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[发明专利]一种PECVD设备的氮气辅助加热方法及装置-CN201911173929.3有效
发明人：李晔纯;张弥涛;张春成;李明;罗志敏 -专利权人：湖南红太阳光电科技有限公司
申请日： 2019-11-26 - 公布日： 2022-05-03 - 主分类号： C23C16/46 文献下载
摘要：本发明公开了一种PECVD设备的氮气辅助加热方法，包括：S01、在往工艺腔体内通入氮气前，检测工艺腔体内的温度；S02、根据工艺腔体内的温度值确定是否对氮气进行加热；在温度未达到设定值时，对氮气进行加热后再通入至工艺腔体内，以提高工艺腔体内的温度。本发明还公开了一种氮气辅助加热装置，包括氮气加热器和主管道，主管道上设置有主开关和直通开关，氮气加热器的进气口与直通开关的输入端相连，氮气加热器的出气口与直通开关的输出端相连；氮气加热器的出气口设置有氮气温度检测件，氮气加热器根据工艺腔体内温度与氮气温度检测件检测的氮气温度之间的偏差调整加热功率。本发明的方法及装置均具有加热效率高等优点。
一种 pecvd 设备氮气辅助加热方法装置

[发明专利]一种退火炉的加热控制方法及退火炉-CN202010269172.4有效
发明人：朱辉;成秋云;李明;张弥涛;梁浩;石书清 -专利权人：湖南红太阳光电科技有限公司
申请日： 2020-04-08 - 公布日： 2021-09-10 - 主分类号： H01L31/18 文献下载
摘要：本发明公开了一种退火炉的加热控制方法及退火炉。方法主要包括原热源和辅助热源共同加热控制反应室设定温度T0高于工艺温度T1、放入预热后的舟体、反应室抽真空、反应室通入工艺气体、恒温工艺、工艺结束等步骤，通过对原热源、辅助热源控制，实现反应室迅速升温，辅助热源补偿自然散热、炉门打开散热和工艺气体进入的热量补偿，反应室恒温能力更强，有利于提升工艺效果；辅助热源含低功率和额定功率两档，根据反应室的温度自动调节，在保证反应室温度恒定的同时有效节约能源。装置包括炉体、石英管、原热源、辅助热源以及温控装置，增加辅助热源，加热炉丝的加热功率降低，减少炉丝的使用量，降低炉丝的吸热，提升升温速率，提高能量利用率。
一种退火炉加热控制方法

[实用新型]一种快速降温炉体-CN202022823695.7有效
发明人： 张弥涛;吴志明;赵志然;张春成;郭艳 -专利权人：湖南红太阳光电科技有限公司
申请日： 2020-11-30 - 公布日： 2021-07-16 - 主分类号： F27D9/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种快速降温炉体，包括炉壳、保温层、加热层、工艺炉管和两组密封组件，所述加热层套于工艺炉管外，所述保温层套于加热层外，所述炉壳套于保温层外，两组密封组件分设于炉壳的两端，所述加热层与工艺炉管之间设有第一冷却层，所述第一冷却层为铺设在工艺炉管外壁或者内壁上的第一冷却管，所述第一冷却管具有第一冷却入口和第一冷却出口。本实用新型直接在工艺炉管的外壁或者内壁上铺设第一冷却管，对工艺炉管进行降温，在不影响工艺效果的同时具有快速降温功能，提高生产效率，缩短工艺时间，降低了成本。
一种快速降温

