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[发明专利]基板传送系统-CN201510671752.5有效
发明人：崔汉铉;金教承;卢光硕;徐正欢;麴今镐 -专利权人：塔工程有限公司
申请日： 2015-10-15 - 公布日： 2020-06-26 - 主分类号： B65G35/00 文献下载
摘要：本发明涉及一种基板传送系统，其用于传送预对准的基板，同时精确地保持所述基板的位置对准。基板传送系统包括：加载单元，其在水平方向上提供基板；预对准托台，其在将从加载单元提供的基板放置在其上之后，执行所述基板的预对准；基板传送单元，其通过吸附保持在预对准托台上已经完全预对准的基板，并且在竖直方向上上下移动所述基板；以及工作单元，其设置在预对准托台的下面，并且在竖直方向上从基板传送单元传送的基板卸载到所述工作单元上。
传送系统

[发明专利]双相机模块对准单元及利用该单元的双相机模块对准方法-CN201810276913.4在审
发明人：李柄大;崔昌洛 -专利权人：韩国以事美德有限公司
申请日： 2018-03-30 - 公布日： 2018-09-28 - 主分类号： H04N17/00 文献下载
摘要：本发明涉及一种双相机模块对准单元，用于对准双相机模块的光轴，所述双相机模块具备框架及配设在所述框架内的第一相机模块和第二相机模块，其特征在于，包括：第一插座，用于安装处于固定在框架的状态下的第一相机模块由此，能够精确地对准双相机模块。
相机模块双相机插座模块对准电连接对准标板光轴

[发明专利]对准装置-CN201610200491.3在审
发明人：周钰颖;陆海亮 -专利权人：上海微电子装备（集团）股份有限公司
申请日： 2016-03-31 - 公布日： 2017-10-24 - 主分类号： G03F9/00 文献下载
摘要：本发明提供了一种对准装置，包括照明单元、光学单元、探测单元及处理单元；其中，照明单元提供垂直照射对准标记的光源；光学单元将对准标记产生的正级次与负级次的衍射光平行并汇聚到其焦面上；探测单元设置在所述光学单元的焦面，使正、负级次衍射光在探测面上成像；处理单元根据正、负级次衍射光的成像信息得到正负级次衍射光的干涉光强信号，根据所述干涉光强信号随运动台位置变化的关系计算对准位置信息，从而无需使用楔板或复杂棱镜，结构简单，并且对准标记离焦和倾斜不会影响测量精度，实现了高精度测量；可兼容多种测量波长，并且对准标记兼容性好，可测量多方向的光栅型对准标记，亦可兼容不同周期的对准标记，提高了工艺适应性。
对准装置

[发明专利]一种自动调焦的对准系统及对准方法-CN201510268931.4有效
发明人：于大维 -专利权人：上海微电子装备（集团）股份有限公司
申请日： 2015-05-24 - 公布日： 2019-01-29 - 主分类号： G03F7/207 文献下载
摘要：本发明提供一种自动调焦的对准系统及对准方法，依次包括：光源、波长选择单元、照明镜组、照明调节单元、分束单元、成像物镜组、分光单元、参考标记面及参考标记、硅片以及对准标记、运动台，分光单元依次连接成像调节单元、成像镜组、探测器，探测器、成像调节单元、照明调节单元、运动台皆与信号处理与控制单元连接，照明光同时照射参考标记与对准标记，系统先搜索并标定参考标记的最佳焦面，然后将参考标记与对准标记上反射的光的干涉条纹形成的干涉包络极值在参考标记区域的位置进行计算，便可确定对准标记上与最佳焦面偏离值，将对准标记移动到最佳焦面即调焦完成，本发明具有自动、精准、快速地调焦以及降低环境对对准精确性影响的特点。
一种自动调焦对准系统方法

[发明专利]开关柜红外测温激光对准装置-CN201110346401.9无效
发明人：闫召进;张浩;余伟 -专利权人：四川省电力公司绵阳电业局
申请日： 2011-11-07 - 公布日： 2012-06-20 - 主分类号： G01J5/08 文献下载
摘要：本发明公开了开关柜红外测温激光对准装置，包括金属密封壳体、开关、激光对准单元、激光电路驱动单元和转动机构单元，所述金属密封壳体安装有测温节点电路，所述激光对准单元用于对准待测区域，所述开关与激光电路驱动单元相连接，所述激光电路驱动单元驱动激光对准单元。
开关柜红外测温激光对准装置

