专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [实用新型]一种背面微光显微镜用芯片固定装置-CN202021334179.1有效
  • 闪雷章 - 江苏博奥光学仪器有限公司
  • 2020-07-08 - 2021-05-04 - G01R31/265
  • 本实用新型公开了一种背面微光显微镜用芯片固定装置,包括安装底座、调节组件、纵向固定装置和芯片本体,所述安装底座的顶部设置有调节组件,所述调节组件的表面固定安装有纵向固定装置,所述纵向固定装置的顶部设置有芯片本体,所述调节组件包括滑杆、调节块、锁紧旋钮、夹板、连接件、转轴、转块和活动杆,所述安装底座的顶部固定安装有滑杆,所述滑杆的表面滑动连接有调节块。本实用新型通过设置的调节组件使得该装置能够根据不同芯片的尺寸进行调节,从而扩大了其使用范围,且其结构简单,操作方便,通过设置的纵向固定装置使得该装置在使用时不仅能够根据不同芯片的厚度进行调节,且还能有效保护芯片不会受损
  • 一种背面微光显微镜芯片固定装置
  • [实用新型]一种可将变压器固定背面的显示器-CN201120050841.5无效
  • 金福姬 - 天津三星电子有限公司
  • 2011-03-01 - 2011-10-26 - G09F9/00
  • 本实用新型公开了一种可将变压器固定背面的显示器,包括有显示器机身(300)、底托支架(400)和底托盘(500),所述显示器机身(300)和底托盘(500)通过所述底托支架(400)相连接;所述显示器机身(300)背面设置有变压器(100),所述变压器(100)上设置开关键(104)。本实用新型将变压器固定设置在显示器的背面,有效解决了变压器被随地乱放的问题,避免平时被外力进行不必要的挪动和碰撞,有利于延长变压器的使用寿命,同时提高显示器整体美观效果,节约了用户有限的计算机操作空间,
  • 一种变压器固定背面显示器
  • [发明专利]晶圆背面减薄方法及晶圆背面减薄系统-CN202310631375.7在审
  • 郁新举 - 上海华虹宏力半导体制造有限公司
  • 2023-05-31 - 2023-08-01 - H01L21/304
  • 本发明提供一种晶圆背面减薄方法及晶圆背面减薄系统,晶圆背面减薄方法包括:提供一晶圆,所述晶圆包括相对设置的正面和背面;执行第一减薄工艺,以减薄所述晶圆的整个背面;执行第二减薄工艺,以在所述晶圆的背面形成减薄的中心区域和未减薄的边缘区域在后续光刻胶涂覆工艺中,减薄的所述中心区域和未减薄的所述边缘区域之间由于原来的垂直台阶改为斜坡,光刻胶在涂敷旋转过程中,晶圆边缘积累的光刻胶较原来的垂直台阶大大减少,可以很好的改善晶圆背面边缘区域光刻胶涂敷不均匀的问题
  • 背面方法系统
  • [发明专利]能实现背面精细化光刻的IGBT背面制作方法-CN201510600038.7有效
  • 程炜涛;许剑;卢烁今;叶甜春 - 江苏中科君芯科技有限公司
  • 2015-09-18 - 2018-01-30 - H01L21/68
  • 本发明涉及一种能实现背面精细化光刻的IGBT背面制作方法,其包括如下步骤a、在晶圆的晶圆正面得到所需的正面元胞结构;b、对晶圆的晶圆背面进行减薄;c、进行初次背面离子注入,并涂覆光刻胶层;d、提供光刻机;e、将掩膜版与基准标记进行对准,且利用穿透信号发射装置扫描晶圆上的金属层套刻对位标记;f、对晶圆的位置进行校正,以使得晶圆与掩膜版的精准对位;g、对光刻胶层进行曝光显影,并在曝光显影后,对晶圆背面进行所需的二次背面离子注入;h、退火后激活载流子;i、设置背面金属层。本发明能有效实现光刻对位,能对套刻精度进行有效控制,满足IGBT设计的需求,且不受背面图形特征的影响,真正实现背面图形精细化的目标。
  • 实现背面精细光刻igbt制作方法

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