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[发明专利]MEMS器件及其制备方法-CN202310537317.8在审
发明人：李忠仁;徐泽洋 -专利权人：绍兴中芯集成电路制造股份有限公司
申请日： 2023-05-10 - 公布日： 2023-08-08 - 主分类号： B81C1/00 文献下载
摘要：本发明提供了一种MEMS器件及其制备方法。在MEMS器件的制备方法中，通过预先形成的连接振动区和切割道区的第二牺牲层，用于在刻蚀振动区内的第一牺牲层时可以同时去除第二牺牲层，从而释放出连通第一空腔和外界的流通通道，进而使得第一空腔内的刻蚀液不仅可以通过背腔导出，还可以经由该流通通道导出，有效缓解了第一空腔内的刻蚀液难以导出的问题，降低刻蚀液残留于第一空腔内的风险。
mems 器件及其制备方法

[发明专利]气溶胶激光雷达的校准光源调节控制电路及方法-CN202310201835.2在审
发明人：俞建峰;刘佩佩;马雨欣;魏晓枫;徐泽洋;吴浩宇;陈昌盛;周剑烽;陈晓龙;唐成 -专利权人：江南大学
申请日： 2023-03-03 - 公布日： 2023-06-23 - 主分类号： G01S7/497 文献下载
摘要：本发明涉及一种气溶胶激光雷达的校准光源调节控制电路及方法，电路包括接收目标电流指令并转换为LED驱动参考电压值的通信控制模块；快速模拟调光驱动模块包括通道选择单元、硬件PID控制电路和电流采样电路，通道选择单元包括多个LED通道，每个LED通道均设置LED芯片、硬件PID控制电路和电流采样电路，每次以择n的方式选择至少一个LED通道导通；硬件PID控制电路用于接收LED驱动参考电压值；电流采样电路采集LED芯片的实际工作电流反馈至通信控制模块进行监测。本发明能够实现对雷达接收系统光电探测通道的线性度、多波长通道之间的串扰、弹性散射通道到拉曼散射通道的串扰等系统常数的精确校准。
气溶胶激光雷达校准光源调节控制电路方法

[发明专利]MEMS麦克风及其制造方法-CN202211731901.9在审
发明人：鲁列微;徐泽洋 -专利权人：绍兴中芯集成电路制造股份有限公司
申请日： 2022-12-30 - 公布日： 2023-06-23 - 主分类号： G05B19/04 文献下载
摘要：本申请公开了一种MEMS麦克风及其制造方法，该制造方法包括如下步骤：在基底的第一表面上依次形成第一牺牲层、振膜、第二牺牲层和背板，并在背板上形成多个背板声孔，背板声孔露出部分第二牺牲层；在背板上形成第三牺牲层，第三牺牲层填充背板声孔，且第三牺牲层的周向边缘处露出部分背板；在第三牺牲层上和第三牺牲层周向边缘处露出的部分背板上形成盖板，并在第三牺牲层上的盖板中形成多个盖板声孔，盖板声孔露出部分第三牺牲层；在基底的第二表面形成背洞，释放第一牺牲层、第二牺牲层和第三牺牲层。根据本申请的MEMS麦克风及其制造方法，MEMS麦克风在跌落时不易损坏失效。
mems 麦克风及其制造方法

[实用新型]一种应急防灾自救箱-CN202223271780.2有效
发明人：李军;谢培元;周娟;钟翔宇;曾次玲;黄海;周波;韩博文;徐泽洋 -专利权人：湖南思极科技有限公司
申请日： 2022-12-07 - 公布日： 2023-06-20 - 主分类号： A62B99/00 文献下载
摘要：本实用新型提供一种应急防灾自救箱，涉及自救箱技术领域。包括箱体，所述箱体包括箱盖和箱背，所述箱盖为半圆柱壳体，所述箱盖顶部一侧与箱背固定连接，所述箱盖其余三侧与箱背之间设有拉链，所述箱盖内侧可收卷的设置有收纳卷布，所述收纳卷布一侧与箱背固定连接，所述收纳卷布的上下两侧均设有收纳袋，且所述收纳袋沿收纳卷布的长度方向等距设置，箱背上固接有固定带，所述固定带一端与箱背底端固接、另一端固接有魔术贴二，所述箱背顶部固接有与魔术贴二相配合的魔术贴一，所述箱背远离箱盖的一侧对称固接有背带。本实用新型解决了现有自救箱不方便携带的问题。
一种应急防灾自救