[实用新型]一种具有辅助加热装置的退火炉-CN202020528717.4有效
发明人：朱辉;张弥涛;张春成;赵志然;成秋云 -专利权人：湖南红太阳光电科技有限公司
申请日： 2020-04-08 - 公布日： 2020-09-18 - 主分类号： H01L31/18 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种具有辅助加热装置的退火炉，包括炉体、石英管、原热源、辅助热源以及温控装置，原热源为螺旋缠绕在炉体内壁上的加热炉丝，辅助热源位于反应室内，石英管位于炉体内，炉体两端分别设有端盖和炉门，端盖、炉门和石英管围成的封闭区域构成反应室，辅助热源为多个圆弧形加热管，多个圆弧形加热管沿反应室轴向间隔布置，圆弧形加热管的开口朝下。本实用新型在反应室内增加辅助热源，对反应室内的舟体近距离加热，加热炉丝的加热功率降低，减少加热炉丝的使用量，辅助热源为圆弧形加热管或者环形加热管，可根据反应室轴向温度要求沿轴向分布的疏密不同，通过加热管的疏密改变炉体不同温区的温度，有利于更好的控温，提升工艺效果。
一种具有辅助加热装置退火炉

[发明专利]一种管式LPCVD真空反应室-CN201811455572.3有效
发明人：李明;吴德轶;张弥涛;成秋云;张春成 -专利权人：湖南红太阳光电科技有限公司
申请日： 2018-11-30 - 公布日： 2020-08-14 - 主分类号： C23C16/44 文献下载
摘要：本发明公开了管式LPCVD真空反应室，包括炉门、前端法兰、前支撑法兰、前密封组件、加热炉体、后支撑法兰、后密封组件、尾端法兰、内层石英管和外层石英管，加热炉体套于外层石英管上，前支撑法兰和后支撑法兰分别位于外层石英管的两端的外管壁上，前支撑法兰、加热炉体和后支撑法兰三者固定设置，炉门与前端法兰连接，前端法兰盖设于内、外层石英管的前端端口，前端法兰与外层石英管之间通过前密封组件连接，前密封组件固定在前支撑法兰上，尾端法兰设于内、外层石英管的后端，且尾端法兰与外、内层石英管之间通过后密封组件连接，后密封组件固定在后支撑法兰上。本发明具有拆卸维护更加简单、快捷，缩短了维护时间，经济效益显著的优点。
一种 lpcvd 真空反应

[发明专利]一种高温设备的净化台-CN201910019668.3有效
发明人： 张弥涛;李明;李晔纯;谭瞻;张春成 -专利权人：湖南红太阳光电科技有限公司
申请日： 2019-01-09 - 公布日： 2020-07-10 - 主分类号： H01L31/18 文献下载
摘要：本发明公开了一种高温设备的净化台，包括主框架、碳化硅桨、碳化硅桨运动模组和插片机对接机构，碳化硅桨运动模块组包括Z轴移动模块、Y轴移动模块和X轴伸缩模块，Z轴移动模块安装在主框架上，Y轴移动模块可移动的安装在Z轴移动模块上，X轴伸缩模块可移动的安装在Y轴移动模块上，碳化硅桨安装于X轴伸缩模块的伸出端，插片机对接机构包括对接导轨和可与碳化硅桨对接的支撑架，支撑架可移动的设于对接导轨上，对接导轨设于主框架的底部，支撑架与对接导轨之间设有用于避让碳化硅桨的对接避让区。本发明具有空间紧凑、互换性高、产能高、成本低的优点。
一种高温设备净化

[实用新型]光伏电池镀膜反应炉-CN201921867129.7有效
发明人：李晔纯;成秋云;罗志敏;张弥涛 -专利权人：湖南红太阳光电科技有限公司
申请日： 2019-10-31 - 公布日： 2020-07-10 - 主分类号： C23C16/50 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种光伏电池镀膜反应炉，包括加热炉体，加热炉体的一端具有炉口，炉口处设有法兰组，法兰组内设有多个进气管道，进气管道的一端从法兰组的周侧伸出、另一端伸入加热炉体内且连接有分流气管，分流气管沿着加热炉体的轴向设于加热炉体内，且各分流气管环绕加热炉体的中心轴阵列分布，分流气管朝向加热炉体中心轴的一侧设有多个分流孔，多个分流孔沿分流气管的轴向间隔分布。该光伏电池镀膜反应炉能够避免反应气体进入加热炉体后，造成加热炉体内沿轴向出现温差，影响加热炉体内温度的均匀性，导致镀膜厚度不均匀、工作效率降低的现象发生。
电池镀膜反应炉

