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[发明专利]面向IC封装的两自由度气浮精密定位平台-CN200610014876.7无效
发明人：张大卫;张胜泉;赵兴玉;武一民 -专利权人：天津大学
申请日： 2006-07-20 - 公布日： 2007-01-03 - 主分类号： B81C3/00 文献下载
摘要：面向IC封装的两自由度气浮精密定位平台，采用X向直线音圈电机驱动解耦平台，通过气浮解耦机构驱动X向定位平台沿X向运动。Y向定位平台通过Y向气浮导轨与基座连接，X向定位平台置于Y向定位平台上部，通过X向气浮导轨与Y向定位工作台固定。X向定位工作台和气浮解耦机构之间通过解耦联轴连接，气浮解耦机构固定于解耦平台上。定位机构整体采用了气浮技术，降低了系统阻尼，能够有效的提高定位平台的定位精度，并达到较高的速度和加速度。本发明除适用于IC芯片封装外，还可用于MEMS器件的微连接和微组装。
面向 ic 封装自由度精密定位平台

[发明专利]基于平面电机与超磁致伸缩驱动器的精密定位平台-CN200710066654.4无效
发明人：王文;李欣欣;陈子辰 -专利权人：浙江大学
申请日： 2007-01-09 - 公布日： 2007-07-18 - 主分类号： G12B9/10 文献下载
摘要：本发明公开了一种基于平面电机与超磁致伸缩驱动器的精密定位平台。将平面电机底座固定在基座上，平面电机动平台悬浮在平面电机底座上，微运动平台底座固定在平面电机动平台上，在同一块材料一体加工出来的柔性铰链与定位平台固定在微运动平台底座上，X向与Y向超磁致伸缩驱动器的输出杆相互垂直分别紧靠在定位平台的X向与Y向侧面，X向与Y向超磁致伸缩驱动器支座分别固定在微运动平台底座上。本发明能在大范围内实现快速移动，在小范围内实现高精度的位置调整；产生的驱动力大，可用于有较大负载的场合；平面电机采用的是悬浮结构，超磁致伸缩微驱动器驱动的是与柔性铰链一体加工的定位平台，使得整个结构避免了摩擦力的影响
基于平面电机超磁致伸缩驱动器精密定位平台

[发明专利]新型三自由度柔顺并联精密定位平台-CN201810217567.2在审
发明人：田延岭;马越;王福军;卢康康;张大卫 -专利权人：天津大学
申请日： 2018-03-16 - 公布日： 2018-10-02 - 主分类号： G12B9/10 文献下载
摘要：本发明公开一种新型三自由度柔顺并联精密定位平台，精密定位平台为板材线切割一体成型，包括，基体；在基体中央形成有动平台，动平台通过六组并联平行片状柔性铰链机构分别与对应的对称式差动放大机构连接，精密定位平台为轴对称结构有益效果是，整个定位平台为电火花线切割进行整体加工，避免机械装配；采用六个对称式柔性差动放大机构的微定位机构并联，不但能够实现动平台在XY平面内高精度的平动,而且能够实现动平台绕Z轴的转动；压电陶瓷与柔性放大机构接触面呈半圆形接触面避免压电陶瓷承受弯矩和扭矩，防止压电陶瓷破坏；与动平台相连的六组平行片状柔性铰链能够实现微定位机构对动平台X向和Y向平动解耦，提高动平台运动精度。
动平台精密定位平台并联压电陶瓷柔顺微定位机构差动放大片状柔性三自由度对称式平动平行半圆形接触面电火花线切割柔性放大机构轴对称结构定位平台基体中央机构连接机械装配铰链机构一体成型整体加工线切割铰链解耦弯矩转动