[实用新型]一种电力建设工程项目管理装置-CN202223278973.0有效
发明人：周娟;李军;谢培元;钟翔宇;周波;徐泽洋;黄海;潘柳蓉;刘自强 -专利权人：湖南思极科技有限公司
申请日： 2022-12-07 - 公布日： 2023-06-02 - 主分类号： A45C5/03 文献下载
摘要：本实用新型提供一种电力建设工程项目管理装置，涉及电力建设工程技术领域。包括箱体和箱盖，所述箱体设有支撑组件，所述支撑组件包括收纳盲孔、支撑杆一、支撑杆二和安装套筒，所述箱体内侧设有压紧组件，所述压紧组件包括固定板、导向杆、弹簧、压紧杆，所述箱体后侧设有背带。本实用新型解决了现有电力建设工程项目管理装置在复杂的电力建设施工现场环境中不便于携带和使用的问题。
一种电力建设工程项目管理装置

[实用新型]一种风力发电机组密封防护装置结构-CN202223253706.8有效
发明人：周娟;李军;谢培元;钟翔宇;周波;徐泽洋;黄海潘;柳蓉;刘自强 -专利权人：湖南思极科技有限公司
申请日： 2022-12-06 - 公布日： 2023-05-19 - 主分类号： H02K5/10 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种风力发电机组密封防护装置结构，属于风力发电技术领域。其包括安装框和塔柱，所述安装框与塔柱之间固定连接，所述安装框上设有密封机构，所述密封机构包括密封盖，所述密封盖上设有第一连接部，所述安装框上对应第一连接部的位置设有第二连接部，所述安装框的外侧设有叶片机构，所述塔柱上设有防护机构。通过设有密封机构，在对安装框内的发电机本体进行日常维护或检修完毕后，将密封盖的第一连接部与安装框的第二连接部对准，使得密封环卡入密封槽内并接触密封垫，并且内螺纹与外螺纹相互啮合，从而使得密封盖与安装框的密封效果好，有效防止雨水、风沙进入安装框内，从而加快安装框内电器元件的损坏速度。
一种风力发电机组密封防护装置结构

[外观设计]智能电能信息管理终端-CN202230845445.5有效
发明人：钟翔宇;李军;周波;周娟;游龙勇;徐泽洋;黄海;李梅;易凤飞;韩博文 -专利权人：湖南思极科技有限公司
申请日： 2022-12-17 - 公布日： 2023-05-16 - 主分类号： 14-02 文献下载
摘要：1.本外观设计产品的名称：智能电能信息管理终端。2.本外观设计产品的用途：本外观设计产品用于收集和管理用户配电、光伏、风电、储能四个方面的使用信息。3.本外观设计产品的设计要点：在于形状与图案的结合。4.最能表明设计要点的图片或照片：立体图1。
智能电能信息管理终端

[外观设计]电力管理终端-CN202230845462.9有效
发明人：李军;谢培元;周娟;钟翔宇;曾次玲;周波;韩博文;徐泽洋;黄海;吴昊霖 -专利权人：湖南思极科技有限公司
申请日： 2022-12-17 - 公布日： 2023-05-16 - 主分类号： 13-02 文献下载
摘要：1.本外观设计产品的名称：电力管理终端。2.本外观设计产品的用途：本外观设计产品用于精确的电力参数计量、电能计量、电能质量分析、电力波形捕捉能耗管理等功能。3.本外观设计产品的设计要点：在于形状与图案的结合。4.最能表明设计要点的图片或照片：立体图1。
电力管理终端