[实用新型]一种管式加热炉体结构-CN201921415948.8有效
发明人：郭艳;朱晓明;张弥涛;李明;朱辉 -专利权人：湖南红太阳光电科技有限公司
申请日： 2019-08-28 - 公布日： 2020-05-15 - 主分类号： F27D1/10 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种管式加热炉体结构，包括炉壳、外保温层、内保温层、加热炉丝和绝缘子组，绝缘子组包括多个绝缘子，多个绝缘子沿周向均匀卡在加热炉丝上，外保温层套于绝缘子外，炉壳套于外保温层外，外保温层与加热炉丝之间设有环形间隙，多个绝缘子将环形间隙分割成多个弧形区，内保温层包括多个弧形保温层块，弧形保温层块与弧形区一一应，且弧形保温层块位于弧形区内，弧形保温层块为硬性定型结构。本实用新型避免了外保温层直接与加热炉丝接触，防止了当外保温层为软性材料时，会进入加热炉丝的环形面内，影响加热炉丝的散热，极大地改善了加热炉丝的散热环境，有效提高了加热炉丝的实际工作温度，延长了加热炉丝的使用寿命。
一种加热炉结构

[发明专利]一种管式PECVD设备石墨舟电极引入装置-CN201711382216.9有效
发明人：张春成;成秋云;吴德轶;李晔纯;张弥涛;李明 -专利权人：湖南红太阳光电科技有限公司
申请日： 2017-12-20 - 公布日： 2020-04-03 - 主分类号： C23C16/507 文献下载
摘要：本发明公开了一种管式PECVD设备石墨舟电极引入装置，包括安装于石墨舟上的石墨舟脚和用于支撑石墨舟的支撑组件，所述支撑组件上设置有与石墨舟脚相对应的石墨舟座，所述石墨舟座通过一连接组件与石墨舟电极杆电连接。本发明的管式PECVD设备石墨舟电极引入装置具有对电极效率高以及可靠性高等优点。
一种 pecvd 设备石墨电极引入装置

[发明专利]一种管式真空反应炉-CN201810941107.4在审
发明人：李晔纯;成秋云;罗志敏;张弥涛 -专利权人：湖南红太阳光电科技有限公司
申请日： 2018-08-17 - 公布日： 2020-02-25 - 主分类号： F27B17/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种管式真空反应炉，包括不锈钢炉管、不锈钢前法兰盘、不锈钢后法兰盘、以及炉门，所述不锈钢炉管前端与所述不锈钢前法兰盘焊接，不锈钢炉管后端与所述不锈钢后法兰盘焊接，所述不锈钢前法兰盘中部开设有供反应物载具进出所述不锈钢炉管的进料孔，所述炉门与所述不锈钢前法兰盘的前端面之间设有密封件，所述不锈钢前法兰盘的后端面焊接有进气管，所述不锈钢后法兰盘的中部开设有抽气孔并于抽气孔处焊接有抽气组件。本发明具有结构简单、安装方便、不易出现漏气等优点。
一种真空反应炉

[发明专利]用于光伏电池镀膜的立式PECVD设备-CN201911052715.0在审
发明人：李晔纯;成秋云;罗志敏;张弥涛 -专利权人：湖南红太阳光电科技有限公司
申请日： 2019-10-31 - 公布日： 2019-12-27 - 主分类号： C23C16/54 文献下载
摘要：本发明公开了一种用于光伏电池镀膜的立式PECVD设备，包括六轴插取片机器人和硅片过渡传输导轨，还包括三个立式镀膜反应柜，三个立式镀膜反应柜围成C形区域，硅片过渡传输导轨设于C形区域的开口处，六轴插取片机器人设于C形区域内。该用于光伏电池镀膜的立式PECVD设备布局合理、集约程度高、生产效率高以及生产成本低。
镀膜传输导轨光伏电池反应柜硅片六轴取片机器人生产成本低生产效率开口处

