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[发明专利]复合基板和刚性基板-CN201410636928.9有效
发明人：宫崎政志;杉山裕一;秦丰 -专利权人：太阳诱电株式会社
申请日： 2014-11-06 - 公布日： 2018-06-01 - 主分类号： H05K3/46 文献下载
摘要：本发明提供一种适于薄型化且具有生产性优异的构造的复合基板和刚性基板。本发明的复合基板包括刚性基板和柔性基板。刚性基板层叠有芯层、绝缘层和配线层，具有第一厚度，在至少一边设置有空缺部，第一连接端子从空缺部露出。柔性基板被接合于空缺部，具有与第一连接端子电连接的第二连接端子，具有比第一厚度小且比空缺部的深度小的第二厚度。
空缺部复合基板刚性基板连接端子柔性基板绝缘层接合薄型化电连接配线层生产性芯层

[发明专利]基板测试电路及基板-CN200910079296.X有效
发明人：陈宇鹏;刘华;高浩然;卢昱 -专利权人：北京京东方光电科技有限公司
申请日： 2009-03-06 - 公布日： 2010-09-08 - 主分类号： G02F1/13 文献下载
摘要：本发明涉及一种基板测试电路及基板，本发明通过将第一数据线测试输入端和第二数据线测试输入端到第一面板的引线长度设置为相等，使得第一数据线测试线的两个测试输入端到第一面板的输入电阻相等，从而使得对第一面板的数据线进行检测时
测试电路

[发明专利]玻璃基板及层叠基板-CN201780056935.3有效
发明人：泽村茂辉;小野和孝 -专利权人： AGC株式会社
申请日： 2017-09-12 - 公布日： 2022-06-14 - 主分类号： C03C3/085 文献下载
摘要：本发明的第一发明涉及一种玻璃基板，碱金属氧化物的含量以氧化物基准的摩尔百分率计为0～0.1％，失透温度粘性为103.2dPa·s以上，30℃～220℃下的平均热膨胀系数本发明的第二发明涉及一种玻璃基板，碱金属氧化物的含量以氧化物基准的摩尔百分率计为0～0.1％，光弹性常数C为10～26nm/cm/Mpa，并且该玻璃基板用于半导体封装用的支撑基板。
玻璃层叠

[实用新型]承载基板和阵列基板-CN201921599331.6有效
发明人：殷汉权;蔡俊飞;吴昊;李骄阳;朱可 -专利权人：昆山工研院新型平板显示技术中心有限公司
申请日： 2019-09-24 - 公布日： 2020-06-19 - 主分类号： H01L51/56 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种承载基板和阵列基板。一种承载基板，包括支撑板、位于支撑板上的第一分离层以及与第一分离层相互嵌合的第二分离层。该承载基板可用于柔性OLED显示装置的制备。使用该承载基板进行柔性OLED显示装置的制备，可以将柔性衬底依附在第二分离层上。
承载阵列

[实用新型]基板和基板堆叠结构-CN202120434508.8有效
发明人：杨柱柱;唐明茹;林佳德 -专利权人：日月光半导体（上海）有限公司
申请日： 2021-02-26 - 公布日： 2021-12-17 - 主分类号： H01L23/498 文献下载
摘要：本申请涉及一种基板。所述基板包括：电路布置区和由所述电路布置区环绕的一个或多个工具孔设置区，其中，所述工具孔设置区的结构包括：基板本体层；第一金属层和第二金属层，所述第一金属层和所述第二金属层分别设置于位于所述基板本体层的上表面和下表面和第一阻焊层和第二阻焊层，所述第一阻焊层和所述第二阻焊层分别设置于所述第一金属层的上表面和所述第二金属层的下表面；其中所述工具孔设置区中的所述第二金属层和所述第二阻焊层用于在对所述工具孔设置区钻孔以形成工具孔时支撑所述基板本体层
堆叠结构

