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[实用新型]一种太阳能硅片的粘着装置-CN201120261344.X有效
发明人：沈彪;李向清;胡德良 -专利权人：江阴市爱多光伏科技有限公司
申请日： 2011-07-22 - 公布日： 2012-04-11 - 主分类号： H01L31/18 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种太阳能硅片的粘着装置，包括封装载体传输模块、硅圆承载模块、硅片取放模块及硅片压合模块。封装载体传输模块具有若干组平行设置的第一轨道机构，各第一轨道机构设置有封装载体定位传送装置；硅片取放模块用以拾取硅圆承载模块上硅圆的硅片，将拾取的硅片移动至位于封装载体定位传送装置上的封装载体，同时对硅片与封装载体施予第一压力，使硅片暂时粘合在封装载体上。硅片压合模块包含有压合载台及若干个压合头，压合载台上设有第二轨道机构，可承接自若干个第一轨道机构所输出的封装载体，若干个压合头对封装载体上的硅片施予第二压力，使硅片稳固粘合在封装载体上。
一种太阳能硅片粘着装置

[发明专利]一种硅片缓冲装载装置-CN201210479223.1有效
发明人：吴文镜;李国光;赵江艳 -专利权人：北京智朗芯光科技有限公司;中国科学院微电子研究所
申请日： 2012-11-22 - 公布日： 2013-07-24 - 主分类号： G01B11/30 文献下载
摘要：本发明公开了一种硅片缓冲装载装置，属于硅片样品光学测量技术领域。该装置包括硅片样品台和吸盘，吸盘与硅片样品台相配合，硅片样品台具有底座，还包括缓冲机构，缓冲机构连接于底座，缓冲机构包括接触平台和升降机构，接触平台固定连接于升降机构，接触平台在升降机构的带动下升降。该装置在对硅片样品进行装载时，机械手与硅片样品台能够实现任意装载，并且，装载过程简单、装载稳定。
一种硅片缓冲装载装置

[发明专利]一种硅片装载机构及硅片装载方法-CN201810879746.2在审
发明人：李文博;许明现 -专利权人：君泰创新(北京)科技有限公司
申请日： 2018-08-03 - 公布日： 2020-02-14 - 主分类号： H01L21/677 文献下载
摘要：本申请公开了一种硅片装载机构及硅片装载方法，属于硅片装载技术领域。所述硅片装载机构包括载板，配置为在载板的一装载区域内承载硅片，装载区域包括多个子装载区域，多个子装载区域中的每个包括多个用于承载硅片的片槽；多个装载组件，配置为将硅片装载在载板上的片槽内，多个装载组件与多个子装载区域一一对应该硅片装载机构利用多个装载组件在载板的装载区域内各子装载区域的片槽装载硅片，实现了在硅片的装载过程中，无需对载板进行多次移动，既减少了载板的移动次数，也提高了硅片的装载精度，提高了硅片装载的生产效率。
硅片装载装载区域载板硅片装载组件片槽装载承载多次移动生产效率配置移动申请

[实用新型]一种硅片装载机构-CN201821253153.7有效
发明人：李文博;许明现 -专利权人：君泰创新（北京）科技有限公司
申请日： 2018-08-03 - 公布日： 2019-03-26 - 主分类号： H01L21/677 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种硅片装载机构，属于硅片装载技术领域。所述硅片装载机构包括载板，配置为在载板的一装载区域内承载硅片，装载区域包括多个子装载区域，多个子装载区域中的每个包括多个用于承载硅片的片槽；多个装载组件，配置为将硅片装载在载板上的片槽内，多个装载组件与多个子装载区域一一对应该硅片装载机构利用多个装载组件在载板的装载区域内各子装载区域的片槽装载硅片，实现了在硅片的装载过程中，无需对载板进行多次移动，既减少了载板的移动次数，也提高了硅片的装载精度，提高了硅片装载的生产效率。
硅片装载装载区域载板硅片装载组件片槽装载承载本实用新型多次移动生产效率配置移动

