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[实用新型]一种可适用于多管反应室的进出舟装置-CN202123394173.0有效
发明人：曾昭贤;成秋云;李晔纯;田湘龙 -专利权人：湖南红太阳光电科技有限公司
申请日： 2021-12-29 - 公布日： 2022-07-15 - 主分类号： F27D3/12 文献下载
摘要：本实用新型公开了可适用于多管反应室的进出舟装置，包括用于装载载料舟的装载机构、竖直运动模组及用于驱动装载机构进出反应室的水平运动模组，所述水平运动模组通过第一调节机构与竖直运动模组连接，所述第一调节机构用于调整水平运动模组靠近或远离竖直运动模组。本实用新型具有结构简单、制造成本较低、能在多管反应室之间进出舟的优点。
一种适用于反应进出装置

[实用新型]一种用于LPCVD设备的反应腔室-CN202220041139.0有效
发明人： 李晔纯;成秋云;郭艳 -专利权人：湖南红太阳光电科技有限公司
申请日： 2022-01-07 - 公布日： 2022-07-15 - 主分类号： C23C16/44 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种用于LPCVD设备的反应腔室，包括炉管、炉门和法兰，炉管、炉门和法兰均为金属材质，炉管的一端设有炉口，法兰安装在炉管两端，法兰与炉门相对的端面开设有用于安装密封件的密封槽，炉门与法兰通过密封件密封连接。本实用新型具有易安装、密封性好、经久耐用、维护成本低等优点。
一种用于 lpcvd 设备反应

[发明专利]一种PECVD设备的氮气辅助加热方法及装置-CN201911173929.3有效
发明人： 李晔纯;张弥涛;张春成;李明;罗志敏 -专利权人：湖南红太阳光电科技有限公司
申请日： 2019-11-26 - 公布日： 2022-05-03 - 主分类号： C23C16/46 文献下载
摘要：本发明公开了一种PECVD设备的氮气辅助加热方法，包括：S01、在往工艺腔体内通入氮气前，检测工艺腔体内的温度；S02、根据工艺腔体内的温度值确定是否对氮气进行加热；在温度未达到设定值时，对氮气进行加热后再通入至工艺腔体内，以提高工艺腔体内的温度。本发明还公开了一种氮气辅助加热装置，包括氮气加热器和主管道，主管道上设置有主开关和直通开关，氮气加热器的进气口与直通开关的输入端相连，氮气加热器的出气口与直通开关的输出端相连；氮气加热器的出气口设置有氮气温度检测件，氮气加热器根据工艺腔体内温度与氮气温度检测件检测的氮气温度之间的偏差调整加热功率。本发明的方法及装置均具有加热效率高等优点。
一种 pecvd 设备氮气辅助加热方法装置

[实用新型]一种可调节翘曲角度的推舟装置-CN202122391298.1有效
发明人：曾昭贤;成秋云;李晔纯;郭艳;朱恒 -专利权人：湖南红太阳光电科技有限公司
申请日： 2021-09-29 - 公布日： 2022-04-29 - 主分类号： H01L21/677 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种可调节翘曲角度的推舟装置，包括：推舟背板、背板升降机构、翘曲角度调节机构和推舟桨，推舟背板上设有滑动座，滑动座上设有用于驱动推舟桨沿水平方向上下摆动的翘曲角度调节机构；推舟桨包括柄部、承载部和固定板，柄部的一端与承载部连接，柄部的另一端与固定板连接；所述翘曲角度调节机构上设有用于调节承载部翘曲角度的调节机构，调节机构包括凸轮组件、凸轮驱动组件和调节板，调节板分别与凸轮组件和固定板连接，在凸轮驱动组件的驱动下，凸轮组件带动调节板沿水平方向上下摆动，以实现承载部翘曲角度调节。本实用新型具有结构紧凑、运行可靠、易于控制等优点，有效避免了推舟桨与石英炉管反应室发生碰撞。
一种调节角度装置

