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[发明专利]对准单元及使用该对准单元的图像记录装置-CN200710091787.7无效
发明人：桥口昭浩;上村宽;寺田和广 -专利权人：富士胶片株式会社
申请日： 2007-04-11 - 公布日： 2008-05-14 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：所公开的是一种图像记录装置，其构造有：第一照相机，所述第一照相机通过运动调节机构而被安装在对准单元的基底构件的一面的侧部上，以便拍摄设置在记录介质上的第一标记；以及第二照相机，所述第二照相机通过运动调节机构而被安装在所述对准单元的基底构件的另一面的侧部上并且，还公开了可用于该装置的对准单元。
对准单元使用图像记录装置

[发明专利]一种装配式建筑预制构件对准装置-CN202110413672.5在审
发明人：张冬秀;蒋洪 -专利权人：重庆工程职业技术学院
申请日： 2021-04-16 - 公布日： 2021-07-13 - 主分类号： E04G21/18 文献下载
摘要：本发明涉及建筑构件装配领域，公开了一种装配式建筑预制构件对准装置，包括横向对准单元和纵向对准单元，横向对准单元和纵向对准单元均包括安装座，安装座上固定连接有固定块，固定块上设有限位板和推杆电机，推杆电机的输出端固定连接有推板，推板与限位板相垂直，横向对准单元中的限位板与纵向对准单元中的限位板相垂直，横向对准单元中的推板可与纵向对准单元中的限位板相抵，纵向对准单元中的推板可与横向对准单元中的限位板相抵。本发明利用横向对准单元和纵向对准单元调整预制构件，从而实现预制构件的对准，缩短预制构件对准所需时长，提高预制构件装配效率，减少工人工作量。
一种装配式建筑预制构件对准装置

[发明专利]对准标记及掩膜版-CN201610012639.0在审
发明人：李冲;丰亚洁;何艳;吕本顺;郭霞 -专利权人：北京工业大学
申请日： 2016-01-09 - 公布日： 2016-04-06 - 主分类号： G03F1/42 文献下载
摘要：本发明涉及一种对准标记和掩膜版，其中对准标记包括基准标记单元和对准标记单元，基准标记单元包括角度基准标记单元、纵向基准标记单元和横向基准标记单元，该对准标记单元包括角度对准标记单元、纵向对准标记单元和横向对准标记单元，其中，该角度基准标记单元为十字形状，该角度对准标记单元包括4个角度对准标记元素，该4个角度对准标记元素分别与角度基准标记的4个直角接近配合，用以在旋转角度参量上精确对准。本发明适用于微电子流程中任意图形的套刻工艺中，可以将套刻的掩膜版与待加工的样品精确对准，具有广泛的实用意义。
对准标记掩膜版

[发明专利]一种对准系统及光刻机-CN202010225236.0有效
发明人：高安 -专利权人：上海微电子装备(集团)股份有限公司
申请日： 2020-03-26 - 公布日： 2022-08-30 - 主分类号： G03F9/00 文献下载
摘要：本发明实施例提供一种对准系统及光刻机，对准系统包括：对准光束产生单元，用于产生对准光束；偏振分光单元，位于对准光束产生单元的出射光路上，用于将对准光束分为偏振方向相互垂直且传播方向不同的第一光束和第二光束；对准标记成像单元，位于第一光束的传播路径上，对准标记成像单元包括对准标记；对准标记成像单元用于将投射至对准标记上的第一光束转化为第一衍射光束，并将第一衍射光束投射至偏振分光单元；参考标记成像单元，位于第二光束的传播路径上，参考标记成像单元包括空间光调制器，空间光调制器形成有周期性结构；干涉信息探测单元。本发明实施例提供一种对准系统及光刻机，以实现兼容不同的对准标记，降低对准系统的成本。
一种对准系统光刻

[发明专利]一种对准装置及其对准方法、光刻机-CN202010519014.X有效
发明人：赵晓伟;徐兵;周畅;李煜芝;陈跃飞 -专利权人：上海微电子装备(集团)股份有限公司
申请日： 2020-06-09 - 公布日： 2023-02-28 - 主分类号： G03F9/00 文献下载
摘要：本发明提供一种对准装置及其对准方法、光刻机，对准装置包括至少两个对准单元，位于待曝光的基板上方；所述至少两个对准单元包括至少一个透光层对准单元和至少一个阻光层对准单元；所述透光层对准单元被配置为对所述基板中透光膜层的前层对准标记进行测量，所述阻光层对准单元被配置为对所述基板中的透光膜层和/或阻光膜层的前层对准标记进行测量；所有的所述透光层对准单元与所有的所述阻光层对准单元沿第一方向排列成一排，所述第一方向垂直于扫描方向，所述第一方向与所述扫描方向均平行于所述基板本发明提供一种对准装置及其对准方法、光刻机，以实现透光层对准单元与阻光层对准单元在工艺需要时可以切换使用，从而提升了工艺适应性。
一种对准装置及其方法光刻

