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[发明专利]滤波器的制备方法、滤波器-CN202110341609.5有效
发明人：吴明;唐兆云;王家友;赖志国;唐滨;王矿伟;刘海瑞;杨清华 -专利权人：苏州汉天下电子有限公司
申请日： 2021-03-30 - 公布日： 2022-04-22 - 主分类号： H03H3/02 文献下载
摘要：滤波器的制备方法包括：提供衬底，所述衬底包括中心区和环绕所述中心区的边缘区；形成位于所述衬底中心区的至少两个薄膜谐振器单元；形成覆盖所述薄膜谐振器单元的空腔牺牲层；在所述空腔牺牲层远离所述衬底的表面生长形成封装层，所述封装层覆盖所述空腔牺牲层和所述衬底的边缘区；释放所述空腔牺牲层以形成空腔。
滤波器制备方法

[发明专利]一种空腔模壳构件-CN200710141540.1无效
发明人：邱则有 -专利权人：邱则有
申请日： 2003-10-21 - 公布日： 2007-12-26 - 主分类号： E04C1/00 文献下载
摘要：一种空腔模壳构件，包括上板(1)、周围侧壁(2)、下底板(3)，上板(1)、周围侧壁(2)、下底板(3)围合构成空腔模壳构件，其特征在于上板(1)、周围侧壁(2)或下底板(3)自身叠合形成叠合层(4)，彼此通过叠合层(4)形成整体的空腔模壳构件，叠合层(4)包括至少一层预制层(5)，空腔内加劲肋(16)或/和加劲杆(17)立置于叠合层(4)上。这样，其制作容易，生产效率高，相应成本低，同时，空腔模壳构件还具有结构简单、抗变形、抗振动性能优良、施工方便、施工速度快等特点。
一种空腔构件

[实用新型]一种过滤棒及煲水壶-CN202220472780.X有效
发明人：谢琴娥 -专利权人：谢琴娥
申请日： 2022-03-04 - 公布日： 2022-12-16 - 主分类号： B01D24/10 文献下载
摘要：本实用新型公开一种过滤棒及煲水壶，其中，过滤棒包括壳体、活性炭层和过滤层；所述壳体内设有空腔，所述壳体上设有输入孔和输出孔，所述输入孔连通到所述空腔内，所述输出孔连通到所述空腔内；所述活性炭层设置于所述空腔内；所述过滤层设置于所述空腔内，所述过滤层设置于所述活性炭层的上游。
一种过滤水壶

[发明专利]封装结构及其制备方法-CN201910020714.1在审
发明人：陈彦亨;林正忠 -专利权人：中芯长电半导体（江阴）有限公司
申请日： 2019-01-09 - 公布日： 2019-05-14 - 主分类号： H01L23/66 文献下载
摘要：本发明提供了一种封装结构及其制备方法，所述制备方法包括以下步骤：提供一支撑衬底；在支撑衬底上形成重新布线层；在重新布线层上形成包括底层布线结构和底层天线结构的底层天线层；在重新布线层上形成空腔结构；在重新布线层上形成层间塑封层；在层间塑封层和空腔结构上形成耦合天线层；去除支撑衬底，在重新布线层的下表面形成金属凸块，并电性连接半导体芯片。本发明通过引入设置于封装层之间的空腔结构，在耦合天线层上方形成空腔，减少了高频天线的衰减和损耗，改善了高频天线的器件性能。此外，通过引入空腔结构，还增强了封装层的结构强度，确保了天线结构在封装过程中的完整性，提高了器件良率。
重新布线层空腔结构衬底制备底层天线封装结构高频天线耦合天线封装层塑封层支撑半导体芯片电性连接封装过程金属凸块器件性能天线结构底层布下表面线结构引入层间空腔良率衰减去除

[实用新型]醋纤滤棒与醋纤空腔滤棒二元复合滤棒-CN200520021530.0无效
发明人：东传斌 -专利权人：牡丹江卷烟材料厂有限责任公司
申请日： 2005-08-27 - 公布日： 2006-10-18 - 主分类号： A24D3/02 文献下载
摘要：醋纤滤棒与醋纤空腔滤棒二元复合滤棒，它由醋纤与醋纤空腔二元复合滤芯(1)、内包裹层(2)和外包裹层(3)构成，醋纤与醋纤空腔二元复合滤芯是由醋酸纤维滤棒段(4)和醋酸纤维空腔滤棒段(5)相间接合构成的圆棒状体，内包裹层(2)包裹在醋酸纤维滤棒段(4)上，外包裹层(3)包裹在内包裹层(2)和醋酸纤维空腔滤棒段(5)上，醋酸纤维空腔滤棒段(5)是在醋酸纤维滤棒段内开有柱状空腔。
醋纤滤棒空腔二元复合