[发明专利]玻璃基板及层叠基板-CN201680030872.X在审
发明人：塙优;野村周平;小野和孝;竹下畅彦;花岛圭辅;泽村茂辉 -专利权人：旭硝子株式会社
申请日： 2016-05-24 - 公布日： 2018-01-19 - 主分类号： C03C17/38 文献下载
摘要：本发明提供一种在将玻璃基板和含有硅的基板贴合的工序中气泡不易进入的玻璃基板。本发明涉及一种玻璃基板，是通过与含有硅的基板层叠而形成层叠基板的玻璃基板，所述玻璃基板的翘曲为2～300μm，由所述翘曲引起的倾斜角度为0.0004～0.12°。
玻璃层叠

[其他]多层基板、部件安装基板-CN201690000360.4有效
发明人：用水邦明;池野圭亮 -专利权人：株式会社村田制作所
申请日： 2016-08-02 - 公布日： 2018-03-06 - 主分类号： H01L23/12 文献下载
摘要：提供一种能够将安装部件更加可靠地安装的多层基板、部件安装基板。本实用新型的多层基板具备坯体，具有主面；第1外部电极至第n外部电极，被设置于主面，并且被用于安装部件的安装，n是3以上的整数；和第1虚设层，被设置于坯体内，不与其他导体连接，在从主面的法线方向观察时，将从第
多层部件安装

[其他]多层基板、部件安装基板-CN201690000516.9有效
发明人：用水邦明;池野圭亮;伊藤优辉 -专利权人：株式会社村田制作所
申请日： 2016-10-24 - 公布日： 2018-06-05 - 主分类号： H01L23/12 文献下载
摘要：对安装部件在多层基板上倾斜进行抑制。本实用新型所涉及的多层基板的特征在于，具备：坯体，具有主面；第1外部电极～第n外部电极，被设置于主面，并且被用于安装部件的安装，n是3以上的整数；和第1虚设层，被设置于坯体内，不与其他导体连接，在从主面的法线方向观察时
外部电极多层基板法线方向安装部件虚设层主面观察部件安装基板本实用新型导体连接区域定义坯体体内外部

[发明专利]接合基板制作方法、接合基板、基板接合方法、接合基板制作装置以及基板接合体-CN201280016996.4有效
发明人：须贺唯知;山内朗;近藤龙一;松本好家 -专利权人：须贺唯知;邦德泰克株式会社;网络技术服务株式会社
申请日： 2012-01-30 - 公布日： 2014-01-01 - 主分类号： H01L21/02 文献下载
摘要：本发明提供一种应用范围较广的基板接合技术。在接合面内形成硅薄膜，并利用能量粒子、金属粒子对基板与基板之间的交界处进行表面处理。
接合制作方法方法制作装置以及

[发明专利]基板搬运系统、基板搬运方法、基板处理系统以及基板处理方法-CN202010114405.3在审
发明人：小林康信 -专利权人：佳能特机株式会社
申请日： 2020-02-25 - 公布日： 2020-12-01 - 主分类号： H01L21/677 文献下载
摘要：本发明涉及基板搬运系统、基板搬运方法、基板处理系统以及基板处理方法。在将从原板切出为规定的大小的基板搬运到处理装置来进行成膜等基板处理工序时，抑制基板处理工序的精度的降低。本发明的基板搬运系统，用于搬运从原板切出为规定的大小的基板，其特征在于，包括搬运所述基板的搬运机构和控制所述搬运机构的搬运控制部，所述搬运控制部基于与所述基板的从原板切出的切出位置相关的信息，控制所述搬运机构
搬运系统方法处理以及

[发明专利]基板处理单元、基板传送方法、基板洗净处理单元以及基板电镀设备-CN200680026891.1无效
发明人：关本雅彦;横山俊夫;渡边辉行;铃木宪一;小林贤一;加藤亮 -专利权人：株式会社荏原制作所
申请日： 2006-08-25 - 公布日： 2008-07-23 - 主分类号： H01L21/683 文献下载
摘要：提供了基板处理单元、基板传送方法、基板洗净处理单元和基板电镀设备，使得诸如机器人臂的基板载入机构在载入基板之后快速释放保持在基板上，从而缩短保持所述基板的时间并提高流通量。所述基板处理单元(10)包括用于将所述基板(11)保持在特定的保持位置的基板保持机构(10)，以及处理机构(32)，用于将规定的处理施加至由所述基板保持机构所述保持的所述基板，其中基板引导机构(20)设有引导销(15)，用于将所述基板引导至保持位置附近。所述基板引导机构具有位于保持位置的所述基板的外周上的多个辊(14)，而所述多个辊适于通过从所述基板的侧部将所述基板的周边支承在所述保持位置的附近而支承所述基板，所述辊具有一体的结构，所述一体的结构包括大直径部分以及形成在所述大直径部分上方的小直径部分，而大直径部分的上侧部分具有肩部，以便所述基板在传送中临时地支承在其上，并且所述肩部形成有朝向其外周向下倾斜的倾斜表面。
处理单元传送方法洗净以及电镀设备

