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农业化学；冶金建筑机械工程区域搜索

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B 作业；运输

C 化学；冶金

D 纺织；造纸

E 固定建筑物

F 机械工程、照明、加热

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2023-10-24 公布专利

2023-10-20 公布专利

2023-10-17 公布专利

2023-10-13 公布专利

2023-10-10 公布专利

2023-10-03 公布专利

2023-09-29 公布专利

2023-09-26 公布专利

2023-09-22 公布专利

2023-09-19 公布专利

专利权人

国家电网公司

华为技术有限公司

中兴通讯股份有限公司

三星电子株式会社

中国石油化工股份有限公司

鸿海精密工业股份有限公司

松下电器产业株式会社

上海交通大学

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[发明专利]旋涂模拟的方法、装置、设备及存储介质-CN202111311561.X在审
发明人：郭帅;刘忠明 -专利权人：长鑫存储技术有限公司
申请日： 2021-11-08 - 公布日： 2022-02-01 - 主分类号： G06F30/20 文献下载
摘要：本公开提供一种旋涂模拟的方法、装置、设备及存储介质。所述旋涂模拟的方法应用于对非平面半导体结构的旋涂膜层的形状进行模拟，所述方法包括：获取旋涂工艺参数信息；基于预设模拟模型和所述旋涂工艺参数信息，确定形成于非平面半导体结构上的旋涂膜层的形状信息。本公开实施例所提供的旋涂模拟的方法中，根据预设模拟模型和旋涂工艺参数信息模拟旋涂膜层的形状，从而为旋涂步骤之后的其他工艺步骤提供参考依据，以保证制备出的半导体产品的质量。
模拟方法装置设备存储介质

[发明专利]一种旋转涂布方法-CN202011445659.X在审
发明人：林秀岩 -专利权人：比亚迪半导体股份有限公司
申请日： 2020-12-08 - 公布日： 2022-06-10 - 主分类号： B05D1/00 文献下载
摘要：本发明提供了一种旋转涂布方法，所述旋转涂布方法包括：提供基底；在所述基底上施加旋涂剂；对所述旋涂剂进行旋转涂布，以在所述基底的表面形成旋涂膜层；执行第一振荡步骤；执行烘烤步骤，并且至少在所述烘烤步骤的部分时间内执行第二振荡步骤，以固化所述旋涂膜层。本发明通过增加所述第一振荡步骤和第二振荡步骤可以改善旋涂膜层厚度的均匀性。所述旋涂膜层的厚度均匀性从7.02％提高至3％以内，同时所述方法还可以节约旋涂剂使用成本。
一种旋转方法

[发明专利]制作盘形记录介质的旋涂装置和方法-CN03816314.4无效
发明人：山口晴彦;淀川吉见;宇佐美守;丑田智树;出泽圣一 -专利权人： TDK株式会社
申请日： 2003-07-09 - 公布日： 2005-09-14 - 主分类号： G11B7/26 文献下载
摘要：本发明涉及制作盘形记录介质的旋涂装置和方法。所述旋涂装置可防止对一盘进行旋涂时采用的一掩膜受到损坏。更具体地说，所述装置结构如下。首先，将一掩膜放置到一位于一旋涂器上的盘件上，然后进行旋涂。紧接之后，连续地对移离该盘件的单个掩膜进行清洗、冲洗及干燥处理，这些处理之后的掩膜相继发送给下一旋涂操作。
制作记录介质装置方法

[发明专利]硒化锌纳米空心球双层渐变折射率增透膜的制备方法-CN201810126871.6有效
发明人：杨静;徐玉;杜希文 -专利权人：天津大学
申请日： 2018-02-08 - 公布日： 2020-08-21 - 主分类号： G02B1/115 文献下载
摘要：本发明公开一种硒化锌纳米空心球双层渐变折射率增透膜的制备方法，主要包括：配制旋涂溶液，旋涂基片，样品真空退火处理，配制二次旋涂溶液，二次旋涂，样品二次处理，HF酸刻蚀处理得到。本发明用旋涂法和模板法调控了膜层的孔隙率，实现了对膜层折射率的有效控制，构建了双面底层高折射率与顶层低折射率的双层渐变折射率减反射膜，膜层的透过率最高可达91.5％，且与单一折射率减反射膜相比，透过波段更宽
硒化锌纳米空心球双层渐变折射率增透膜制备方法

[发明专利]在基底上旋涂自组装单分子层或周期性有机硅(酸盐)的系统和方法-CN201480073914.9有效
发明人：艾恩华·罗莫·内格雷拉;凯瑟琳·那夫斯;桑原雄平;松永浩一 -专利权人：东京毅力科创株式会社
申请日： 2014-12-15 - 公布日： 2019-01-29 - 主分类号： H01L21/56 文献下载
摘要：本公开内容涉及一种用于利用分子自组装(MSA)化学品旋涂基底以在基底上形成光致抗蚀剂膜和/或低介电常数(低k)膜的处理系统。旋涂处理系统可以包括能够将MSA化学品接收和旋涂在基底上的旋涂室，以及以在旋涂工艺之后对基底进行热处理的退火室。在某些实施方案中，旋涂处理系统还可以在旋涂工艺之前对基底进行预处理或预润湿。
基底上旋涂组装单分子层周期性有机硅酸盐系统方法