[发明专利]背腔形成方法、具有背腔的器件、MEMS麦克风及制备方法-CN202210746380.8有效
发明人： 徐泽洋;鲁列微 -专利权人：绍兴中芯集成电路制造股份有限公司
申请日： 2022-06-29 - 公布日： 2023-03-24 - 主分类号： H04R31/00 文献下载
摘要：本申请实施例提供一种背腔形成方法、具有背腔的器件、MEMS麦克风的制备方法及MEMS麦克风；其中，背腔形成方法包括：提供衬底，衬底具有彼此相对的第一表面和第二表面；从第一表面对衬底进行刻蚀，形成至少一个凹槽；在凹槽内填充牺牲层；从第二表面对衬底进行刻蚀，形成贯穿衬底的至少两个子背腔，与一凹槽对应的两个相邻的子背腔从凹槽的延伸方向的两侧暴露出牺牲层，衬底在位于两个相邻的子背腔之间的部分未被刻蚀而形成支撑轴，支撑轴与对应的牺牲层在垂直于衬底的方向上连接；去除牺牲层，以使相邻的各子背腔之间通过凹槽连通，形成背腔；如此，解决了在背腔的深处刻蚀工艺难以控制的问题，提高了器件工作可靠性。
形成方法具有器件 mems 麦克风制备

[发明专利]用于估算卷绕型储能器件单体厚度的方法、装置和存储介质-CN202110033464.2有效
发明人：刘伟;刘陆洲;杨宇;杨阳;孟繁志;徐泽洋;陈修强 -专利权人：中车青岛四方车辆研究所有限公司
申请日： 2021-01-11 - 公布日： 2023-03-03 - 主分类号： G06F30/20 文献下载
摘要：本发明涉及一种用于估算卷绕型储能器件单体厚度的方法，包括：获取卷绕机的卷轴尺寸，根据卷轴尺寸建立估算模型；根据估算模型，确定单体的卷绕层数；根据单体的正极厚度、负极厚度、隔膜厚度和卷绕层数，确定单体的厚度。可以普遍适用于各种软包的卷绕型储能器件，具有普适性，并且通过预先的评估，可以减少大量的原材料成本，例如是电极或者隔膜等，与此同时还可以减少相对应的人力和时间成本。本发明还公开了一种用于估算卷绕型储能器件单体厚度的装置和存储介质。
用于估算卷绕型储能器件单体厚度方法装置存储介质

[发明专利]MEMS麦克风及其制造方法-CN202211493682.5在审
发明人：鲁列微;徐泽洋 -专利权人：绍兴中芯集成电路制造股份有限公司
申请日： 2022-11-25 - 公布日： 2023-02-28 - 主分类号： H04R19/04 文献下载
摘要：本申请公开了一种MEMS麦克风及其制造方法，该MEMS麦克风包括：衬底，所述衬底中部具有第一空腔；第一支撑层，位于所述衬底上，所述第一支撑层中部具有第二空腔；振膜层，位于所述支撑层上，所述振膜层包括可动部，所述可动部的中间部分的厚度小于所述振膜层的边缘部分的厚度；第二支撑层，位于所述振膜层上，第二支撑层中部具有第三空腔，其中，所述可动部位于所述第二空腔和所述第三空腔之间；背极板层，所述背极板层位于所述第二支撑层上。根据本申请的MEMS麦克风，具有较好的灵敏度和机械性能。
mems 麦克风及其制造方法