[发明专利]一种连续式PECVD设备-CN201911413582.5有效
发明人：郭艳;成秋云;吴得轶;李明;李晔纯 -专利权人：湖南红太阳光电科技有限公司
申请日： 2019-12-31 - 公布日： 2021-12-24 - 主分类号： C23C16/54 文献下载
摘要：本发明公开了一种连续式PECVD设备，所述包括载料板、进料平台、反应腔体和出料平台，反应腔体包括依次连接的装载腔、预热腔、工艺腔和卸载腔，装载腔的进料口设有第一隔断阀门，预热腔的的进料口设有第二隔断阀门，预热腔与工艺腔相通，工艺腔的出料口设有第三隔断阀门，卸载腔的出料口设有第四隔断阀门，进料平台设于装载腔的进料口，出料平台设于卸载腔的出料口，进料平台、装载腔、预热腔、工艺腔、卸载腔和出料平台上均设有用于传输载料板的传输机构，载料板用于承载石墨舟，预热腔和工艺腔均设有加热装置，工艺腔连有进气系统。本发明具有缩短了工艺时间、大幅提升了设备产能的优点。
一种连续 pecvd 设备

[发明专利]可抓取多个石墨舟的机械手及机械手的抓取方法-CN202010397810.0有效
发明人：朱辉;成秋云;李晔纯;张春成;赵志然;吴得轶 -专利权人：湖南红太阳光电科技有限公司
申请日： 2020-05-12 - 公布日： 2021-10-26 - 主分类号： B25J15/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种可抓取多个石墨舟的机械手及机械手的抓取方法，机械手包括多个安装主体，安装主体包括安装座、上固定座、下伸缩座，安装座可升降的设在净化台上，上固定座与安装座固定连接，下伸缩座可移动的设在上固定座的下端面，各安装主体中，头尾两端的安装主体上各设一个托盘组件，中间的每个安装主体上设置两个托盘组件，托盘组件可移动的设在下伸缩座上，相邻两个安装主体上的托盘组件构成一对。方法包括：石墨舟到位、机械手抓取舟、机械手将舟放在上下料桨上或先将舟放在缓存架上在放在上下料桨上、送舟入室、取舟出室、机械手取舟放缓存架上、机械手取舟放回初始位置。本发明的机械手一次可抓取多个石墨舟，提高了产能。
抓取石墨机械手方法

[实用新型]一种预热型管式PECVD设备-CN202020457507.0有效
发明人：郭艳;曾昭贤;李晔纯;李明;成秋云;吴得轶 -专利权人：湖南红太阳光电科技有限公司
申请日： 2020-04-01 - 公布日： 2021-03-23 - 主分类号： C23C16/46 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种预热型管式PECVD设备，该设备包括上料滑台、净化台、炉体柜、气源柜、真空泵以及下料滑台，所述净化台用来完成基片及其载具从上料滑台、下料滑台到炉体柜内炉体反应室之间的输运，所述净化台包括依次相连的预热传送区、载具传输区及冷却区，所述预热传送区与一个以上的预热腔相连通，所述预热腔用于完成基片及其载具由室温到设定温度值的升温过程送入所述预热传送区，然后经载具传输区送入炉体柜进行恒温、镀膜工艺，最后经冷却区进行冷却作业后送至下料滑台。本实用新型具有结构简单、布局合理、能够提高整机效率等优点。
一种预热型管式 pecvd 设备

[发明专利]一种高温设备的净化台-CN201910019668.3有效
发明人：张弥涛;李明;李晔纯;谭瞻;张春成 -专利权人：湖南红太阳光电科技有限公司
申请日： 2019-01-09 - 公布日： 2020-07-10 - 主分类号： H01L31/18 文献下载
摘要：本发明公开了一种高温设备的净化台，包括主框架、碳化硅桨、碳化硅桨运动模组和插片机对接机构，碳化硅桨运动模块组包括Z轴移动模块、Y轴移动模块和X轴伸缩模块，Z轴移动模块安装在主框架上，Y轴移动模块可移动的安装在Z轴移动模块上，X轴伸缩模块可移动的安装在Y轴移动模块上，碳化硅桨安装于X轴伸缩模块的伸出端，插片机对接机构包括对接导轨和可与碳化硅桨对接的支撑架，支撑架可移动的设于对接导轨上，对接导轨设于主框架的底部，支撑架与对接导轨之间设有用于避让碳化硅桨的对接避让区。本发明具有空间紧凑、互换性高、产能高、成本低的优点。
一种高温设备净化

