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[发明专利]一种新型石墨舟-CN201711274552.1在审
发明人：王光涛 -专利权人：中建材浚鑫科技有限公司
申请日： 2017-12-06 - 公布日： 2018-06-15 - 主分类号： C23C16/458 文献下载
摘要：本发明揭示了一种新型石墨舟，该石墨舟包括至少8片石墨舟叶片，分别为第一石墨舟叶片、第二石墨舟叶片、第三石墨舟叶片、第四石墨舟叶片、第五石墨舟叶片、第六石墨舟叶片、第七石墨舟叶片和第八石墨舟叶片，第一石墨舟叶片和第八石墨舟叶片均为最外侧石墨舟叶片，每个石墨舟叶片相互平行设置，每个所述石墨舟叶片上均设置有用于固定硅片的第一卡点、第二卡点和第三卡点，硅片通过所述第一卡点、第二卡点和第三卡点固定于每个石墨舟叶片上。本技术方案可以有效地减少硅片在镀膜时的翘曲，从而减少色差、返工和报警，提高了合格率和产量，重新设计了卡点位置，卡点可更好的卡住硅片，使硅片在舟中的受力更均匀，卡点位置可兼顾插片的可行性。 1
石墨舟叶片卡点硅片新型石墨有效地减少色差固定硅片平行设置重新设计插片镀膜返工卡住翘曲受力合格率报警

[实用新型]一种舟片加强石墨舟-CN202221498102.7有效
发明人：张华;余波 -专利权人：弘嘉新能源科技（浙江）有限公司
申请日： 2022-06-16 - 公布日： 2022-11-01 - 主分类号： H01L21/673 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种舟片加强石墨舟，涉及PECVD镀膜技术领域。一种舟片加强石墨舟，包括若干个舟片，若干个所述舟片上开设有开孔，且设有陶瓷杆，若干个所述舟片通过陶瓷杆串联排列，所述舟片左右两侧均设有连接片，相邻的所述两个舟片之间设有隔块，所述隔块位于连接片处，且位于相邻的两个连接片之间，通过在舟片的承载槽部分增加加强筋，提高舟片强度韧性，避免因舟片过长出现的弯曲变形问题。
一种加强石墨

[实用新型]一种新型冲锋舟-CN201821876365.0有效
发明人：梁志涛;童江华;翁亚 -专利权人：武汉华夏神舟船舶科技有限公司
申请日： 2018-11-08 - 公布日： 2019-10-15 - 主分类号： B63B35/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种新型冲锋舟，包括冲锋舟本体，锋舟本体包括舟头、承载仓和舟尾，承载仓位于冲锋舟本体的中部，舟头和舟尾位于承载仓的两端，舟头边缘设置有橡胶套，舟头上还安装有拖钩，承载仓的两侧顶部设有栏杆，承载仓的两侧还设有救生索，所述舟尾处设置有动力装置。通过设置橡胶套，大大提高了防冲撞能力，保护了人员安全，再在舟头上安装拖钩，可以将冲锋舟拖动到合适的救援位置，而且救生索上还设有套管，可以防止人员拉伤，进一步提高了安全性能。
承载仓冲锋舟舟头舟尾救生索橡胶套拖钩拖动本实用新型安全性能边缘设置动力装置救援位置人员安全防冲撞套管拉伤栏杆

[实用新型]一种石墨舟和管式炉-CN202221576380.X有效
发明人：刘赖生;廖海伦;张浩;董道宴;王志诚;王永康 -专利权人：通威太阳能（眉山）有限公司
申请日： 2022-06-22 - 公布日： 2022-11-08 - 主分类号： H01L21/673 文献下载
摘要：本申请实施例提供一种石墨舟和管式炉，涉及光伏领域。石墨舟包括至少一根根绝缘杆以及至少两片石墨舟页，所有石墨舟页成列排布，且相邻石墨舟页相对设置；每根绝缘杆贯穿所有石墨舟页，最外侧的每片石墨舟页的表面设置有不少于两条用于加固石墨舟页的加固板。石墨舟上的绝缘杆能起到支撑加固作用，用于支撑起所有石墨舟页；最外侧的石墨舟页上的加固板能减少石墨舟页发生晃动的现象，加固板与绝缘杆相配合，增加了石墨舟的稳定性，降低硅片被划伤的概率。
一种石墨管式炉

[发明专利]石墨舟预处理方法-CN201110410720.1无效
发明人：钱明星 -专利权人：浚鑫科技股份有限公司
申请日： 2011-12-09 - 公布日： 2013-06-19 - 主分类号： C23C16/34 文献下载
摘要：本发明公开了一种石墨舟预处理方法，将清洗后的石墨舟烘干；将烘干的石墨舟直接进行预沉积，得到表面沉积有氮化硅的石墨舟。本发明实施例提供的石墨舟的预处理方法，不需要在石墨舟预沉积前在石墨舟上插入硅片，减少了石墨舟的预处理时间，而且降低了石墨舟的预处理成本。
石墨预处理方法