[发明专利]一种减压扩散炉尾气冷却装置-CN201711239530.1有效
发明人： 张弥涛;李明;李晔纯;张春成;李斌 -专利权人：湖南红太阳光电科技有限公司
申请日： 2017-11-30 - 公布日： 2019-07-26 - 主分类号： F27D17/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种减压扩散炉尾气冷却装置，包括进气管、石英冷凝瓶、冷凝瓶套组件、进气端盖、抽气端盖、抽气管和冷却系统，石英冷凝瓶位于冷凝瓶套组件内，两端分别通过进气端盖和抽气端盖密封，石英冷凝瓶包括第一腔室、第二腔室和第三腔室，第二腔室套于第一腔室和第三腔室外部，第一腔室与第二腔室连通，第二腔室与第三腔室连通，进气管穿过进气端盖伸入第一腔室内，抽气管穿过抽气端盖伸入第三腔室内，进气管的气流方向与第一腔室内的气流方向相反，抽气管的气流方向与第三腔室内的气流方向相反，冷却系统包括分设于第二腔室和第三腔室内的第一冷却部件和第二冷却部件。本发明可使尾气在小空间内长距离运动，增加尾气与冷却部件的接触面积。
一种减压扩散尾气冷却装置

[发明专利]一种扩散炉炉门装置-CN201610954401.X有效
发明人：李明;吴得轶;张弥涛;谢振勇 -专利权人：湖南红太阳光电科技有限公司
申请日： 2016-10-27 - 公布日： 2019-03-08 - 主分类号： F27D1/18 文献下载
摘要：本发明公开了一种扩散炉炉门装置，包括炉门执行结构、炉门支撑组件、炉门及与炉门连接的内石英门，还包括调节组件，所述调节组件包括调节柱及多个沿调节柱径向布置的延伸臂，所述调节柱安装于所述炉门的中心，相邻两延伸臂之间的夹角相等，延伸臂一端与所述调节柱固定连接，另一端安装有调节件，所述调节件与所述炉门相抵，所述炉门支撑组件一端与炉门执行结构连接，另一端与所述调节柱连接。本发明具有结构简单、调节方便、密封性好等优点。
一种扩散炉门装置

[发明专利]一种由PLC闭环控制的伸缩性滑台装置-CN201610042355.6有效
发明人：李晔纯;张弥涛;谢振勇;张春成 -专利权人：湖南红太阳光电科技有限公司
申请日： 2016-01-22 - 公布日： 2018-09-18 - 主分类号： F27D3/06 文献下载
摘要：一种由PLC闭环控制的伸缩性滑台装置，包括：滑动部件，包括沿着石英舟座运动方向布置的两条线性导轨，分别位于左右两侧的导轨安装板上；用来带着石英舟座运动的滑块滑设于线性导轨上并由驱动部件驱动；驱动部件，包括步进电机和减速机；传动部件，包括左主动轮装配、右主动轮装配、及两根连接杆，连接杆由驱动部件来驱动，并驱动左主动轮装配、右主动轮装配，左主动轮装配、右主动轮装配再分别通过同步带带着左滑块安装板和右滑块安装板及两块安装板上的滑块沿着线性导轨运动，滑块上则安装有石英舟座；PLC控制部件，用来对驱动部件进行控制。本发明具有结构简单紧凑、操作简便、控制精度和可靠性好等优点。
一种 plc 闭环控制伸缩性装置

[实用新型]一种炉体接线排温度控制装置-CN201720166307.8有效
发明人：李明;刘东明;成秋云;张弥涛 -专利权人：湖南红太阳光电科技有限公司
申请日： 2017-02-23 - 公布日： 2017-10-20 - 主分类号： G05D23/20 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种炉体接线排温度控制装置，包括陶瓷片和温度开关，所述温度开关安装于所述陶瓷片的一面上，所述陶瓷片的另一面则安装在炉体接线排上。本实用新型的炉体接线排温度控制装置具有结构简单、电气绝缘性能好等优点。
一种接线温度控制装置

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