[实用新型]一种管式PECVD净化台设备-CN201922122328.1有效
发明人：周佑丞;张春成;李晔纯;成秋云;吴得轶 -专利权人：湖南红太阳光电科技有限公司
申请日： 2019-11-29 - 公布日： 2020-07-10 - 主分类号： C23C16/458 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种管式PECVD净化台设备，包括主框架、上下料系统、输送滑台和缓存架，缓存架设于主框架内，且缓存架包括多层用于存放石墨舟的缓存位，主框架对应每层缓存位设有反应炉对接窗口，输送滑台设于主框架的底部用于输送石墨舟进出主框架，上下料系统包括三轴移动模组和设于三轴移动模组上的托舟机构，三轴移动模组用于驱动托舟机构与输送滑台对接、用于驱动托舟机构与各缓存位对接以及用于驱动托舟机构穿过反应炉对接窗口进出对应的反应炉内。本实用新型仅通过一个三轴上下料系统，可实现PECVD设备石墨舟进出反应炉、缓存架及输送滑台全部动作，简化了设备结构的复杂性，优化了设备内部操作空间布局，提升石墨舟传送速度。
一种 pecvd 净化设备

[实用新型]光伏电池镀膜反应炉-CN201921867129.7有效
发明人： 李晔纯;成秋云;罗志敏;张弥涛 -专利权人：湖南红太阳光电科技有限公司
申请日： 2019-10-31 - 公布日： 2020-07-10 - 主分类号： C23C16/50 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种光伏电池镀膜反应炉，包括加热炉体，加热炉体的一端具有炉口，炉口处设有法兰组，法兰组内设有多个进气管道，进气管道的一端从法兰组的周侧伸出、另一端伸入加热炉体内且连接有分流气管，分流气管沿着加热炉体的轴向设于加热炉体内，且各分流气管环绕加热炉体的中心轴阵列分布，分流气管朝向加热炉体中心轴的一侧设有多个分流孔，多个分流孔沿分流气管的轴向间隔分布。该光伏电池镀膜反应炉能够避免反应气体进入加热炉体后，造成加热炉体内沿轴向出现温差，影响加热炉体内温度的均匀性，导致镀膜厚度不均匀、工作效率降低的现象发生。
电池镀膜反应炉

[发明专利]一种预热型管式PECVD设备及其控制方法-CN202010250820.1在审
发明人：郭艳;曾昭贤;李晔纯;李明;成秋云;吴得轶 -专利权人：湖南红太阳光电科技有限公司
申请日： 2020-04-01 - 公布日： 2020-06-05 - 主分类号： C23C16/46 文献下载
摘要：本发明公开了一种预热型管式PECVD设备及其控制方法，该设备包括上料滑台、净化台、炉体柜、气源柜、真空泵以及下料滑台，所述净化台用来完成基片及其载具从上料滑台、下料滑台到炉体柜内炉体反应室之间的输运，所述净化台包括依次相连的预热传送区、载具传输区及冷却区，所述预热传送区与一个以上的预热腔相连通，所述预热腔用于完成基片及其载具由室温到设定温度值的升温过程送入所述预热传送区，然后经载具传输区送入炉体柜进行恒温、镀膜工艺，最后经冷却区进行冷却作业后送至下料滑台。该控制方法基于上述设备来实施。本发明具有结构简单、布局合理、能够提高整机效率等优点。
一种预热型管式 pecvd 设备及其控制方法