[发明专利]旋涂温控装置及方法-CN200710043390.0在审
发明人：陈峥;傅卫玲 -专利权人：上海拓引数码技术有限公司;河南凯瑞数码有限公司
申请日： 2007-07-03 - 公布日： 2008-06-18 - 主分类号： G11B7/26 文献下载
摘要：本发明涉及制作单面双层可记录DVD盘片L1层的旋涂温控装置及方法。所述旋涂温控装置可有效控制在制作单面双层可记录DVD盘片L1层时在已金属化待旋涂基板上的旋涂温度，从而控制液态可记录介质在已金属化待旋涂基板上的涂膜厚度，解决在制作单面双层可记录DVD盘片L1层涂膜工艺稳定性难以控制的问题
温控装置方法

[发明专利]形成半导体器件的旋涂玻璃膜的方法-CN96110029.X无效
发明人：辛东善;金民载 -专利权人：现代电子产业株式会社
申请日： 1996-05-22 - 公布日： 2001-12-26 - 主分类号： H01L21/316 文献下载
摘要：本发明涉及一种方法，在形成旋涂玻璃膜后，利用等离子进行后续处理，则降低了旋涂玻璃膜吸湿能力。$＃!
形成半导体器件玻璃方法

[发明专利]光刻方法-CN200910056254.4无效
发明人：覃柳莎;安辉 -专利权人：中芯国际集成电路制造(上海)有限公司
申请日： 2009-08-11 - 公布日： 2011-03-30 - 主分类号： G03F7/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种光刻方法，包括：对硅片表面进行清洗、脱水和成膜处理；在处理后的硅片表面旋涂一层光刻胶；在光刻胶表面旋涂一层水膜；在涂有水膜的光刻胶表面旋涂一层顶部抗反射层(TARC)膜；对涂有TARC膜的光刻胶依次进行对准
光刻方法

[发明专利]一种载银多层膜涂层胆道支架的制备方法-CN201110069465.9无效
发明人：郑树森;杨富春;计剑;秦运升;朱琳;吴健 -专利权人：浙江大学
申请日： 2011-03-23 - 公布日： 2011-08-17 - 主分类号： A61L31/16 文献下载
摘要：本发明医用材料领域，尤其涉及一种载银多层膜涂层胆道支架的制备方法，包括：将浓度为0.01-5mg/ml肝素溶液滴入胆道支架本体，旋涂，再将三蒸水滴入胆道支架本体，旋涂，再将浓度为0.01-10mg/ml壳聚糖载纳米银溶液滴入胆道支架本体，旋涂，循环上述过程，得到载银多层膜涂层胆道支架，其中，所述的旋涂的转速为250-5000转，旋涂的时间为10-50秒。本发明制备的载银多层膜涂层胆道支架表面比较平坦，具有抗细菌、抗病毒、抗霉菌作用，可以延长胆道支架通畅期，防止胆道逆行感染。
一种多层涂层胆道支架制备方法

[发明专利]一种利用旋涂技术基于磺化氧化石墨烯制备非水质子交换膜的方法-CN201910909323.5有效
发明人：车全通;金瑾;赵静;申思;肖立邦;黄阳磊;王梦琦 -专利权人：东北大学
申请日： 2019-09-25 - 公布日： 2022-09-02 - 主分类号： H01M8/1069 文献下载
摘要：本发明属于燃料电池技术领域，具体涉及一种利用旋涂技术基于磺化氧化石墨烯制备非水质子交换膜的方法。首先配制聚氯乙烯(PVC)溶液，再制备氧化石墨烯(SGO)溶液，利用匀胶机将PVC溶液均匀涂覆在玻璃板表面，再滴加SGO溶液，重复旋涂步骤5次，烘干后制备(PVC/SGO)5复合膜。在质量分数为85％的PA中浸泡24～48小时，制备(PVC/SGO)5/PA复合膜。本发明利用旋涂技术，基于SGO的优良导电性能和旋涂技术制备的膜材料厚度可控等优点制备具有高机械性能以及良好质子传导率等优点的非水质子交换膜，具有良好的应用前景。
一种利用技术基于磺化氧化石墨制备水质交换方法

[发明专利]一种在疏水表面制备亲水涂膜的方法-CN201410830049.X有效
发明人：水玲玲;韦必明;金名亮;周国富 -专利权人：华南师范大学;深圳市国华光电科技有限公司;深圳市国华光电研究所
申请日： 2014-12-25 - 公布日： 2015-03-25 - 主分类号： B05D5/10 文献下载
摘要：本发明公开了一种在疏水表面制备亲水涂膜的方法，包括：在干净的基材上制备疏水薄膜；在疏水薄膜表面直接喷涂低粘度的亲水涂料得到喷涂亲水涂膜；前烘；还可以在喷涂得到亲水涂膜表面上再旋涂一层亲水涂料，然后再进行前烘本发明采用喷涂法利用喷嘴将低粘度涂料溶液分散成液滴，沉积到疏水薄膜表面上，解决了低粘度涂料涂布（丝网或者旋涂）过程中出现收缩的问题，同时在已喷涂的亲水涂膜表面再均匀旋涂亲水涂料，得到的亲水涂膜完整、均匀且厚度可控；而且还可以通过旋涂不同的亲水涂料，得到由不同亲水材料复合的亲水膜，增加亲水膜的功能。
一种疏水表面制备亲水涂膜方法