[发明专利]用于掩膜的对准图形、掩膜及晶圆-CN201711311458.9在审
发明人：不公告发明人 -专利权人：长鑫存储技术有限公司
申请日： 2017-12-11 - 公布日： 2019-06-18 - 主分类号： G03F1/42 文献下载
摘要：本发明涉及一种对准图形，包括设置于对准图形的靠近中间位置的对准标记，对准标记包括：多个对准单元，在第一方向上彼此平行且间隔开地布置；间隔单元，位于多个对准单元之间以用于将多个对准单元隔开，间隔单元的数量比多个对准单元的数量少一个，并且间隔单元和对准单元在第一方向上的尺寸相同，对准标记具有在第一方向上的第一图案尺寸和在与第一方向垂直的第二方向上的第二图案尺寸，第一图案尺寸大于第二图案尺寸，对准单元以等线宽等间距的方式布满在对准标记中根据本发明设计者能够自行设计有别于曝光机厂商提供的对准图形，改善曝光机的对准，增加了对准图型的多样性以及划片槽的空间使用。本发明还涉及掩膜以及晶圆。
对准单元对准标记对准图形间隔单元掩膜图案曝光机晶圆对准彼此平行厂商提供方向垂直空间使用自行设计等线宽划片槽数量比隔开多样性

[发明专利]图像处理设备、摄像设备和图像处理方法-CN202111051189.3在审
发明人：上杉友美;鹫巢晃一;齐藤光洋 -专利权人：佳能株式会社
申请日： 2021-09-08 - 公布日： 2022-03-25 - 主分类号： H04N5/225 文献下载
摘要：该图像处理设备能够通过减少多个图像的对准错误来获得高清图像。该图像处理设备包括：对准单元，用于进行序列对准和基准对准，所述序列对准用于对相邻图像进行对准，所述基准对准用于将除基准图像以外的图像与基准图像进行对准；以及控制单元，用于控制所述对准单元，以通过组合所述序列对准和所述基准对准，来对由摄像单元按时间序列连续拍摄到的包括相同被摄体的多个图像进行对准。
图像处理设备摄像方法

[发明专利]基板处理装置和基板处理方法-CN202111255308.7在审
发明人：刘俊浩 -专利权人：细美事有限公司
申请日： 2021-10-27 - 公布日： 2022-05-13 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明构思涉及一种基板处理装置和基板处理方法，该基板处理方法包括：测量基板的对准状态，该基板放置在传送单元的手部上，该传送单元传送该基板；当基板的对准状态有问题时，通过传送单元将基板传送到基板对准单元；以及通过基板对准单元对准基板的位置，其中，该基板处理方法包括：当在对准状态的测量中测量到基板的对准状态超出传感器读取范围时，在基板装载到基板对准单元之前临时校正基板的位置。
处理装置方法

[发明专利]键合机的对准机构及对准方法-CN202110845766.X在审
发明人：林俊成 -专利权人：鑫天虹(厦门)科技有限公司
申请日： 2021-07-26 - 公布日： 2023-02-03 - 主分类号： H01L21/68 文献下载
摘要：本发明提供一种键合机的对准机构，尤指一种晶圆键合机的对准机构，主要包括一载台、三个第一对准单元及三个第二对准单元。载台的承载面具有一放置区用以放置一第一基板，其中第一对准单元及第二对准单元环绕设置在承载面的放置区周围。第一对准单元包括一底部及一凸出部，其中凸出部朝放置区的方向凸出底部。第一对准单元的底部用以定位第一基板，而第一对准单元的凸出部则用以承载一第二基板，并以第二对准单元定位放置在第一对准单元的凸出部上的第二基板，使得第二基板对准第一基板，以利于第一基板及第二基板的键合重叠。
键合机对准机构方法

[实用新型]键合机的对准机构-CN202121703715.5有效
发明人：林俊成 -专利权人：鑫天虹(厦门)科技有限公司
申请日： 2021-07-26 - 公布日： 2022-01-25 - 主分类号： H01L21/68 文献下载
摘要：本实用新型提供一种键合机的对准机构，尤指一种晶圆键合机的对准机构，主要包括一载台、三个第一对准单元及三个第二对准单元。载台的承载面具有一放置区用以放置一第一基板，其中第一对准单元及第二对准单元环绕设置在承载面的放置区周围。第一对准单元包括一底部及一凸出部，其中凸出部朝放置区的方向凸出底部。第一对准单元的底部用以定位第一基板，而第一对准单元的凸出部则用以承载一第二基板，并以第二对准单元定位放置在第一对准单元的凸出部上的第二基板，使得第二基板对准第一基板，以利于第一基板及第二基板的键合重叠。
键合机对准机构

