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- [发明专利]一种搬舟X轴滑板机构-CN202310247949.0在审
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甘新荣;朱太荣;庞爱锁;林佳继
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拉普拉斯新能源科技股份有限公司
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2023-03-07
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2023-06-23
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H01L21/677
- 本发明公开了一种搬舟X轴滑板机构,其包括:滑板基座,设置在搬舟X轴滑板机构的底部;齿条单元设置在滑板基座上,齿条单元用于驱动搬舟X轴滑板机构水平移动;搬舟夹爪单元,用于抓持舟/舟托并带动舟/舟托移动;夹爪驱动单元设置在滑板基座上,且夹爪驱动单元与搬舟夹爪连接,夹爪驱动单元用于采用钢丝驱动搬舟夹爪单元;固定单元设置在滑板基座上,固定单元用于连接其他机构。本发明中的夹爪驱动单元采用钢丝绳来传递驱动力,使夹爪驱动单元能够为搬舟夹爪单元提供稳定的驱动力,夹爪驱动单元可以稳定的抓持和移动舟/舟托,从而使硅片的加工工艺不会受到影响,保证硅片的加工质量。
- 一种滑板机构
- [实用新型]一种硅片加工设备-CN202123262174.X有效
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庞爱锁;林佳继;甘新荣
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深圳市拉普拉斯能源技术有限公司
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2021-12-23
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2022-09-06
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H01L21/677
- 本实用新型公开了一种硅片加工设备,包括转运机构、插卸片机构以及至少一组主机,转运机构和插卸片机构与主机并列排布,主机包括净化台、炉体柜和气柜,转运机构控制承载装置在主机以及插卸片机构间的流转,转运机构包括中转机构、升降机构和传输机构,中转机构用于接驳装载已工艺或未工艺硅片的承载装置,承载装置的长度方向与传输机构的传输方向垂直或近似垂直,本实用新型中转运机构和插卸片机构与主机平行设置,主机通过横向将承载装置移动至转运机构,相较于现有的直线型排布方式,减少了空间浪费,且承载装置的距离更短,缩短了承载装置的传输时间,本实施例的硅片加工设备,占地面积小,单位面积产能大。
- 一种硅片加工设备
- [实用新型]一种转运装置-CN202123263858.1有效
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林佳继;庞爱锁;甘新荣
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深圳市拉普拉斯能源技术有限公司
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2021-12-23
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2022-09-06
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H01L21/677
- 本实用新型公开了一种转运装置,包括中转机构、升降机构和传输机构,中转机构用于接驳装载已工艺或未工艺硅片的承载装置,传输机构控制承载装置在中转机构以及升降机构间的横向流转,承载装置的长度方向与传输机构的传输方向垂直或近似垂直,本实用新型中转运机构和插卸片机构与主机平行设置,主机通过横向将承载装置移动至转运机构,相较于现有的直线型排布方式,减少了空间浪费,且承载装置的距离更短,缩短了承载装置的传输时间,本实施例的硅片加工设备,占地面积小,单位面积产能大,尤其适合高产能,多管数的硅片加工设备。
- 一种转运装置
- [实用新型]一种多列式的舟结构-CN202122907620.1有效
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林佳继;朱太荣;甘新荣;石森
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深圳市拉普拉斯能源技术有限公司
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2021-11-25
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2022-06-14
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H01L21/673
- 本实用新型公开了一种多列式的舟结构,包括盖板、底板、支撑装置以及至少一组的承载装置,盖板和底板通过支撑装置连接,承载装置安装在盖板和底板之间,盖板、底板、支撑装置以及承载装置形成放置晶片的放置腔,本实用新型通过承载装置将总腔体分隔成若干放置腔,形成多列式的舟结构,可承载更多晶片,舟结构的空间利用率更高,本实用新型的盖板与底板优选平行设置,实现尽可能的最大化提供放置晶片的空间,提高了空间利用率;本实用新型通过承载装置将总腔体在左右或前后方向分隔成若干放置腔,若干放置腔的宽度可不同,以放置不同尺寸的晶片,满足不同晶片的需求。
- 一种多列式结构
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