪声
一种燃油蒸发系统噪声测试方法台架

[实用新型]一种珠光膜镀铝设备-CN202223007271.9有效
发明人：计宪丰;计者 -专利权人：浙江雅洲新材料有限公司
申请日： 2022-11-11 - 公布日： 2023-08-04 - 主分类号： C23C14/26 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种珠光膜镀铝设备，包括真空蒸镀机本体和蒸发罐，还包括存舟机构，所述存舟机构包括安装板、U形框、胶盒、蒸发舟、耳座、转孔、转杆、封板和磁块，所述真空蒸镀机本体的箱体一侧安装有用于珠光膜镀铝时进行铝料蒸发供料的蒸发罐，借助存舟机构在真空蒸镀机本体外侧蒸发罐表面的设置，使得真空蒸镀机本体的蒸发罐表面可以就近存放用于更换的蒸发舟，从而避免技术人员在真空蒸镀机本体维护停机时再去仓库调用新的蒸发舟损耗过多维护时间，避免真空蒸镀机本体的蒸发罐更换蒸发舟时损耗过多时间影响珠光膜镀铝的订单生产时间
一种珠光镀铝设备

[发明专利]一种真空蒸发镀膜设备-CN201810646684.0在审
发明人：苏艳波 -专利权人：深圳市永盛隆科技有限公司
申请日： 2018-06-21 - 公布日： 2019-12-31 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本发明涉及真空镀膜技术领域，尤其涉及一种真空蒸发镀膜设备。所述真空蒸发镀膜设备包括蒸发腔室，用于支撑所述蒸发腔室的腔室支架，以及用于驱动蒸发源进出所述蒸发腔室的驱动设备。本发明的真空蒸发镀膜设备，设置了腔室支架用于支撑蒸发腔室，还设置了用于驱动蒸发源进出所述蒸发腔室的驱动设备，使蒸发源可以从腔室本体底部进出蒸发腔室，维护或添料时，所述驱动设备用于驱动蒸发源进出蒸发腔室，便于维护和换料；驱动设备的增设，有效减少了人力支出，大大降低了人工取放和操作蒸发源的难度，尤其是大体积大质量蒸发源的难度。
蒸发腔室蒸发源驱动设备真空蒸发镀膜腔室驱动支架真空镀膜技术腔室本体有效减少支撑换料取放增设维护支出

[实用新型]一种真空蒸发镀膜设备-CN201820962066.2有效
发明人：苏艳波 -专利权人：东泰高科装备科技（北京）有限公司
申请日： 2018-06-21 - 公布日： 2019-01-29 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本实用新型涉及真空镀膜技术领域，尤其涉及一种真空蒸发镀膜设备。所述真空蒸发镀膜设备包括蒸发腔室，用于支撑所述蒸发腔室的腔室支架，以及用于驱动蒸发源进出所述蒸发腔室的驱动设备。本实用新型的真空蒸发镀膜设备，设置了腔室支架用于支撑蒸发腔室，还设置了用于驱动蒸发源进出所述蒸发腔室的驱动设备，使蒸发源可以从腔室本体底部进出蒸发腔室，维护或添料时，所述驱动设备用于驱动蒸发源进出蒸发腔室，便于维护和换料；驱动设备的增设，有效减少了人力支出，大大降低了人工取放和操作蒸发源的难度，尤其是大体积大质量蒸发源的难度。
蒸发腔室蒸发源真空蒸发镀膜驱动设备本实用新型腔室驱动支架真空镀膜技术腔室本体有效减少支撑换料取放增设维护支出