[实用新型]一种MEMS结构-CN202223304551.6有效
发明人：夏永禄;刘端 -专利权人：安徽奥飞声学科技有限公司
申请日： 2022-12-07 - 公布日： 2023-08-01 - 主分类号： B81B7/02 文献下载
摘要：本申请公开了一种MEMS结构，包括：衬底；牺牲层，形成在所述衬底上方并且具有第一空腔；振动支撑层，形成在所述牺牲层上方并且具有向所述第一空腔方向延伸的凸起，所述凸起位于所述第一空腔内；压电功能层，形成在所述振动支撑层上方本申请通过在振动支撑层上设置位于第一空腔内的凸起，阻挡限制凸起的振动，从而实现了振动支撑层单向振动，MEMS结构输出单向电压，防止电子烟的MEMS开关误启动电热丝。
一种 mems 结构

[发明专利]一种高效隔音材料-CN201810747278.3在审
发明人：彭凤珍 -专利权人：合肥坤谷环保材料有限公司
申请日： 2018-07-09 - 公布日： 2018-11-13 - 主分类号： G10K11/168 文献下载
摘要：本发明公开了一种高效隔音材料，包括内层和外层，所述内层设置在外层顶部，所述内层与外层之间设置有吸音层，所述吸音层顶部和底部均设置有真空腔，所述真空腔内部设置有共振膜，所述吸音层内部设置有加强片。本发明通过设置真空腔、共振膜和吸音层，声音首先经过真空腔，真空腔能够极大阻隔声音的传递，并且进入真空腔后的声音能够对由锡纸制成的共振膜产生共振，削弱了声音的强度，最终进入由泡沫材料制成的吸音层被其阻隔，
吸音层真空腔共振膜内层隔音材料阻隔真空腔内部锡纸隔音效果内部设置泡沫材料吸音效果加强片共振削弱传递

[发明专利]一种汽车用阻燃耐用复合电缆-CN202010558994.4在审
发明人：姚惠明 -专利权人：江苏君鼎智能科技有限公司
申请日： 2020-06-18 - 公布日： 2021-12-21 - 主分类号： H01B7/02 文献下载
摘要：本发明涉及一种汽车用阻燃耐用复合电缆，包括缆芯单元，缆芯单元的外周从内到外依次为绝缘包带层、钢丝编织层、内阻燃层和外阻燃层，缆芯单元包括截面为“十”字型的骨架，骨架具有第一空腔和第二空腔，第一空腔与第二空腔垂直，每个第一空腔均设有一导线芯，第二空腔设有三导线芯，且三导线芯经镀锌钢带铠装层连接成一体；骨架为尼龙骨架。
一种汽车阻燃耐用复合电缆

[发明专利]一种喉管截面大小可变的文丘里管-CN202011237888.2在审
发明人：沈晓炯;苏建华;汪敏 -专利权人：江阴威尔胜仪表制造有限公司
申请日： 2020-11-09 - 公布日： 2021-03-09 - 主分类号： G01F1/44 文献下载
摘要：本发明公开了一种喉管截面大小可变的文丘里管，包括刚性外管，在刚性外管内设有第一层管状空腔和第二层管状空腔，在第一层与第二层管状空腔之间设有第一层管状隔套，在第二层管状空腔外环侧设有第二层管状隔套，第一层与第二层管状隔套均被分割成相互连接的弹性中间段和刚性两侧段，在第一层管状空腔内填充有磁流体液，在第二层管状空腔内填充有电流变液，在第二层管状空腔的内表面的两侧附着有两个相互隔离的导电层，且导电层分别与电极连接，在刚性外管的外部还设有若干组电磁线圈，若干组电磁线圈及导线分别与控制器连接
一种喉管截面大小可变文丘里管

[发明专利]压电微机械超声波换能器及其制作方法-CN202010881346.2在审
发明人：钱优;拉奇许·库玛;夏佳杰 -专利权人：世界先进积体电路股份有限公司
申请日： 2020-08-27 - 公布日： 2022-03-01 - 主分类号： B81B7/02 文献下载
摘要：一种压电微机械超声波换能器，包括基板、膜层和牺牲层。基板具有穿透基板的空腔。膜设置在空腔上，并包括第一压电层、底部电极、顶部电极和第二压电层。第一压电层设置在空腔上且包括锚定部，其中第一压电层的锚定部直接接触基板。顶部电极和底部电极设置在第一压电层上。第二压电层设置在底部电极和顶部电极之间。牺牲层设置在基板和第一压电层之间，并且牺牲层的垂直投影不重叠于设置在空腔正上方的膜层的部分的垂直投影。
压电微机超声波换能器及其制作方法

