专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]基板对准装置、基板处理装置和基板处理方法-CN201811191568.0有效
  • 严基象;崔哲珉;洪南基 - 细美事有限公司
  • 2018-10-12 - 2023-08-04 - H01L21/68
  • 公开了一种基板对准装置、基板处理装置和使用基板对准装置的基板处理方法。基板对准装置和基板处理装置包括支承板和连接至支承板以对转基板的位置的多个引导单元。各引导单元包括用于将基板对准到适当位置的对准销和具有用于支承对准的基板的边缘区域支承表面的固定体,固定部固定地连接至支承板。对准销相对于固定部的支承表面绕对准销的中心轴线为可旋转的,从而快速地对准基板,并因此防止了通过传送机械手在多个处理腔室之间传送的基板脱离或对其他装置具有负面影响。
  • 对准装置处理方法
  • [发明专利]片材对准设备、片材处理设备和成像系统-CN202110765394.X在审
  • 辻宽治 - 佳能株式会社
  • 2021-07-07 - 2022-01-11 - B65H31/34
  • 本公开涉及一种片材对准设备,包括:支撑部分,支撑部分构造成支撑片材;第一对准构件,构造成抵接由支撑部分支撑的片材在第一方向上的端部部分并且对准所述片材在第一方向上的位置;第一移动单元,构造成在第一方向上移动第一对准构件;第二对准构件,构造成抵接由支撑部分支撑的片材在第二方向上的端部部分并且对准片材在第二方向上的位置,第二方向垂直于第一方向;以及第二移动单元,构造成在第二方向上移动第二对准构件,其中第一移动单元布置在支撑部分下方,并且其中第二移动单元布置在支撑部分上方。
  • 对准设备处理成像系统
  • [发明专利]图像处理装置和图像处理方法-CN201580064243.4有效
  • 近藤雄飞;平泽康孝;早坂健吾 - 索尼公司
  • 2015-10-28 - 2020-09-15 - G01B11/00
  • 深度图生成单元22根据通过由成像单元21从多个观察位置对对象进行成像而获得的图像来生成深度图。基于由深度图生成单元22生成的深度图,位置对准单元23对通过由成像单元21从多个观察位置通过在每个观察位置处具有不同的极化方向的极化滤波器对对象进行成像而获得的极化光图像进行位置对准。极化光特征获取单元24使用由位置对准单元23进行了位置对准的极化光图像来获取自期望观察位置的对象的极化特征,并且获得高精度极化特征而基本上没有劣化时间分辨率和空间分辨率。
  • 图像处理装置方法
  • [实用新型]机械手臂调校系统-CN202020910980.X有效
  • 林家炜;庄易勋 - 新代科技(苏州)有限公司
  • 2020-05-27 - 2021-05-14 - B25J9/16
  • 本实用新型公开了一种机械手臂调校系统,包括:具有末端的机械手臂,其包含与该机械手臂连接的一控制单元,用以控制该机械手臂执行加工制程,该控制单元包括:输入单元,用以输入在该机械手臂的该末端的工具坐标系;储存单元,其与所述输入单元连接,用于储存该工具坐标系;运算单元,其与所述输入单元连接,用于依据欲进行对正步骤的对象的平面上任意三点的三个坐标值以计算出用户坐标系的法向量;对正单元,用以控制该机械手臂的该末端对该对象执行对正步骤;以及对准单元,用以控制该机械手臂的该末端对该对象执行对准步骤。相较于现有技术,本实用新型在通过控制单元的对正单元对准单元,可以快速地对机械手臂的末端进行对正和对准
  • 机械手臂调校系统
  • [发明专利]一种多功能的纳米压印系统-CN202111315559.X有效
  • 冀然 - 青岛天仁微纳科技有限责任公司
  • 2021-11-09 - 2023-08-18 - G03F7/00
  • 本发明公开了一种多功能的纳米压印设备,包括基片、工作模具,还包括工作模具承载台单元,在所述工作模具承载台单元一侧设置基片承载板单元,另一侧设置工作模具承载板单元,还包括位于所述工作模具承载台单元正上方的对准单元,以及位于所述基片承载板单元正上方的紫外固化单元。本发明的有益效果是:基片承载板单元、工作模具承载板单元,实现对基片的承载和旋转换,完成基片单面压印和双面压印;对准单元能够观察对准标记和的相对位置,并把实时图像展示在屏幕上;紫外固化单元发出紫外线,固化纳米压印胶
  • 一种多功能纳米压印系统
  • [发明专利]晶圆检测预对准系统及方法-CN202210960746.1在审
  • 潘华峰 - 嘉兴景焱智能装备技术有限公司
  • 2022-08-11 - 2022-12-13 - H01L21/68
  • 本发明涉及芯片检测处理装备技术领域,公开了一种晶圆检测预对准系统,包括机架上设置的精密运动单元、光学检测单元、真空单元和驱控单元,所述真空单元对晶圆实现真空吸附,所述真空单元设置于精密运动单元上,所述光学检测单元位于精密运动单元一侧,驱控单元控制所述精密运动单元驱动所述真空单元将晶圆送至光学检测单元进行检测,所述精密运动单元的运动包括XYZ轴方向运动和驱动真空单元C轴旋转。本发明还公开了相应的预对准方法。本发明采用差分原理进行检测,易分辨,对准精度高,稳定性好,适用性强。
  • 检测对准系统方法
  • [发明专利]用于对准接合工具的模块和具有该模块的裸芯接合装置-CN201910567848.5有效
  • 林锡泽;金崇皓;元钟振;金丙根 - 细美事有限公司
  • 2019-06-27 - 2023-08-22 - H01L21/67
  • 一种裸芯接合装置,包括:基板台,用于支承基板;接合头,设置在所述基板台上方;接合工具,安装在所述接合头的下表面上且具有用于真空吸附所述裸芯的真空孔;和接合工具对准模块,用于对准所述接合工具。所述接合工具对准模块包括:工具悬浮单元,被配置为悬浮所述接合工具;工具引导构件,具有用于对准所述接合工具的参考表面;推动单元,被配置为推动所述接合工具,以使通过所述工具悬浮单元悬浮的所述接合工具的侧表面与所述工具引导构件的所述参考表面紧密接触在通过所述接合工具对准模块对准之后,所述接合工具安装在所述接合头的下表面上。
  • 用于对准接合工具模块具有装置

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