[发明专利]装卸装置、方法及硅片双面抛光设备-CN202211690624.1在审
发明人：孙介楠;王强 -专利权人：西安奕斯伟材料科技有限公司;西安奕斯伟硅片技术有限公司
申请日： 2022-12-27 - 公布日： 2023-03-31 - 主分类号： B24B29/02 文献下载
摘要：本发明实施例公开了一种装卸装置、方法及硅片双面抛光设备，所述装卸装置包括：第一装卸机构，所述第一装卸机构用于将载具装载至所述硅片双面抛光设备以及将载具从所述硅片双面抛光设备卸载；第二装卸机构，所述第二装卸机构用于将硅片装载至装载于所述硅片双面抛光设备的载具以及将硅片从装载于所述硅片双面抛光设备的载具卸载；第三装卸机构，所述第三装卸机构用于将对所述硅片双面抛光设备的上抛光垫和下抛光垫进行修整的修整器装载至所述硅片双面抛光设备以及将修整器从所述硅片双面抛光设备卸载。
装卸装置方法硅片双面抛光设备

[发明专利]一种片材装卸设备、其控制方法及太阳能电池生产线-CN201611199178.9有效
发明人：苗为民;李建;张文东;林健;丁江波;朱玉龙;施栓林;田晓敏;张武科;孟原;刘慧鹏;王芳 -专利权人：新奥光伏能源有限公司
申请日： 2016-12-22 - 公布日： 2020-01-14 - 主分类号： H01L21/677 文献下载
摘要：本发明公开了一种片材装卸设备、其控制方法及太阳能电池生产线，该片材装卸设备包括：托盘传输装置、至少一个位于片材装载区域的硅片装载装置以及至少一个位于片材卸载区域的硅片卸载装置；其中，托盘传输装置，用于将卸载硅片后的托盘从片材卸载区域向片材装载区域传输；硅片装载装置，用于拾取位于硅片抓取位置的待加工硅片，并将待加工硅片布放到位于片材装载区域的托盘的盛放槽中；硅片卸载装置，用于拾取位于片材卸载区域的托盘中加工后的硅片，并将加工后的硅片放置到设定位置。实现了硅片的自动装卸，以及实现了全自动生产流程，提高了硅片装卸的操作效率，并且避免了人工手动装卸带来的对硅片的损害及污染。
一种装卸设备控制方法太阳能电池生产线

[发明专利]一种硅片用的烘干装置-CN202110161800.1在审
发明人：伍志军 -专利权人：苏州赛森电子科技有限公司
申请日： 2021-02-05 - 公布日： 2021-05-11 - 主分类号： F26B15/14 文献下载
摘要：本发明公开了一种硅片用的烘干装置，包括：底架、下横板、硅片装载架、上横板、承载框与搬运机构，下横板设置在底架的上方，并为前后对称设置，下横板上安装有承载架，承载架的前后两边穿过下横板与底架；硅片装载架设置在底架上，硅片装载架中装载有硅片，硅片装载架的中间穿过丝杠，丝杠用于传动硅片装载架移动；上横板设置在下横板的上方，并为前后对称设置，上横板距离下横板有一段间隔；承载框设置在承载架的中间上方，承载框的前后两边连接有支撑板，支撑板的底部连接上横板；搬运机构位于承载框与承载架之间，搬运机构具有夹板，夹板为左右对称设置，用于夹取硅片装载架中的硅片。本发明获得了节约空间、增加烘干硅片数量的优点。
一种硅片烘干装置

[发明专利]应用于化学机械抛光设备中的硅片定位装载装置-CN201010249958.6有效
发明人：高文泉;陈波;王伟;李久芳 -专利权人：中国电子科技集团公司第四十五研究所
申请日： 2010-08-11 - 公布日： 2012-03-14 - 主分类号： B24B37/27 文献下载
摘要：本发明提供了一种应用于化学机械抛光设备中的硅片定位装载装置，涉及硅片化学机械抛光设备技术领域。其基板通过支杆与上面的装载导向环连接；升降驱动机构上面的伸缩部与上面的晶片夹固定连接；晶片夹和其外面的晶片引导环连接；装载导向环上设有硅片承载装置对接导向机构，以及硅片顶接导向机构；基板或升降驱动机构的下部设有自动位移调整机构及其自动复位机构本发明能实现硅片的准确定位并将其运送到承载器内以便加工；结构简单、定位准确、装载安全、性能可靠、操作方便，有利于实现硅片的自动化装载，提高硅片的定位装载和加工效率。特别适用于化学机械抛光设备中的硅片装载，也可用于晶体管和集成电路生产各工序中晶圆的装载。
应用于化学机械抛光设备中的硅片定位装载装置