[发明专利]一种制备异质结电池薄膜的PECVD设备-CN201911421169.3在审
发明人： 李晔纯;郭艳;成秋云;吴得轶 -专利权人：湖南红太阳光电科技有限公司
申请日： 2019-12-31 - 公布日： 2020-05-08 - 主分类号： C23C16/458 文献下载
摘要：本发明公开了一种制备异质结电池薄膜的PECVD设备，包括载料板、叠层式载具及依次对接的第一预热腔、第一工艺腔组、第一卸载腔、翻片区、第二预热腔、第二工艺腔组和第二卸载腔，第一工艺腔组包括至少两个依次对接的工艺腔，第二工艺腔组包括至少两个依次对接的工艺腔，各腔体内设有用于传输载料板的传输机构，叠层式载具设于载料板上，叠层式载具包括多层载具片，翻片区内设有出料工位和进料工位，出料工位和进料工位均设有传输机构，进料工位和出料工位之间设有将出料工位上的叠层式载具的载片取出并翻转180°之后再放在进料工位的叠层式载具上的取放片翻转装置。本发明具有设备整体占地面积小、成本低、维护难度小的优点。
一种制备异质结电池薄膜 pecvd 设备

[发明专利]一种管式PECVD设备石墨舟电极引入装置-CN201711382216.9有效
发明人：张春成;成秋云;吴德轶;李晔纯;张弥涛;李明 -专利权人：湖南红太阳光电科技有限公司
申请日： 2017-12-20 - 公布日： 2020-04-03 - 主分类号： C23C16/507 文献下载
摘要：本发明公开了一种管式PECVD设备石墨舟电极引入装置，包括安装于石墨舟上的石墨舟脚和用于支撑石墨舟的支撑组件，所述支撑组件上设置有与石墨舟脚相对应的石墨舟座，所述石墨舟座通过一连接组件与石墨舟电极杆电连接。本发明的管式PECVD设备石墨舟电极引入装置具有对电极效率高以及可靠性高等优点。
一种 pecvd 设备石墨电极引入装置

[发明专利]一种管式真空反应炉-CN201810941107.4在审
发明人： 李晔纯;成秋云;罗志敏;张弥涛 -专利权人：湖南红太阳光电科技有限公司
申请日： 2018-08-17 - 公布日： 2020-02-25 - 主分类号： F27B17/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种管式真空反应炉，包括不锈钢炉管、不锈钢前法兰盘、不锈钢后法兰盘、以及炉门，所述不锈钢炉管前端与所述不锈钢前法兰盘焊接，不锈钢炉管后端与所述不锈钢后法兰盘焊接，所述不锈钢前法兰盘中部开设有供反应物载具进出所述不锈钢炉管的进料孔，所述炉门与所述不锈钢前法兰盘的前端面之间设有密封件，所述不锈钢前法兰盘的后端面焊接有进气管，所述不锈钢后法兰盘的中部开设有抽气孔并于抽气孔处焊接有抽气组件。本发明具有结构简单、安装方便、不易出现漏气等优点。
一种真空反应炉

[发明专利]用于光伏电池镀膜的立式PECVD设备-CN201911052715.0在审
发明人： 李晔纯;成秋云;罗志敏;张弥涛 -专利权人：湖南红太阳光电科技有限公司
申请日： 2019-10-31 - 公布日： 2019-12-27 - 主分类号： C23C16/54 文献下载
摘要：本发明公开了一种用于光伏电池镀膜的立式PECVD设备，包括六轴插取片机器人和硅片过渡传输导轨，还包括三个立式镀膜反应柜，三个立式镀膜反应柜围成C形区域，硅片过渡传输导轨设于C形区域的开口处，六轴插取片机器人设于C形区域内。该用于光伏电池镀膜的立式PECVD设备布局合理、集约程度高、生产效率高以及生产成本低。
镀膜传输导轨光伏电池反应柜硅片六轴取片机器人生产成本低生产效率开口处

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