[实用新型]一种旋涂设备-CN202220428720.8有效
发明人：丁蕾;王永磊;何永才;顾小兵;何博;徐希翔 -专利权人：西安隆基乐叶光伏科技有限公司
申请日： 2022-02-28 - 公布日： 2022-10-18 - 主分类号： B05B13/02 文献下载
摘要：本实用新型实施例提供了一种旋涂设备，包括基座、驱动机构、旋涂轨道和用于吸附待旋涂件的工作台，旋涂轨道呈圆环状，旋涂轨道可转动地设置于基座上，工作台固定于旋涂轨道的内表面上；驱动机构与旋涂轨道连接，用于驱动旋涂轨道旋转，以在待旋涂件上进行镀膜。旋涂轨道沿竖直方向设置，当旋涂轨道旋转时，在离心力的作用下，待旋涂件上的旋涂溶液很容易流入金字塔底部，并且，旋涂的膜层的厚度均匀，避免了钙钛矿太阳能电池存在短路的风险，提高了钙钛矿太阳能电池性能。
一种设备

[实用新型]一种用于编织管复合膜喷丝的喷头结构-CN201921770143.5有效
发明人：杜宝山;阮文祥;魏华;廖俊斌 -专利权人：湖北瑞滤膜科技有限公司
申请日： 2019-10-22 - 公布日： 2020-09-15 - 主分类号： B05C1/04 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种用于编织管复合膜喷丝的喷头结构，属于编织管涂膜技术领域，解决了现有喷头中存在涂膜不均匀的问题；该喷头结构包括基座，所述基座沿其轴线方向依次开设有安装孔、料液通道和凹槽，所述安装孔内旋接有导向管，所述导向管内开设有与编织管相适配的通孔，所述导向管外围设置有缓冲面，所述缓冲面与所述安装孔内壁之间具有缓冲腔，所述基座一侧旋接有与所述缓冲腔相连通的进料管，所述基座底端旋接有底盖，所述底盖与所述凹槽之间设置有涂膜块，所述涂膜块内设置有与所述料液通道相连通的涂膜腔和出料口，所述导向管底端延伸至所述涂膜腔并与所述出料口同轴布置。本实用新型能够实现编织管均匀涂膜，提高编织管涂膜效率。
一种用于编织复合膜喷丝喷头结构

[实用新型]一种简易涂膜机链刀机构-CN201720493592.4有效
发明人：易墅兴 -专利权人：东莞市腾兴机械有限公司
申请日： 2017-05-05 - 公布日： 2018-02-23 - 主分类号： B05C11/10 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种简易涂膜机链刀机构，包括熨修架、涂膜滑架、固装板、第一滑槽、电机箱、翻转圈、电板、装接板、熨旋圈、连接柱、滑块、第二滑槽、调节滑柱、旋紧圈、链刀涂架、伸缩链板和涂膜槽。本实用新型的有益效果是该涂膜机链刀机构的链刀涂架采用可伸缩式设计，人们可根据产品的涂膜需要，来通过调节滑柱左右滑动来调节链刀涂架的工作宽度，保证该涂膜机构适配的广泛性及涂膜的精准性，避免涂膜的原料浪费；该链刀机构在涂膜的同时，熨修架翻转与链刀涂架平面平行，通过熨旋圈对涂膜后的产品进行旋转式压熨修正，使产品涂膜后膜与产品贴合更加紧凑、均匀，保证了涂膜的高质量；该链刀机构操作方便，各构件连接灵活。
一种简易涂膜机链刀机构

[发明专利]芯轴图形的形成方法-CN201911204018.2有效
发明人：许鹏凯;乔夫龙;任佳 -专利权人：上海华力微电子有限公司
申请日： 2019-11-29 - 公布日： 2023-02-10 - 主分类号： H01L21/311 文献下载
摘要：本发明提供了一种芯轴图形的形成方法，包括:提供一衬底，在所述衬底上方依次形成芯轴图形层、过渡层以及图形化的旋涂介质层，所述过渡层的硬度大于所述旋涂介质层的硬度；以图形化的旋涂介质层为掩膜，进行过渡层刻蚀，以形成图形化的过渡层；去除所述图形化的旋涂介质层，并以图形化的过渡层为掩膜，进行芯轴图形层刻蚀，以形成芯轴图形。通过在所述芯轴图形层和图形化的旋涂介质层中间增加过渡层，改变了芯轴图形刻蚀工艺中的膜层结构，既可以降低图形化的旋涂介质层中的有机介电质层的厚度，同时解决了芯轴图形层刻蚀过程中的掩模层厚度不够的问题。
图形形成方法

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