[实用新型]一种硅片整片机构-CN202020390971.2有效
发明人：吴廷斌;张学强;张建伟;罗银兵 -专利权人：罗博特科智能科技股份有限公司
申请日： 2020-03-24 - 公布日： 2020-10-30 - 主分类号： H01L21/68 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种硅片整片机构，所述的硅片整片机构包括用于叠放硅片的硅片装载装置、用于沿X方向运输硅片装载装置的传送装置、用于从X方向对硅片整片的一对X向定位装置、用于从Y方向对硅片整片的一对Y向定位装置，所述的传送装置上具有整片工位，当所述的硅片装载装置被传送至整片工位时，所述的一对X向定位装置分别从前后两侧对硅片进行整片，所述的一对Y向定位装置分别从左右两侧对硅片进行整片。该机构具有两套X向定位装置及两台Y向定位装置，能够从四个方向对硅片进行整片，该整片步骤是硅片烧结前的步骤，将叠放的硅片整片后，能够防止硅片烧结不均匀，影响硅片的光电转换效率。
一种硅片机构

[发明专利]化学机械抛光设备硅片定位装片装置-CN200910175352.X无效
发明人：高文泉;廖垂鑫;陈威;李伟;王伟;柳滨 -专利权人：中国电子科技集团公司第四十五研究所
申请日： 2009-12-14 - 公布日： 2010-05-12 - 主分类号： B24B37/04 文献下载
摘要：本发明提供了一种化学机械抛光设备硅片定位装片装置，涉及化学机械抛光设备技术领域。具有装载底盘，装载底盘上固定有装载引导环，装载引导环内设有第1斜倒角和第2斜倒角；装载底盘上设有水压喷嘴，水压喷嘴与可装在第2斜倒角上的硅片间具有间隙。采用此装置可以实现硅片精确定位、顺利装片和卸片以便抛光过程的正常进行，并且整个过程对硅片不会产生划痕，有利于提高硅片的加工质量和效率。
化学机械抛光设备硅片定位装置

[发明专利]硅片装载系统及半导体加工设备-CN202211613083.2在审
发明人：王颖;李佳豪;贾晓东 -专利权人：西安奕斯伟材料科技有限公司;西安奕斯伟硅片技术有限公司
申请日： 2022-12-15 - 公布日： 2023-04-25 - 主分类号： H01L21/677 文献下载
摘要：本发明提供了一种硅片装载系统及半导体加工设备，属于半导体制造技术领域。硅片装载系统，包括壳体，用于装载硅片，壳体内开设有用于装载硅片的硅片卡槽；数据库单元，用于存储壳体装载硅片后，硅片卡槽处的压力阈值和硅片卡槽上的硅片位置范围信息；检测单元，用于获取硅片卡槽处的实时压力信息，以及，在壳体装载硅片后，获取硅片卡槽上的实时硅片位置信息；判定单元，用于对比硅片卡槽处的实时压力信息和压力阈值，以及，对比实时硅片位置信息和硅片位置范围信息，判断硅片卡槽内的硅片位置是否正常。本发明的技术方案能够解决搬运及运输过程中硅片在硅片装载系统中发生错位，从卡槽中脱落从而造成异常产品流出的现象。
硅片装载系统半导体加工设备

[实用新型]一种用于运输硅片载具的运输装置-CN202320829447.4有效
发明人：罗峰;李佳儒 -专利权人：通合新能源（金堂）有限公司
申请日： 2023-04-14 - 公布日： 2023-07-25 - 主分类号： B65D25/02 文献下载
摘要：本申请提供了一种用于运输硅片载具的运输装置，涉及光伏技术领域。用于运输硅片载具的运输装置包括运输装置本体、箱体以及碎片收集盒。箱体安装于运输装置本体，箱体包括用于放置硅片载具的装载室，装载室具有用于承托硅片载具的底板。碎片收集盒可拆卸地连接于底板，碎片收集盒包括用于容纳硅片碎片的收集盒本体，收集盒本体具有向上开设的第一开口，收集盒本体与装载室的内部在第一开口处连通，且第一开口不超过底板的上表面。本申请提供的用于运输硅片载具的运输装置，可便于清理从硅片载具上掉落在装载室内的硅片碎片。
一种用于运输硅片装置