[发明专利]基板检测装置、基板检测方法及基板检测模块-CN201510599629.7在审
发明人：刘桂林;李晶晶;崔秀娟;李娟;张红岩;于闪闪 -专利权人：京东方科技集团股份有限公司;合肥京东方光电科技有限公司
申请日： 2015-09-18 - 公布日： 2016-06-08 - 主分类号： G02F1/13 文献下载
摘要：本发明公开一种基板检测装置、基板检测方法及基板检测模块，属于基板检测技术领域。基板检测装置包括：至少两个检测模块，每个检测模块包括：用于测量待测基板上的凸起缺陷的高度的测高传感器和与测高传感器固定连接的传感器支架，传感器支架用于支撑测高传感器；至少两个检测模块用于采用线接触式测高和点接触式测高中的至少一种测高方式对待测基板上的凸起缺陷的高度进行测量本发明解决了现有技术中基板检测装置测量凸起缺陷的高度的准确性较低的问题，达到了提高测量凸起缺陷的高度的准确性的效果。本发明用于基板检测。
检测装置方法模块

[发明专利]基板处理方法、基板处理液以及基板处理装置-CN201811113448.9在审
发明人：佐佐木悠太;塙洋祐 -专利权人：株式会社斯库林集团
申请日： 2018-09-25 - 公布日： 2019-04-02 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明涉及一种基板处理方法、基板处理液以及基板处理装置，所述基板处理方法为进行基板的图案形成面的干燥处理的基板处理方法，包括：供给工序，向所述基板的图案形成面供给包含熔融状态的柔粘性结晶材料的基板处理液
基板处理结晶材料基板处理液结晶状态基板处理装置图案形成面图案形成结晶层基板干燥处理供给工序气体状态熔融状态形成工序液体状态状态变化

[发明专利]基板保持装置、基板处理装置和基板保持方法-CN201911086918.1在审
发明人：上野幸一 -专利权人：株式会社斯库林集团
申请日： 2019-11-08 - 公布日： 2020-06-05 - 主分类号： H01L21/687 文献下载
摘要：本发明的课题在于在不产生起尘且不对基板导入损伤的情况下，确实地消除基板的翘曲而良好地保持基板的整个区域。一种基板保持装置，包括自下方支撑基板的平台、以及对支撑于平台的基板的翘曲进行矫正的矫正机构，所述基板保持装置利用平台来保持由矫正机构矫正了翘曲的基板，其中，矫正机构具有：矫正块，能够在基板的上表面的周缘部的上方沿上下方向移动；气体层形成部，自矫正块的下表面朝向基板的上表面喷出第一气体，在基板的上表面与矫正块的下表面之间形成气体层；以及移动部，使矫正块在与基板保持非接触状态的同时向下方移动，由此将气体层按压至周缘部来矫正基板的翘曲本发明还涉及一种基板处理装置和基板保持方法。
保持装置处理方法

[发明专利]基板清洗装置、基板清洗方法以及基板处理装置-CN202110147106.4在审
发明人：田中英明 -专利权人：株式会社荏原制作所
申请日： 2016-02-16 - 公布日： 2021-06-04 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：公开一种基板清洗装置，该基板清洗装置使基板旋转，并使清洗部件与旋转的基板接触而清洗基板。基板清洗装置具有：自清洁部件，该自清洁部件设置于支承所述清洗部件的臂，与所述清洗部件接触而对清洗部件进行自我清洗；以及移动机构，该移动机构设置于支承所述清洗部件的臂，使所述自清洁部件在与所述清洗部件接触的位置和从所述清洗部件离开的位置之间移动
清洗装置方法以及处理