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- [发明专利]检测图案单元、图案检测方法及图案检测系统-CN202210445178.1在审
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黄天兴
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普思半导体股份有限公司
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2022-04-26
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2022-10-28
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G03F1/72
- 一种检测图案单元,包含内图案层及外图案层。内图案层具有至少一个检测图案,外图案层位于内图案层的外侧而成方形,具有沿第一方向及第二方向两两相对的定位检测图案,其中,彼此相对的两个定位检测图案具有相同的节距,相邻的两个定位检测图案的节距可为相同或不同,且彼此相对的两个定位检测图案可沿第一方向及第二方向产生至少二条检测图案连线。通过检测图案单元的设计且以其做为对准图案,以取得经半导体制程后所产生与其相应的线路图案单元间的差异信息,以得到检测结果并进行校正,以提升制程图案的准确性。此外,本发明还提供一种利用前述检测图案单元检测半导体制程的图案检测方法,及用于图案检测方法的图案检测系统。
- 检测图案单元方法系统
- [发明专利]图案形成方法及图案-CN201510646961.4在审
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秋山政彦
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株式会社东芝
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2015-10-08
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2016-04-20
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B41M1/06
- 图案形成方法包括如下步骤:准备基板的步骤,该基板具有在表面彼此相邻的疏液面以及表面能量与该疏液面不同的亲液图案;使该基板与墨水相接触的步骤;以及通过移动接触后的墨水面而对所述亲液图案印刷墨水的步骤。所述亲液图案包括线形的主亲液图案、及与该主亲液图案相连接的辅助亲液图案。疏液区域被规定于所述主亲液图案和所述辅助亲液图案之间的所述疏液面,所述疏液区域相对于所述墨水面的移动方向在上游侧被所述主亲液图案和所述辅助亲液图案之间的连接部位所封闭,从该连接部位起在下游侧开放。
- 图案形成方法
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