[实用新型]一种石英舟-CN201020611626.3无效
发明人：姚琪;刘鹏;欧阳辉 -专利权人：浙江贝盛光伏股份有限公司
申请日： 2010-11-18 - 公布日： 2011-06-15 - 主分类号： H01L21/673 文献下载
摘要：一种石英舟，包括舟体，舟体下方设置有舟架，所述舟体包括横架和纵杆，所述纵杆固定设置于横架壁，且与横架相互垂直；所述横架下方设置有舟座，所述舟座有两个，且之间的距离小于舟架的宽度。本实用新型可适用多种不同扩散炉内的石英舟架，便于生产；方块电阻对比和效率较高。
一种石英

[实用新型]一种耳舟矫正片及带矫正片的矫正装置-CN202022684097.6有效
发明人：殷传伦 -专利权人：殷传伦
申请日： 2020-11-19 - 公布日： 2021-12-07 - 主分类号： A61F5/01 文献下载
摘要：本发明公开一种耳舟矫正片，所述耳舟矫正片为弧形块，耳舟矫正片安装于耳舟处，耳舟矫正片的长边轮廓与耳轮的内轮廓相适配，耳舟矫正片的短边轮廓与耳舟的轮廓相适配。
一种矫正装置

[实用新型]舟托及石墨舟定位装置-CN202222964237.4有效
发明人：钟志安;黄政;林博辉;周辉;丁岩;张河;蒋文彬;高云峰 -专利权人：大族激光科技产业集团股份有限公司;深圳市大族光伏装备有限公司
申请日： 2022-11-04 - 公布日： 2023-08-04 - 主分类号： C23C16/458 文献下载
摘要：本申请公开了一种舟托及石墨舟定位装置，舟托包括底托，底托设有多个承载区，各承载区用于承载石墨舟。本申请的舟托能够一次性承载多个石墨舟，有利于提升石墨舟定位装置的定位效率。
石墨定位装置

[发明专利]一种基于双桨的小舟运输结构-CN202011263216.9在审
发明人：甘新荣;林佳继;刘群;朱太荣;林依婷 -专利权人：深圳市拉普拉斯能源技术有限公司
申请日： 2019-10-23 - 公布日： 2021-02-23 - 主分类号： C23C16/458 文献下载
摘要：本发明公开了一种基于双桨的小舟运输结构，包括小舟、舟托和舟桨；小舟设置在舟托上，舟桨设置在舟托下；舟托包括立板、侧板，立板和侧板包围形成舟托；舟桨包括固定舟托的固定部和连接其控制设备的稳固部；本发明提供了一种结构简单
一种基于小舟运输结构

[发明专利]一种管式PECVD设备石墨舟电极引入装置-CN201711382216.9有效
发明人：张春成;成秋云;吴德轶;李晔纯;张弥涛;李明 -专利权人：湖南红太阳光电科技有限公司
申请日： 2017-12-20 - 公布日： 2020-04-03 - 主分类号： C23C16/507 文献下载
摘要：本发明公开了一种管式PECVD设备石墨舟电极引入装置，包括安装于石墨舟上的石墨舟脚和用于支撑石墨舟的支撑组件，所述支撑组件上设置有与石墨舟脚相对应的石墨舟座，所述石墨舟座通过一连接组件与石墨舟电极杆电连接本发明的管式PECVD设备石墨舟电极引入装置具有对电极效率高以及可靠性高等优点。
一种 pecvd 设备石墨电极引入装置

[发明专利]一种石英舟检测装置及检测方法-CN201110030127.4有效
发明人：王硕;许忠义 -专利权人：上海宏力半导体制造有限公司
申请日： 2011-01-27 - 公布日： 2011-09-07 - 主分类号： G01B5/30 文献下载
摘要：一种石英舟检测装置及检测方法，其中所述装置包括：检测部，与石英舟外周匹配；支撑部，与检测部连接，且支撑所述检测部；所述方法，包括如下步骤：握持支撑部；将检测部夹于石英舟外周，如检测部与石英舟完全匹配，则石英舟未变形；如检测部与石英舟不匹配，则石英舟变形。本发明提供的石英舟检测装置及检测方法，通过比较检测装置的检测部与石英舟外周的匹配程度，不会损伤或污染石英舟凹槽，并可以快速判断出石英舟是否变形，提高了工作效率。
一种石英检测装置方法

