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- [实用新型]EVA电性能层-CN202220404927.1有效
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张小鲁;曹珲;赵亚洲;郭计元;贾涛;王冬梅;孙绮峰;王莉;肖海建;杨晓光
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北京三盾证卡技术有限公司
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2022-02-25
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2022-08-30
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H01L23/29
- 本实用新型提供了一种EVA电性能层,涉及芯片卡技术领域,解决了现有技术中存在的电性能层较厚的技术问题。该点性能层包括第一EVA复合层、第一PVC层、第二PVC层、芯片、第三PVC层和第二EVA复合层,其中,所述第一PVC层设置在所述第一EVA复合层的下方,在所述第一PVC层的下方设有所述第二PVC层,并且在所述第二PVC层上设有允许所述芯片嵌入的通孔,在所述芯片的下方设有第三PVC层,在所述第三PVC层的下方设有第二EVA复合层。本实用新型的电性能层可大大降低电性能层的厚度,使电性能层的厚度保持在0.5mm±0.05mm。另外,本实用新型的电性能层通过在第二PVC层中嵌入芯片,解决了在生产过程中芯片痕迹明显,芯片位置漂移大的问题。
- eva性能
- [发明专利]半导体器件及其制作方法-CN201410245009.9有效
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杨欢;宋华;王蛟
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无锡华润上华科技有限公司
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2014-06-04
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2017-12-19
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H01L23/525
- 所述方法包括a)提供半导体衬底,该半导体衬底上形成有布线金属层,布线金属层上形成有介电层,介电层包括依次形成的第一介电层、第二介电层和第三介电层,其中第二介电层的材料不同于第一介电层和第三介电层;b)依次对第三介电层、第二介电层和第一介电层进行图案化,以形成第一凹槽;c)采用湿法刻蚀从第一凹槽向两侧对第二介电层进行刻蚀,以在第一介电层和第三介电层之间形成横向槽,并使第一凹槽暴露布线金属层;以及d)在布线金属层以及第三介电层上形成反射层,且布线金属层上的反射层与第三介电层上的反射层断开。该方法能够使焊垫上的反射层与焊垫外的反射层断开。
- 半导体器件及其制作方法
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