[发明专利]一种MEMS麦克风器件及其制造方法-CN202211180911.8在审
发明人：闾新明;鲁列微;徐泽洋;石磊 -专利权人：绍兴中芯集成电路制造股份有限公司
申请日： 2022-09-27 - 公布日： 2023-02-03 - 主分类号： H04R19/04 文献下载
摘要：本发明涉及一种MEMS麦克风器件及其制造方法，其中MEMS麦克风器件包括：具有背腔的衬底、形成于衬底上表面且具有与背腔相连通通孔的第一支撑部、形成于通孔内侧衬底上表面的截止环、形成于第一支撑部及截止环上表面的下极板、以及上极板；截止环用于阻挡刻蚀通孔时对第一支撑部的横向刻蚀；下极板包括相互连接的下极板主体部和下极板引出部；上极板形成于下极板主体部的上方且与下极板主体部之间形成空腔。本发明利用截止环将湿法释放工艺停止于截止环内部，规避了因过刻蚀造成的下极板脱落的风险，对于下极板为振膜结构还能够起到释放振膜应力的作用，减小振膜破损的发生。
一种 mems 麦克风器件及其制造方法

[发明专利]光罩、半导体结构及其制备方法-CN202210860060.5在审
发明人：鲁列微;徐泽洋 -专利权人：绍兴中芯集成电路制造股份有限公司
申请日： 2022-07-21 - 公布日： 2022-10-18 - 主分类号： B81C1/00 文献下载
摘要：本发明涉及一种光罩、半导体结构及其制备方法。光罩包括：光罩主体；背孔图形，位于所述光罩主体内；多个支撑轴图形，位于所述背孔图形内；各所述支撑轴图形的一端均相连接，各所述支撑轴图形的另一端分别与所述背孔图形的边缘相连接；所述支撑轴图形包括主体部和端部，所述端部位于所述主体部两端，与所述主体部一体连接，所述端部的宽度小于所述主体部的宽度。本发明能够避免MEMS器件在形成空腔的过程中的牺牲层释放不完全。
半导体结构及其制备方法

[发明专利]麦克风结构及其制备方法-CN202210605191.9在审
发明人： 徐泽洋;鲁列微 -专利权人：绍兴中芯集成电路制造股份有限公司
申请日： 2022-05-31 - 公布日： 2022-09-16 - 主分类号： H04R1/08 文献下载
摘要：本申请涉及一种麦克风结构及其制备方法。本申请提供的麦克风结构的制备方法包括：提供衬底；在衬底的第一面形成背腔边界定义槽；于背腔边界定义槽内形成背腔边界定义部；从衬底的第二面刻蚀衬底，形成麦克风第一背腔，以使背腔边界定义部裸露于麦克风第一背腔，并定义麦克风第一背腔靠近衬底第一面的底部边界。本申请提供的麦克风结构的制备方法，在刻蚀衬底以形成麦克风第一背腔的过程中，通过预先形成的背腔边界定义部，定义麦克风第一背腔的底部边界，避免在同一晶圆的不同部位上，制备而得的麦克风第一背腔底部尺寸与顶部尺寸的差异不一致的问题，提升晶圆边缘与晶圆中心一致性，进而提升制备而得的麦克风结构的良率。
麦克风结构及其制备方法

[实用新型]MEMS麦克风-CN202220477182.1有效
发明人：鲁列微;徐泽洋 -专利权人：绍兴中芯集成电路制造股份有限公司
申请日： 2022-03-03 - 公布日： 2022-07-29 - 主分类号： H04R19/00 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种MEMS麦克风，其具有基底、支撑件和振膜，基底上形成有贯穿基底的背孔，振膜和基底之间形成有背腔，支撑件形成在背孔中且包括至少一条支撑轴，且各支撑轴上形成有贯穿所述支撑轴且连通背腔的至少一个释放孔，在向背孔中通入刻蚀剂，去除相应膜层来形成背腔时，各个释放孔中也通入该刻蚀剂，由此使得支撑轴位置的相应膜层被完全释放，避免产生背腔刻蚀残留物的问题，由此提高麦克风性能。
mems 麦克风

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