[发明专利]一种柔性分散式微球装夹与定位装置-CN201610865216.3有效
发明人：裘祖荣;张然;李浩鹏;王成林;胡文川;苏智琨 -专利权人：天津大学
申请日： 2016-09-29 - 公布日： 2018-09-04 - 主分类号： B23Q3/08 文献下载
摘要：本发明公开了一种柔性分散式微球装夹与定位装置包括夹持及换位系统、换位装卡工作台和视觉检测系统，所述视觉检测系统包括设有显微放大镜头的CCD相机、光源和计算机；所述换位装卡工作台包括相对的左侧移动平台和右侧固定平台，所述右侧固定平台与微球加工机床的装卡单元结构相同，两平台上设有同轴相对的V型槽，各安装一快速夹具；所述夹持及换位系统包括真空抽气系统及结构相同的左夹持器和右夹持器。本发明能够保证微球的轴向定位精度，能够保证微球装卡后，微球中心位置具有较高精度，并且能够保证微球从装夹定位系统转移到加工机床系统中后能保持该位置精度，能够方便地实现工序间的装卡换装。
一种柔性分散式微球装夹定位装置

[实用新型]一种柔性分散式微球装夹与定位装置-CN201621102375.X有效
发明人：裘祖荣;李浩鹏;王成林;胡文川;苏智琨 -专利权人：天津大学
申请日： 2016-09-29 - 公布日： 2017-05-10 - 主分类号： B23Q3/08 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种柔性分散式微球装夹与定位装置包括夹持及换位系统、换位装卡工作台和视觉检测系统，所述视觉检测系统包括设有显微放大镜头的CCD相机、光源和计算机；所述换位装卡工作台包括相对的左侧移动平台和右侧固定平台，所述右侧固定平台与微球加工机床的装卡单元结构相同，两平台上设有同轴相对的V型槽，各安装一快速夹具；所述夹持及换位系统包括真空抽气系统及结构相同的左夹持器和右夹持器。本实用新型能够保证微球的轴向定位精度，能够保证微球装卡后，微球中心位置具有较高精度，并且能够保证微球从装夹定位系统转移到加工机床系统中后能保持该位置精度，能够方便地实现工序间的装卡换装。
一种柔性分散式微球装夹定位装置

[发明专利]一种聚合物超声辅助线性摩擦压印装置及方法-CN202110955855.X在审
发明人：张督;崔良玉;田延岭 -专利权人：天津大学
申请日： 2021-08-19 - 公布日： 2021-11-16 - 主分类号： B29C59/02 文献下载
摘要：本发明公开一种聚合物超声辅助线性摩擦压印装置及方法，压印装置包括压印平台、超声换能器、变幅杆、摩擦压印模具、聚合物薄板、X轴定位平台、Y轴定位平台和Z轴定位平台，所述压印平台的一侧设置有立柱，所述立柱的内侧通过Z轴定位平台连接有支架，所述支架上固定有所述超声换能器，所述超声换能器上设置有变幅杆，所述变幅杆的末端夹持有摩擦压印模具，所述摩擦压印模具的下方从上到下依次设置有聚合物薄板、吸盘、X轴运动平台和Y轴运动平台本发明可以快速高效不产生切屑，加工过程中模具对聚合物压力小，损伤小、不会产生翘曲等，可通过替换模块微杆实现不同深度、宽度的微沟槽的加工。可用于加工复杂结构的微流控芯片等聚合物器件。
一种聚合物超声辅助线性摩擦压印装置方法

[实用新型]一种聚合物超声辅助线性摩擦压印装置-CN202121954704.4有效
发明人：张督;崔良玉;田延岭 -专利权人：天津大学
申请日： 2021-08-19 - 公布日： 2022-03-29 - 主分类号： B29C59/02 文献下载
摘要：本实用新型公开一种聚合物超声辅助线性摩擦压印装置，包括压印平台、超声换能器、变幅杆、摩擦压印模具、聚合物薄板、X轴定位平台、Y轴定位平台和Z轴定位平台，所述压印平台的一侧设置有立柱，所述立柱的内侧通过Z轴定位平台连接有支架，所述支架上固定有所述超声换能器，所述超声换能器上设置有变幅杆，所述变幅杆的末端夹持有摩擦压印模具，所述摩擦压印模具的下方从上到下依次设置有聚合物薄板、吸盘、X轴运动平台和Y轴运动平台本实用新型可以快速高效不产生切屑，加工过程中模具对聚合物压力小，损伤小、不会产生翘曲等，可通过替换模块微杆实现不同深度、宽度的微沟槽的加工。可用于加工复杂结构的微流控芯片等聚合物器件。
一种聚合物超声辅助线性摩擦压印装置