[发明专利]一种具有对准功能的光盘烧录信号控制电路-CN03146558.7有效
发明人：徐哲祥;陈志成 -专利权人：联发科技股份有限公司
申请日： 2003-07-07 - 公布日： 2005-01-19 - 主分类号： G11B7/0045 文献下载
摘要：一种具有对准功能的光盘烧录信号控制电路，是利用一对准单元来对齐复数个烧录信号。该光盘烧录信号控制电路包含：一EFM编码器，是接收输入信号并编码成EFM信号；一烧录策略波形产生单元，是接收EFM信号，并根据烧录策略波形产生规则将该EFM信号转换成复数个烧录信号；一对准单元，是接收复数个烧录信号，并利用延迟方式对准该等复数个烧录信号，且输出为复数个对准烧录信号；以及一延迟校正单元，是接收对准单元所输出的复数个对准烧录信号，并侦测该等复数个对准烧录信号之间的延迟差异量，并输出延迟校正信号。该对准单元还接收延迟校正信号信号，藉以调整各烧录信号的延迟量。
一种具有对准功能光盘信号控制电路

[发明专利]对准器结构和对准方法-CN201680023001.5在审
发明人：曹生贤;安成一 -专利权人： VNI斯陆深株式会社
申请日： 2016-04-01 - 公布日： 2018-04-10 - 主分类号： H01L21/68 文献下载
摘要：本发明的目的是提供一种对准器结构，通过提供用于在基板(S)和掩模(M)垂直的状态下使基板(S)和掩模(M)固定且对准的对准结构而能够在基板S和掩模M垂直的状态下良好处理基板；以及一种对准方法。本发明的对准器结构包括掩模夹紧单元(100)，被设置在工艺腔室(10)中以便夹紧掩模(M)；基板夹紧单元(200)，用于夹紧基板载体(320)，基板(S)通过静电卡盘吸住并固定到基板载体上；对准单元(400)，相对于掩模(M)而相对移动基板载体(320)，以便使由基板夹紧单元(200)夹紧的基板(S)和由掩模夹紧单元(110)夹紧的掩模M对准；以及紧密接触驱动单元，用于允许通过对准单元(400)对准的基板
对准结构方法

[发明专利]对准系统及对准方法-CN200510088148.6有效
发明人：吴兆明 -专利权人：友达光电股份有限公司
申请日： 2005-07-29 - 公布日： 2006-01-04 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：一种对准系统及其方法，适用于半导体或液晶显示器工艺中曝光前的光掩模对准。对准系统包括对准单元、至少一影像处理单元以及至少一监控显示装置。对准单元具有多组影像撷取装置，用以同时监测多组光掩模标记对应于一基板的多组基板标记的对准状态。影像处理单元将撷取信号转换为影像信号，使多组影像同时显示于监控显示装置上。
对准系统方法

[发明专利]电池单元台面对准装置-CN202180025959.9在审
发明人：郑钟弘;金相珍 -专利权人：株式会社快乐福
申请日： 2021-03-31 - 公布日： 2022-11-22 - 主分类号： B26D7/01 文献下载
摘要：公开了一种电池单元台面对准装置，该电池单元台面对准装置包括：基部，其用于支撑每个部件部分，以便对准放置在XY平面上的电池单元；工作台，其沿着与处理方向平行的直线(X轴方向)设置成在处理方向上支撑电池单元的下表面；第一前端支撑部，其在基部上设置成能够沿着XY轴移动，使得第一前端支撑部被推靠在电池单元的前端的一侧；第二前端支撑部，其在基部上设置成能够沿XY轴移动，使得第二前端支撑部被推靠在电池单元的前端的另一侧；第一后端支撑部，其在基部上设置成能够沿XY轴移动，使得第一后端支撑部被推靠在电池单元的后端的一侧；第二后端支撑部，其在基部上设置成能够沿XY轴移动，使得第二后端支撑部被推靠在电池单元的后端的另一侧；对准块，其分别在第一前端支撑部、第二前端支撑部、第一后端支撑部和第二后端支撑部上设置成接触电池单元；施力构件，其在第一前端支撑部和第二前端支撑部中的一者上或者在第一后端支撑部和第二后端支撑部中的一者上设置成提供X轴方向上的弹性力，使得对准块被推靠在电池单元的后端或前端；以及原始侧引导构件，其在第一前端支撑部和第二前端支撑部中的未设置施力构件的另一者上或者第一后端支撑部和第二后端支撑部中的未设置施力构件的另一者上设置成引导电池单元的原始侧区域
电池单元台面对准装置

[发明专利]液晶涂布机-CN201010201795.4无效
发明人：林永一 -专利权人：塔工程有限公司
申请日： 2010-06-17 - 公布日： 2011-03-30 - 主分类号： B05C5/02 文献下载
摘要：本发明提供一种液晶涂布机，包括：主框架；设置在主框架上表面上的工作台驱动单元；能够沿Y轴方向移动的工作台；设置在工作台上表面上的托台旋转单元；能够沿θ方向移动的托台，基板安装在托台上；横跨在托台上方的涂布头单元支撑框架；设置于涂布头单元支撑框架的第二驱动单元；设置于第二驱动单元的涂布头单元；设置在托台上表面上的传感器单元；和控制单元，在响应于接收自传感器单元的信号而计算非对准程度后，确定基板在托台上是处于对准状态还是处于非对准状态，当确定基板以非对准程度偏离从而在托台上处于非对准状态时，指示托台旋转单元、驱动工作台单元和第二驱动单元以对处于非对准状态的基板的非对准程度进行补偿的方式来操作。
液晶涂布机

