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- [发明专利]接合体的制造方法-CN201680015200.1有效
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雷蒙德·迪茨;凯西·肖·特朗勃;马切伊·帕特尔卡;吉井明人;坂井德幸;山口博
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纳美仕有限公司
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2016-04-06
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2020-04-14
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H01L21/52
- 本发明提供一种接合体的制造方法,其通过较低温度的加热来接合第一被粘物和第二被粘物,在接合后能够得到具有优异耐热性的接合体。一种接合体的制造方法,其中,玻璃糊剂包含(A)结晶化玻璃料和(B)溶剂,(A)结晶化玻璃料具有玻璃化转变温度、结晶化温度和再熔融温度,再熔融温度为超过结晶化温度的温度,结晶化温度为超过玻璃化转变温度的温度,所述制造方法包括下述工序:对第一被粘物和第二被粘物涂布玻璃糊剂的工序;夹着玻璃糊剂来接合第一被粘物和第二被粘物的工序;将夹着玻璃糊剂进行了接合的第一被粘物和第二被粘物加热至(A)结晶化玻璃料的结晶化温度以上且低于再熔融温度的工序;以及,将夹着玻璃糊剂进行了接合的第一被粘物和第二被粘物冷却至结晶化玻璃料的玻璃化转变温度以下从而得到接合体的工序。
- 接合制造方法
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