[实用新型]膜蒸馏换热装置-CN202122884443.X有效
发明人：刘学进;马庆芬;卢辉 -专利权人：海南大学
申请日： 2021-11-19 - 公布日： 2022-04-08 - 主分类号： C02F1/08 文献下载
摘要：所述膜蒸馏换热装置包括：蒸发膜组件、真空泵、换热器和淡水存储箱；蒸发膜组件包括：料液侧、疏水透气膜和渗透真空侧；疏水透气膜阻隔在料液侧与渗透真空侧之间；热海水流经料液侧，渗透真空侧与真空泵连通，换热器设置在渗透真空侧与真空泵之间，淡水存储箱设置在真空泵与换热器之间。以蒸发膜组件对海水进行蒸发，相较于传统蒸发器，同样的蒸汽发生率，蒸发器体积缩减率超过90％，进而使得真空密封面积有效缩减、降低密封的难度，并且大大降低了成本以及运输的难度。
蒸馏装置

[实用新型]一种提高蒸发量的蒸发机构-CN202120031794.3有效
发明人：陈元宗;黄宗海;朱文超 -专利权人：金华凯诚镀膜科技有限公司
申请日： 2021-01-07 - 公布日： 2021-10-15 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种提高蒸发量的蒸发机构，旨在解决在真空镀膜机高速镀膜时，蒸发室的蒸发量不够或者浪费严重，导致真空镀膜机的镀膜效率降低的问题。其技术方案要点是：一种提高蒸发量的蒸发机构，包括蒸发底板以及安装在蒸发底板上的蒸发槽，蒸发槽的两端均设有蒸发挡板，两个蒸发挡板的顶部均设有呈倾斜状态的第一斜角，且两个蒸发挡板之间开设有斜口。本实用新型的一种提高蒸发量的蒸发机构，在同等镀膜速度下能够提高了蒸发槽的蒸发量，且可适当地降低蒸发功率而节省能耗同时提高了原料的利用率，使得在真空状态下产生的真空垃圾减少，防止原料附着在蒸发槽的内壁上，进而方便了镀膜机的清理，从而保证真空镀膜机的工作效率。
一种提高蒸发量蒸发机构

[实用新型]真空浓缩罐-CN201720455075.8有效
发明人：吴成民 -专利权人：山东宏大食品股份有限公司
申请日： 2017-04-27 - 公布日： 2017-12-08 - 主分类号： B01D1/26 文献下载
摘要：本实用新型属于物料浓缩设备领域，具体涉及一种真空浓缩罐，包括一效加热器、一效蒸发罐、二效加热器、二效蒸发罐、汽水分离器、冷凝器、受水器和抽真空装置，其中，一效加热器、一效蒸发罐、二效加热器、二效蒸发罐、汽水分离器、受水器和抽真空装置均设置在架体上，冷凝器设置在受水器的上方，一效蒸发罐、二效蒸发罐和冷凝器均通过真空管连接抽真空装置，各真空管上均设有真空控制阀。本实用新型所述的真空浓缩罐，占用区域空间较小，并且节能回收效果较好。
真空浓缩

[实用新型]一种外循环电极加热真空蒸发器-CN201822268722.1有效
发明人：蓝日卫;钮德明 -专利权人：广西理工职业技术学院
申请日： 2018-12-29 - 公布日： 2019-12-13 - 主分类号： B01D1/00 文献下载
摘要：一种外循环电极加热真空蒸发器由电极加热器、真空蒸发罐、水喷射真空泵、循环泵、进料泵组成，其特征是：废酸输送管与电极加热器的废酸进口管连接；电极加热器的热废酸出口管与进料泵的进口管连接；进料泵的出口管与真空蒸发罐的进料管连接；真空蒸发罐的蒸汽出口管与水喷射真空泵的进气管连接，将水蒸汽冷凝及抽真空；真空蒸发罐的循环出口管与循环泵进口管连接；循环泵的出口管与电极加热器的废酸进口管连接；在真空蒸发罐下部设置浓废酸排出管，与浓废酸输送管连接；在真空蒸发罐底部设置排渣出口管，与渣液输送管连接。
真空蒸发罐电极加热器管连接进料泵循环泵水喷射真空泵废酸进口废酸输送出口管进口管水蒸汽冷凝真空蒸发器蒸汽出口管安装方便电极加热废酸出口加热效率排渣出口循环出口抽真空进料管进气管排出管输送管外循环废酸渣液清洗