[发明专利]一种宏微双驱动精密定位平台及其控制方法-CN201811236256.7在审
发明人：徐彬;汪利萍;姜志;陈明亮 -专利权人：安徽理工大学
申请日： 2018-10-23 - 公布日： 2019-01-18 - 主分类号： G12B5/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种宏微双驱动精密定位平台及其控制方法，属于精密定位技术领域，包括基座、导轨、平台、宏微驱动器和限位机构，所述基座底部焊接有支撑柱，所述导轨通过内六角螺栓固定连接在基座上端面，且导轨滑动连接有滑块，所述平台通过内六角螺钉固定连接在滑块上端面，所述滑块一侧安装有宏动标尺光栅，所述导轨一侧安装有宏动光栅读数头，所述滑块另一侧安装有微动标尺光栅，所述导轨另一侧安装有微动光栅读数头，所述宏微驱动器安装在固定座的中间孔上本发明通过宏微双驱动解决大行程与高精度之间的矛盾，采用双光栅检测方案，能够实现定位平台的全闭环控制以达到精密定位。
导轨滑块双驱动精密定位平台标尺光栅微驱动器限位机构微动精密定位技术光栅读数头基座上端面内六角螺钉内六角螺栓全闭环控制定位平台固定座侧滑动连接精密定位大行程动光栅读数头固定座上端面双光栅支撑柱中间孔焊接检测矛盾

[发明专利]一种考虑输入迟滞的压电微定位平台的自适应模糊输出反馈控制方法-CN202310362064.5在审
发明人：周淼磊;聂琳琳;高巍;于业伟;苏良才;方舟;杨晓宁;张宇鹤;张鑫宇;刘云;侯涛 -专利权人：吉林大学
申请日： 2023-04-07 - 公布日： 2023-08-04 - 主分类号： G05B13/04 文献下载
摘要：本发明公开了一种考虑输入迟滞的压电微定位平台的自适应模糊输出反馈控制方法，步骤包括：1)建立具有迟滞非线性的压电微定位平台模型；2)基于模糊逻辑系统构造新型非线性扩张状态观测器以观测系统不可测状态、迟滞非线性和外部扰动；3)基于命令滤波动态面技术设计命令滤波补偿信号、虚拟控制律和自适应律；4)基于步骤1)‑3)和李雅普诺夫稳定性理论，设计压电微定位平台的自适应模糊输出反馈控制器。本发明所述控制方法利用新型非线性扩张状态观测器同时估计系统不可测状态和包括迟滞及外部扰动在内的系统广义扰动，解决了解析迟滞逆模型难以构造的问题，有效消除了输入迟滞的影响，实现了压电微定位平台的高精度跟踪控制
一种考虑输入迟滞压电定位平台自适应模糊输出反馈控制方法

[发明专利]油气管道微位移监测系统-CN202011536510.2在审
发明人：邓子恒;梅海粟 -专利权人：成都海恒之星科技合伙企业(有限合伙)
申请日： 2020-12-23 - 公布日： 2021-03-16 - 主分类号： F17D5/00 文献下载
摘要：本申请涉及监测领域，具体的说，是一种应用于油气管道上的微位移监测系统，其包括数据处理平台、微位移监测终端和管道安装包；所述管道安装包与微位移监测终端连接，所述微位移监测终端之间通信采用超宽带无线信号相互连接，数据处理平台通过通讯信号与微位移监测终端连接；本申请采用超宽带定位技术，不使用额外同步网络且定位精度高，通过计算定位的坐标差值即可获知微位移量，同时本装置自动化程度高，适合野外使用，避免了架设线路增大监测成本
油气管道位移监测系统

[实用新型]一种基于压电陶瓷驱动的柔性微定位平台-CN202222766477.3有效
发明人：赵智全;祝锡晶;李婧 -专利权人：中北大学
申请日： 2022-10-20 - 公布日： 2023-01-13 - 主分类号： H02N2/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种基于压电陶瓷驱动的柔性微定位平台，属于微定位平台领域，一种基于压电陶瓷驱动的柔性微定位平台，包括底座，底座上端中部安装有动平台，动平台左侧前端和后端右侧均设置有刚性梁，左侧刚性梁前端和后端刚性梁右侧均固定连接有L型刚性块，左侧L型刚性块右侧和右侧L型刚性块前端均设置有安装孔，安装孔内部均安装有限位机构，左侧刚性梁右侧前端和后端刚性梁前端右侧均设置有柔性梁，它可以实现通过限位机构将平台上的压电陶瓷驱动器限位，使压电陶瓷驱动器可便于拆装
一种基于压电陶瓷驱动柔性定位平台

