专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [实用新型]一种PECVD双电极连接结构-CN202021091405.8有效
  • 王俊朝;寇宗和;张晋钦;常红旺 - 深圳市大族光伏装备有限公司
  • 2020-06-12 - 2021-06-01 - C23C16/50
  • 本实用新型公开一种PECVD双电极连接结构,包括第一A电极、第二A电极、A电极连接块、B电极耳连接块、第一B电极、第二B电极、B、A、炉门,所述第一A电极从炉门引入一直延伸至A的末端并且与A末端的脚相连接,所述第二A电极从炉门引入延伸至A的前端并且与A前端的脚相连接;所述第一B电极从炉尾引入延伸至所述B的末端并且与B末端的下耳相连接,第二B电极从炉尾引入延伸至所述B的末端并且与B末端的上耳相连接。该种PECVD双电极连接结构通过双工艺的特殊双电极结构设计,巧妙的使单分为双,避免了单过长而导致的镀膜不均匀问题。
  • 一种pecvd电极连接结构
  • [发明专利]分体式电镀装置-CN202311119798.7在审
  • 冯华;程强强;李盛助;刘伟;李更力 - 无锡釜川科技股份有限公司
  • 2023-09-01 - 2023-10-03 - C25D17/08
  • 本发明公开了一种分体式电镀装置,包括:阳极电镀,阳极电镀包括多个第一阳极叶和多个第二阳极叶,第一阳极叶、第二阳极叶间隔设置且相互平行;阴极电镀,阴极电镀包括相互平行设置的多个阴极叶,阴极叶上安装有电池片;电镀时,阴极电镀与阳极电镀插装配合。阳极电镀、阴极电镀分体式的设计,在电镀操作时,阳极电镀始终位于电镀槽内,机械手只需要将阴极电镀抓起插入阳极电镀内即可,可以降低机械手的负载。将第一阳极叶、第二阳极叶间隔设置,阴极叶插入第一阳极叶、第二阳极叶之间,使得一个阳极叶能够被两片电池片所共用,可以提高阳极叶的利用率,有利于节约成本、降低能耗。
  • 体式电镀装置
  • [发明专利]组件和半导体工艺设备-CN202310272846.X在审
  • 周振溪;闫志顺;侯鹏飞;赵福平;杨来宝;郑建宇;李补忠 - 北京北方华创微电子装备有限公司
  • 2023-03-20 - 2023-06-09 - C23C16/458
  • 本发明提供一种晶组件,包括多个晶,至少一个晶的出侧底部具有前导电脚,至少一个晶的入侧底部具有后导电脚,前导电脚的顶部具有接触凸起,后导电脚的底部具有接触凹槽,相邻两个晶中位于出侧的晶进入工艺腔室中时,其后导电脚的接触凹槽能够与位于入侧的晶的前导电脚的接触凸起接触,以将相邻两个晶电连接。本发明通过后导电脚与前导电脚搭接的方式将相邻晶电连接,无需在工艺腔室的开口处设置电极,保证了半导体工艺效果,且前导电脚及后导电脚可随晶取出并单独进行清洁维护,在对晶进行维护时无需停机,提高了半导体工艺设备的维护效率
  • 组件半导体工艺设备
  • [实用新型]自动装、压、推型粉末冶金生产系统-CN201921641210.3有效
  • 刘登海 - 刘登海
  • 2019-09-29 - 2020-09-22 - B22F3/10
  • 本实用新型涉及粉末冶金技术领域,公开一种自动装、压、推型粉末冶金生产系统,包括用于放置空完成装操作的工作台,工作台上依次设有空容纳区、装料区和压区,空容纳区设置在工作台首端且横亘工作台宽度方向,工作台首端还设有用于将空容纳区的空推送至装料区的推送装置,装料区设于空容纳区末端,工作台在装料区上方安装有可向推送过来的空装料的放料装置,压区设有对装料后的进行压料的压装置。本生产系统只需人工向空容纳区补充空即可通过推送装置持续将空前推,实现装、压的连续自动运行;推装置确保了进冶炼炉烧结的安全高效,无需人工参与,整体实现装、压和推的自动、高效进行。
  • 自动压舟推舟型粉末冶金生产系统
  • [实用新型]一种金属移载机构-CN202120128214.2有效
  • 周军;戴秋喜;潘加永;刘光照 - 苏州映真智能科技有限公司
  • 2021-01-18 - 2021-09-28 - B65G47/52
  • 本实用新型公开了一种金属移载机构,包括机架和机械臂,在机架上安装有主轨道、副轨道、交互平台和移载模组,所述机械臂转移前道工序的金属至所述交互平台上,或转移交互平台上的金属至后道工序;所述移载模组在所述交互平台、主轨道及副轨道之间转移金属;金属在所述主轨道、副轨道上输入至工艺处理工位或自工艺处理工位输出。该金属移载机构,结构紧凑,占用空间小,通过所述移载模组、交互平台实现了金属在机械臂、主轨道及副轨道之间的移载搬运,使ALD工序中太阳能电池片的上下料非常便利,整个移载过程无需人工操作,提高了太阳能电池片转移效率并可有效防止太阳能电池片的损坏
  • 一种金属舟移载机构
  • [发明专利]一种自动化定制镀膜拍-CN202210448747.8在审
  • 刘海林;张进;王博平 - 江苏龙恒新能源有限公司
  • 2022-04-27 - 2022-07-15 - C23C16/54