[发明专利]晶圆键合机台-CN202111414336.9在审
发明人：林俊成;张容华;张茂展 -专利权人：天虹科技股份有限公司
申请日： 2021-11-25 - 公布日： 2023-05-26 - 主分类号： H01L21/603 文献下载
摘要：本发明提供一种晶圆键合机台，包括一载台、三个第一对准单元、三个第二对准单元、一压合板及两个平边对准单元。载台的承载面具有一放置区用以放置一第一晶圆，其中第一对准单元、第二对准单元及平边对准单元设置在放置区周围。第一对准单元用以定位第一晶圆，并承载一第二晶圆。第二对准单元用以定位第二晶圆，而平边对准单元则用以接触第一及第二晶圆的平边，以对准第一晶圆及第二晶圆的角度。压合板面对载台的承载面，并用以压合承载面上经过对位的第一及第二晶圆，而平边对准单元则会随着压合板相对于载台升降。
晶圆键合机台

[实用新型]晶圆键合机构-CN202122914272.0有效
发明人：林俊成;张容华;张茂展 -专利权人：天虹科技股份有限公司
申请日： 2021-11-25 - 公布日： 2022-05-13 - 主分类号： H01L21/603 文献下载
摘要：本实用新型提供一种晶圆键合机构，包括一载台、三个第一对准单元、三个第二对准单元、一压合板及两个平边对准单元。载台的承载面具有一放置区用以放置一第一晶圆，其中第一对准单元、第二对准单元及平边对准单元设置在放置区周围。第一对准单元用以定位第一晶圆，并承载一第二晶圆。第二对准单元用以定位第二晶圆，而平边对准单元则用以接触第一及第二晶圆的平边，以对准第一晶圆及第二晶圆的角度。压合板面对载台的承载面，并用以压合承载面上经过对位的第一及第二晶圆，而平边对准单元则会随着压合板相对于载台升降。
晶圆键合机构

[发明专利]平衡多单元电池-CN201780081937.8在审
发明人：兆伦·艾萨克·唐;大卫·莫里斯·洛克霍斯特 -专利权人：康福斯能源公司
申请日： 2017-11-07 - 公布日： 2019-12-13 - 主分类号： H02J7/00 文献下载
摘要：描述了一种平衡多单元电池的方法。针对多单元电池的每个单元确定对准距离。对准距离基于单元的当前电量来定义达到目标对准点所需的电量的变化。基于所确定的对准距离，识别一个或多个不平衡单元。然后通过根据对准距离调节其当前电量来平衡每个不平衡单元。在一个实施例中，目标对准点是目标充电状态。在另一个实施例中，目标对准点是目标电量。
目标对准对准电量多单元电池目标充电状态单元确定距离调节目标电量平衡

[发明专利]用于使激光器单元和波导单元对准的设备和方法-CN201980050043.1在审
发明人：约埃尔·切特里特 -专利权人：达斯特光子学公司
申请日： 2019-06-03 - 公布日： 2021-06-04 - 主分类号： G02B6/42 文献下载
摘要：一种用于使激光器单元与波导单元对准的设备和方法。该方法可以包括(a)将激光器单元放置在被测试位置上，其中激光器单元面向波导单元；(b)经由波导单元的耦合器向波导单元的对准波导供应光；(c)接收从对准波导发射的光；其中该光作为光的供应的结果而被发射；(d)确定从对准发射的光是否包括与激光器单元的对准单元相关联的光谱识别特征；以及(e)基于步骤(d)的确定来估计激光器单元是否与波导单元对准。
用于激光器单元波导对准设备方法

[实用新型]一种无人值守自动对准的揽焦车-CN202123086323.1有效
发明人：卢泽宇;郭金家;张成伦;李萌 -专利权人：青岛图海纬度科技有限公司
申请日： 2021-12-09 - 公布日： 2022-06-14 - 主分类号： B65G35/00 文献下载
摘要：本实用新型提出一种无人值守自动对准的揽焦车，包括：车体；移动机构，移动机构安装在车体底部；位移电机，位移电机与移动机构连接，通过位移电机控制移动机构带动揽焦车进行移动；控制单元，控制单元电性连接于位移电机，并控制位移电机的操作；自动对准装置，自动对准装置安装于车体上，与控制单元连接，自动对准装置包括编码缆粗调单元和视觉对准单元，编码缆粗调单元和视觉对准单元分别连接于控制单元。本实用新型的优点和积极效果在于，该系统利用多重对准，解决了现有揽焦车进行对准操作时自动化程度低导致对准不精确的问题。
一种无人值守自动对准揽焦车

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