[发明专利]一种受限空间平面区域高精度定位装置与方法-CN202210645895.9在审
发明人：刘学增;刘新根;陈莹莹;王哲成;蔡梓旭;秦祯秋 -专利权人：上海同岩土木工程科技股份有限公司
申请日： 2022-06-09 - 公布日： 2022-09-23 - 主分类号： G05D1/02 文献下载
摘要：本发明涉及一种受限空间平面区域高精度定位装置与方法。主要解决现有定位精度低、易偏航、移动体原地方位不明、路径不能自主规划等问题。定位装置包括微距相机、摄像机、补光灯、微型工控机、电源、若干方位标签及承载移动平台；微距相机、摄像机、小型补光灯、微型工控机、电源均集成于承载移动平台上，若干方位标签间隔布置在受限空间平面内，微距相机安装在承载移动平台的正下方，用于拍摄方位标签，进行图像视觉识别；摄像机安装于承载移动平台顶部，用于移动中对目标跟踪修正；通过微距相机拍照平面区域内布设的方位标签，利用机器视觉技术识别方位标签位置信息，以调整承载移动平台运动方位，
一种受限空间平面区域高精度定位装置方法

[发明专利]一种微纳结构制造装置及方法-CN201110097248.0有效
发明人：杨卫民;李好义;丁玉梅 -专利权人：北京化工大学
申请日： 2011-04-19 - 公布日： 2011-10-05 - 主分类号： B82B3/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种微纳结构制造装置及方法，属于微纳制造领域，主要包括原子笔、镀液、原子笔架、原子力显微检测系统、阴极平台、微动工作台、微电量供电电源，其中装有镀液的原子笔固定在原子笔架上，原子笔架同原子力显微检测系统一体化连接，并对其进行粗定位和精确定位，阴极平台和微动工作台固定连接，阴极平台和微动工作台之间用绝缘材料隔开，原子笔芯和微电量供电电源的正极连接，阴极平台和微电量供电电源的负极连接。本发明由于微电量供电电源以及碳纳米管的应用使得原子组装、原子团沉积三维微纳成型变得更加简易、精确，该装置及对应成型方法对于微纳器件的精确制造、微/纳机电的进步、量子器件的研制都具有一定的意义。
一种结构制造装置方法

[发明专利]一种阀芯微位移测试装置-CN201510686079.2有效
发明人：王鹏;仇立波;陈琴;王书铭 -专利权人：北京精密机电控制设备研究所;中国运载火箭技术研究院
申请日： 2015-10-21 - 公布日： 2018-07-27 - 主分类号： F15B19/00 文献下载
摘要：本发明属于测试领域，具体涉及一种阀芯微位移测试装置。该装置包括Y向调节平台、固定位于Y向调节平台一端的X向调节平台、固定位于X向调节平台相对于Y向调节平台另一端的Z向调节平台，Y向调节平台可以沿Y方向移动；X向调节平台可以沿X方向移动；Z向调节平台可以沿本发明通过对伺服阀阀芯微位移进行精确、量化测试，为研究阀芯粘性阻尼系数等功率级参数打下基础。
一种阀芯微位移测试装置

[发明专利]用于纳米压印光刻系统的三自由度微定位工作台-CN201010300349.9无效
发明人：田延岭;贾晓辉;张大卫 -专利权人：天津大学
申请日： 2010-01-15 - 公布日： 2010-07-14 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本发明公开了用于纳米压印光刻系统的三自由度微定位工作台，它包括六个压电陶瓷驱动器，每个驱动器与基座相连，顶端通过螺纹连接球形接头。它还包括柔性机构六个结构完全一致的柔性支链及其支撑的动平台，三个位置传感器用来测量动平台的实际输出，分别固定于刚性支架和动平台之间。此微定位工作台具有分辨率高、动态响应速度快的特点，可作为纳米压印光刻定位系统的辅助定位平台，实现微量进给和精密定位。
用于纳米压印光刻系统自由度定位工作台