[发明专利]圆形硅片装载装置-CN201710879175.8在审
发明人：牛慧锋;徐长坡;陈澄;梁效峰;杨玉聪;甄辉;齐风;李亚哲;黄志焕;王晓捧;王宏宇;王鹏;徐艳超 -专利权人：天津环鑫科技发展有限公司
申请日： 2017-09-26 - 公布日： 2019-04-02 - 主分类号： H01L21/673 文献下载
摘要：本发明提供圆形硅片装载装置，包括槽棍、第一吊装板和第二吊装板，第一吊装板和第二吊装板分别设置在槽棍两端，槽棍与第一吊装板、槽棍与第二吊装板均采用螺纹连接，第一吊装板和第二吊装板上均设置吊装口，吊装口设置在第一吊装板和第二吊装板的顶部本发明的有益效果是两侧吊装板设置两处吊钩状吊装口，方便硅片装载装置的吊装运输，也能够保证硅片装载装置吊装过程的稳定性，同时留有导水口，装满硅片的硅片装载装置浸水时，减弱水浮力以及水对硅片挤压力，以防硅片被冲出硅片装载装置
吊装板槽棍硅片装载装置吊装口硅片圆形硅片装载装置固定槽片槽浸水吊装运输螺纹连接导水口吊钩状挤压力水浮力吊装装满保证

[实用新型]圆形硅片装载装置-CN201721238491.9有效
发明人：牛慧锋;徐长坡;陈澄;梁效峰;杨玉聪;甄辉;齐风;李亚哲;黄志焕;王晓捧;王宏宇;王鹏;徐艳超 -专利权人：天津环鑫科技发展有限公司
申请日： 2017-09-26 - 公布日： 2018-05-22 - 主分类号： H01L21/673 文献下载
摘要：本实用新型提供圆形硅片装载装置，包括槽棍、第一吊装板和第二吊装板，第一吊装板和第二吊装板分别设置在槽棍两端，槽棍与第一吊装板、槽棍与第二吊装板均采用螺纹连接，第一吊装板和第二吊装板上均设置吊装口，吊装口设置在第一吊装板和第二吊装板的顶部本实用新型的有益效果是两侧吊装板设置两处吊钩状吊装口，方便硅片装载装置的吊装运输，也能够保证硅片装载装置吊装过程的稳定性，同时留有导水口，装满硅片的硅片装载装置浸水时，减弱水浮力以及水对硅片挤压力，以防硅片被冲出硅片装载装置
圆形硅片装载装置

[发明专利]自动化硅片输送装置-CN201911133108.7在审
发明人：张杰 -专利权人：安徽英发睿能科技股份有限公司
申请日： 2019-11-19 - 公布日： 2020-01-21 - 主分类号： H01L21/677 文献下载
摘要：本申请涉及硅片镀膜技术领域，尤其涉及一种自动化硅片输送装置，包括用于装载硅片并进行背面镀膜的背膜石墨舟；用于装载硅片并进行正面镀膜的正膜石墨舟；位于背膜石墨舟和正膜石墨舟之间的中转变节距，中转变节距上设置有多个用于承载硅片的承载位；用于将背膜石墨舟中的硅片装载到承载位的第一机械臂和用于将承载位的硅片装载到正膜石墨舟的第二机械臂，第一机械臂和第二机械臂的活动端均设置有用于吸附硅片的装载吸盘。如此设置，通过第一机械臂和第二机械臂转运硅片，避免了背膜工艺到正膜工艺的人工搬运流程，有利于节省人力和资源；而且硅片的装卸只完成一次，减少对硅片造成的损伤。
硅片机械臂石墨舟背膜承载装载硅片装载变节距镀膜硅片输送装置吸盘硅片镀膜人工搬运活动端吸附转运背面装卸损伤自动化申请

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