[发明专利]测量设备、压印装置和制造产品、光量确定及调整的方法-CN201710274175.5有效
发明人：八重樫宪司;岩井俊树;古卷贵光 -专利权人：佳能株式会社
申请日： 2017-04-25 - 公布日： 2021-03-09 - 主分类号： G03F9/00 文献下载
摘要：用于测量对准标记之间的相对位置的测量设备包括能够以多个波长照明对准标记的照明单元，检测来自对准标记的光的检测单元，获得对准标记之间的相对位置的处理单元以及调整单元，该调整单元调整多个波长的光量之间的相对量，使得来自对准标记的检测光量之间的相对值落在预定范围内。
测量设备压印装置制造产品确定调整方法

[发明专利]纸张处理设备、图像形成装置和纸张处理方法-CN201210048130.3有效
发明人：深见健太郎 -专利权人：株式会社理光
申请日： 2012-02-28 - 公布日： 2012-08-29 - 主分类号： B65H31/34 文献下载
摘要：纸张处理设备用于在堆叠单元上临时堆叠一张或多张纸张和在由对准单元对准后通过装订单元装订纸张。该设备包括移位单元，其在纸张传送方向和正交于纸张传送方向的方向上移动纸张，和控制单元，其控制移位单元的位移量，以便当在堆叠单元上堆叠纸张时，不管装订位置和纸张大小如何，在正交于纸张传送方向的方向上对准纸张的宽度方向对准单元的对准距离是恒定的
纸张处理设备图像形成装置方法

[发明专利]标记检测装置、标记学习装置和基板加工装置-CN202210504569.6在审
发明人：山本将志;铃木彻;根谷尚稔;黑泽良昭;米田慎吾;日置真则 -专利权人：佳能株式会社
申请日： 2022-05-10 - 公布日： 2022-11-15 - 主分类号： G03F9/00 文献下载
摘要：标记检测装置，包括：成像单元，被配置成通过对物体上的对准标记成像来生成对准标记图像；检测单元，被配置成检测对准标记图像中的对准标记；以及调节单元，被配置成基于如下的学习模型来调节与成像相关的参数，所述学习模型是通过使用其中不能检测到对准标记的对准标记图像和作为用于对其中能够检测到对准标记的对准标记图像成像的参数的第一参数进行学习而生成的调节单元取得作为基于学习模型的推断处理的结果的第二参数。成像单元在参数被调节为第二参数的状态下执行成像。
标记检测装置学习加工

[发明专利]电动汽车无线充电对准系统、对准方法及车辆端装置-CN201610289103.3在审
发明人：林卫夫;陈胜奇;陈珊;雷永忠;陈汉生;陈华丰;蔡金生 -专利权人：深圳市泰金田科技有限公司
申请日： 2016-04-29 - 公布日： 2017-11-07 - 主分类号： H02J7/00 文献下载
摘要：本发明涉及无线充电技术领域，尤其涉及一种电动汽车无线充电对准系统、对准方法及车辆端装置。所述电动汽车无线充电对准系统，其至少包括位于地面的非车辆端装置以及位于电动汽车上的车辆端装置；所述非车辆端装置包括信号输入单元、信号发射单元以及充电发射线盘；所述车辆端装置包括依次连接的信号接收单元、信号分离单元、中央处理单元以及语音提示单元，本发明提供的电动汽车无线充电对准系统有利于提高电动汽车接收线圈和发射线圈对准精度；且由于所述对准方法是通过语音播报的方式告知司机的，不会分散司机注意力，因此，该对准系统及对准方法也提高了电动汽车倒车的安全性
电动汽车无线充电对准系统方法车辆装置

[发明专利]对准标记的中心坐标的生成方法-CN202010000526.5有效
发明人：方红;姜鹏;黄乐 -专利权人：长江存储科技有限责任公司
申请日： 2020-01-02 - 公布日： 2022-11-18 - 主分类号： G03F9/00 文献下载
摘要：本发明提供一种对准标记的中心坐标的生成方法，所述生成方法包括取得至少一个对准标记单元,所述对准标记单元至少包括对准标记；对所述对准标记单元提取所述对准标记的至少一部分,建立所述对准标记的映对标记；以及就所述映对标记本发明通过提取出对准标记中具有对称性的映对标记额外做中心坐标的计算，进而得到精准的对准标记的中心坐标。
对准标记中心标的生成方法