  • 本发明公开了一种自动化定制镀膜拍器,包括托运输台,托运输台上设有用于使石墨移动运输的托轨道,托运输台靠近托轨道的位置设有用于对石墨进行拍的拍板,托运输台上设有用于支撑托版的支撑顶板,拍板上设有用于对拍板进行驱动的驱动单元、用于保护石墨晃动的托护单元和用于对拍器晃动产生碎屑进行掉片检测的拦挡单元,旨在取消人工拍的作业方式,安装定制拍器,增加掉片检测和收集,自动化主机台与自动拍机构联动,实现自动拍、系统的全自动化循环功能,有效减少漏拍、拍不及时等造成的产能、良率的影响。
  • 一种自动化定制镀膜拍舟器
  • [实用新型]一种改善氧化硅均匀性的晶-CN201721252693.9有效
  • 朱华君;张召;王智 - 上海华力集成电路制造有限公司
  • 2017-09-27 - 2018-05-15 - H01L21/673
  • 本实用新型提供了一种改善氧化硅均匀性的晶,包括环形和梯形,所述环形和梯形均为所述晶的水平支撑环;所述晶由下到上依次设置至少一个梯形和至少一个环形;所述梯形包括内径略小于装载晶圆的半径的梯形水平支撑环;所述环形包括环形水平支撑环和设置于所述环形水平支撑环上表面的石英环形支撑件。本实用新型的晶的上半部分为环形,可以改善梯形顶端膜厚均匀性差的问题;下半部分设计为梯形,优化了环形底端膜厚的均匀性;这样将梯形与环形结合起来,解决了气体由下往上,由边缘向中心扩散导致的硅片均匀性差的问题
  • 一种改善氧化均匀
  • [实用新型]一种自动化定制镀膜拍-CN202220985336.8有效
  • 刘海林;张进;王博平 - 江苏龙恒新能源有限公司
  • 2022-04-27 - 2022-08-23 - C23C16/54
  • 本实用新型公开了一种自动化定制镀膜拍器,包括托运输台,托运输台上设有用于使石墨移动运输的托轨道,托运输台靠近托轨道的位置设有用于对石墨进行拍的拍板,托运输台上设有用于支撑托版的支撑顶板,拍板上设有用于对拍板进行驱动的驱动单元、用于保护石墨晃动的托护单元和用于对拍器晃动产生碎屑进行掉片检测的拦挡单元,旨在取消人工拍的作业方式,安装定制拍器,增加掉片检测和收集,自动化主机台与自动拍机构联动,实现自动拍、系统的全自动化循环功能,有效减少漏拍、拍不及时等造成的产能、良率的影响。
  • 一种自动化定制镀膜拍舟器
  • [实用新型]一种双炉门进出装置-CN201220458389.0有效
  • 卢国普;左才坤 - 株洲迪远硬质合金工业炉有限公司
  • 2012-09-10 - 2013-03-13 - F27D3/12
  • 本实用新型涉及一种推进式冶金工业炉附属装置,它由输送轨道、进机构、炉管、炉体和出机构组成,进机构由进升降机构、一级进器、二级进器、三级进器、进内炉门、进过渡仓、进外炉门组成;出机构由出升降机构、出过渡仓、一级出器、二级出器、出外炉门、出内炉门组成。本实用新型由传统手动操作转化为全自动控制,实现更高的自动化进出方式,一次性在轨道上可装多个舟皿和卸多个舟皿,进、出在一条循环的轨道上进行,减少人工装卸的劳动强度与辅助时间。由于采用了进双炉门和出双炉门,将炉内工艺气体与大气完全隔离。本实用新型结构简单,制造成本比上述进口炉全自动进出方式大为降低。
  • 一种炉门进出装置
  • [实用新型]一种双炉门进出装置-CN201220516417.X有效
  • 卢国普;左才坤 - 株洲迪远硬质合金工业炉有限公司
  • 2012-10-10 - 2013-03-27 - F27D3/12
  • 本实用新型涉及一种推进式冶金工业炉附属装置,具体为一种双炉门进出装置,它由进轨道、进机构、炉管、炉体、出轨道和出机构组成,进机构由一级进器、二级进器、进内炉门、进过渡仓、进外炉门组成;出机构由出过渡仓、一级出器、二级出器、出外炉门、出内炉门组成。本实用新型由传统手动操作转化为全自动控制,实现更高的自动化进出方式,一次性在轨道上可装多个舟皿和卸多个舟皿,进、出在一条循环的轨道上进行,减少人工装卸的劳动强度与辅助时间。由于采用了进双炉门和出双炉门,将炉内工艺气体与大气完全隔离。本实用新型描述的进出装置,结构简单,制造成本比上述进口炉全自动进出方式大为降低。
  • 一种炉门进出装置
  • [实用新型]一种太阳能电池扩散用的石英-CN201620963362.5有效
  • 王冕;吴秀丽;陈文浩;刘仁中 - 奥特斯维能源(太仓)有限公司
  • 2016-08-26 - 2017-02-22 - H01L21/673
  • 本实用新型公开了一种太阳能电池扩散用的石英叉,包括叉杆,所述叉杆包括相连接的叉柄和叉杆本体,所述叉柄上设置有外螺纹,所述叉柄上套设有靠近所述叉杆本体设置的外形呈多边形的多边形螺母,所述叉杆本体上套设有石英套管,所述石英套管的一端部与所述多边形螺母的一侧部相接触,所述石英套管的外表面设置有多个半圆球状的凸起;与所述石英叉相配合的石英的插管上开设有通孔,当所述石英叉插入所述插管时,所述凸起卡入所述通孔中该太阳能电池扩散用的石英叉,能够避免石英叉搬运石英时意外滑落、石英叉放置于桌面时滚动等问题。
  • 一种太阳能电池扩散石英舟舟叉

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