[发明专利]一种避免PECVD工序中石墨舟印的处理工艺-CN201910751913.X在审
发明人：朱海荣;彭平;夏中高;李旭杰;杨雄磊 -专利权人：平煤隆基新能源科技有限公司
申请日： 2019-08-15 - 公布日： 2019-11-15 - 主分类号： B08B5/02 文献下载
摘要：本发明涉及硅太阳能电池制造技术领域，尤其涉及一种避免PECVD工序中石墨舟印的处理工艺，包括以下步骤：将存放时间超过4小时的石墨舟搬运至管式PECVD机台，对石墨舟进行洗舟工艺加载，洗舟工艺步骤为：开始、进舟、抽真空、吹扫、抽真空、检漏、抽真空、恒温、恒压、淀积一、抽真空、吹扫、淀积二、抽真空、吹扫、抽真空、充氮、取舟、结束，将运行过洗舟工艺后的石墨舟从炉管中取出后，按正常工艺流程装载硅片，运行镀膜工艺，本发明利用电离氨气对长时间存放的石墨舟在管式PECVD机台上运行洗舟工艺进行处理，处理后的石墨舟装载硅片后镀膜不会出现硅片污染导致的EL石墨舟印。
石墨舟抽真空吹扫硅片淀积管式装载硅太阳能电池氨气机台处理工艺镀膜工艺工艺步骤硅片污染工艺流程电离充氮镀膜恒压加载检漏炉管搬运取出制造

[发明专利]石英舟清洗机-CN202110342084.7在审
发明人：钱诚;李刚;霍召军 -专利权人：亚电科技（苏州）有限公司
申请日： 2021-03-30 - 公布日： 2021-07-30 - 主分类号： B08B3/02 文献下载
摘要：本发明公开了一种石英舟清洗机，包括石英舟清洗槽、水箱、机架和底板，所述水箱置于底板上，所述石英舟清洗槽置于水箱上，并与水箱相连接，所述机架安装在底板上，所述石英舟清洗槽和水箱均位于机架内。本发明中，石英舟清洗槽能用于容纳石英舟，并对石英舟进行清洗，且水箱能为石英舟清洗槽供应清洗液，来方便石英舟清洗槽中清洗的进行，底板的设置能为石英舟清洗槽和水箱起支撑作用，而机架能对石英舟清洗槽和水箱起一定的保护作用由此，本发明的石英舟清洗机能方便石英舟的清洗，清洗效率高，市场竞争力强，适合大规模生产需要要求。
石英清洗

[发明专利]石墨舟搬运控制方法、装置、电子设备及存储介质-CN202111219628.7在审
发明人：黄勤;钟健;李春峰;张浩;熊苏 -专利权人：通威太阳能(成都)有限公司
申请日： 2021-10-20 - 公布日： 2022-01-04 - 主分类号： C23C14/56 文献下载
摘要：本申请提供一种石墨舟搬运控制方法、装置、电子设备及存储介质，涉及石墨舟镀膜技术领域，该方法包括：在机械手将石墨舟运送到设定安全位置时，控制炉管提前回压并打开炉门；控制所述机械手将所述石墨舟放置在舟桨上，并退回至所述设定安全位置；将所述舟桨运送至炉管，以进行石墨舟镀膜加工工艺；在所述石墨舟镀膜加工工艺完成时，控制所述机械手运行至所述设定安全位置；基于所述舟桨的位置信息控制所述机械手运行至舟桨位置抓取所述石墨舟，并将所述石墨舟存放至预定位置。能够解决目前石墨舟镀膜工艺产能降低的问题。
石墨搬运控制方法装置电子设备存储介质

[发明专利]一种石墨舟的洗烘镀方法及系统-CN202310014082.4在审
发明人：王亚楠;曹程 -专利权人：通威太阳能（眉山）有限公司
申请日： 2023-01-05 - 公布日： 2023-04-11 - 主分类号： C04B41/81 文献下载
摘要：本申请提供一种石墨舟的洗烘镀方法及系统，该方法包括：控制第一运载工具将位于车间的目标石墨舟搬运到舟房；在舟房，驱动第二运载工具将目标石墨舟在各维护装置之间运输，对目标石墨舟进行洗烘镀；洗烘镀结束后，驱动第一运载工具将目标石墨舟从舟房搬运到车间本申请中，在对石墨舟进行洗烘镀操作时是通过使用运载工具将石墨舟搬运至相应的维护装置处的，这极大地提升了对石墨舟的搬运效率，极大了节省了人力。除此之外，本申请中，在舟房及车间内设置专用的运载工具对石墨舟进行搬运的方式，充分提升了车间的洁净度。
一种石墨洗烘镀方法系统