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- [发明专利]图案形成装置以及图案形成方法-CN201410250180.9在审
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中川良幸
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大日本网屏制造株式会社
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2014-06-06
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2015-01-21
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H01L21/67
- 本发明提供一种能够在基板上以良好的形状形成线图案的图案形成装置以及图案形成方法。该图案形状装置具有气流吹送单元(1C)和图案整形单元中的至少一个,其中,所述气流吹送单元(1C)与开始喷出所述涂敷液以及停止喷出所述涂敷液相对应地朝向所述基板(W)的在第一方向(X)上比向所述基板(W)供给所述涂敷液的供给位置(P1)更靠上游侧的表面喷射气体,并在所述涂敷液喷嘴(2)的喷出口(21)和所述基板(W)的表面的中间,向所述涂敷液的液流吹送气流(AF);所述图案整形单元向形成在所述基板(W)的表面上的图案(LP)呈脉冲状喷射气体来进行整形。
- 图案形成装置以及方法
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