[发明专利]一种薄膜体声波谐振器的制造方法-CN201910736264.6在审
发明人：杨国煌;李伟;齐飞 -专利权人：中芯集成电路（宁波）有限公司
申请日： 2019-08-09 - 公布日： 2020-12-04 - 主分类号： H03H3/02 文献下载
摘要：本发明公开了一种薄膜体声波谐振器的制造方法，包括：提供第一衬底，第一衬底上形成有压电叠层结构，压电叠层结构包括依次叠层的第二电极层、压电层和第一电极层；在压电叠层结构上形成支撑层；在支撑层中形成贯穿支撑层的空腔；在空腔中填入牺牲层材料，牺牲层材料的顶面与支撑层的顶面齐平；在支撑层上键合第二衬底，第二衬底遮盖空腔；键合第二衬底后，去除第一衬底；图形化压电叠层结构，形成谐振器的有效谐振区，有效谐振区包括位于空腔上方的第二电极、压电层和第一电极相互交叠的部分；形成有效谐振区后，去除牺牲层材料。本发明的有益效果在于，解决在制作空腔型薄膜体声波谐振器时由于膜层上下存在压差导致的器件膜层破裂的问题。
一种薄膜声波谐振器制造方法

[发明专利]压电微机械超声换能器及其制作方法-CN202110685781.2在审
发明人：王凯厚;杨剑宏;王鑫琴;王蔚 -专利权人：苏州晶方半导体科技股份有限公司
申请日： 2021-06-21 - 公布日： 2021-08-13 - 主分类号： B06B1/06 文献下载
摘要：本发明提供一种压电微机械超声换能器及其制作方法，所述压电微机械超声换能器包括：衬底；设置于衬底上支撑层，其形成有至少一个开口朝向衬底的空腔，空腔侧壁、空腔顶壁与衬底围设形成真空密闭腔；设置于支撑层上的压电薄膜，其至少位于空腔上方，并直接受空腔顶壁支承，保留部分支撑层不蚀刻形成的空腔顶壁直接起到支承压电薄膜的作用，省略常规PMUT结构中的沉积形成的薄膜支撑层等结构，能够显著降低PMUT的制造成本。
压电微机超声换能器及其制作方法

[发明专利]温度补偿声表面换能器及制造方法-CN202310272917.6在审
发明人：姚远;曹亮;宋崇希;龙峥;姚艳龙 -专利权人：江苏卓胜微电子股份有限公司
申请日： 2023-03-20 - 公布日： 2023-06-30 - 主分类号： H03H9/02 文献下载
摘要：本申请涉及一种温度补偿声表面换能器及制造方法，其中温度补偿声表面换能器包括依序设置的基底层、电极层和温补层，温补层具有背离电极层的第一表面，第一表面上设有空腔结构，电极层具有叉指电极组，空腔结构靠近叉指电极组的端头周侧或叉指电极组的上表面；温度补偿声表面换能器的制造方法包括在基底层上生成电极层，在电极层上生成温补层，在温补层上制备空腔结构，并使空腔结构靠近电极层的叉指电极组；本申请的温度补偿声表面换能器，通过空腔结构可阻断声表面波在孔径方向上的泄露路径
温度补偿表面换能器制造方法

[发明专利]MEMS麦克风及其制造方法-CN202211493682.5在审
发明人：鲁列微;徐泽洋 -专利权人：绍兴中芯集成电路制造股份有限公司
申请日： 2022-11-25 - 公布日： 2023-02-28 - 主分类号： H04R19/04 文献下载
摘要：本申请公开了一种MEMS麦克风及其制造方法，该MEMS麦克风包括：衬底，所述衬底中部具有第一空腔；第一支撑层，位于所述衬底上，所述第一支撑层中部具有第二空腔；振膜层，位于所述支撑层上，所述振膜层包括可动部，所述可动部的中间部分的厚度小于所述振膜层的边缘部分的厚度；第二支撑层，位于所述振膜层上，第二支撑层中部具有第三空腔，其中，所述可动部位于所述第二空腔和所述第三空腔之间；背极板层，所述背极板层位于所述第二支撑层上
mems 麦克风及其制造方法

[实用新型]一种具有双层胎面结构的防爆轮胎-CN201620904487.0有效
发明人：徐志雄 -专利权人：四川远星橡胶有限责任公司
申请日： 2016-08-19 - 公布日： 2017-04-19 - 主分类号： B60C17/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种具有双层胎面结构的防爆轮胎，包括由胎面、胎体、缓冲层、胎圈构成的轮胎本体，所述胎面由双层橡胶层粘合合成，在外层橡胶层上喷涂有一层由高分子防爆材料制作而成的防爆层，在内层橡胶层内设有若干个胶囊空腔，所述胶囊空腔内设补漏胶水。本实用新型中，胎面采用双层结构的设计，在外层橡胶层上喷涂防爆层，以增加胎面表面的弹性，减缓尖锐物对胎面橡胶的作用力；在内层橡胶层内设有胶囊空腔，当尖锐物刺穿胶囊空腔至胎体，胶囊空腔的补漏胶水会与空气反应而固化，避免气密层内高压气体的泄露，威胁行车安全。
一种具有双层结构防爆轮胎