专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]图案形成材料以及图案形成装置及图案形成方法-CN200580043931.9无效
  • 高岛正伸;池田贵美 - 富士胶片株式会社
  • 2005-12-16 - 2007-12-05 - G03F7/004
  • 本发明提供一种可以以形成阻焊剂(solder resist)之类的永久图案为目的,通过使用高透明的物质作为支撑体,形成得到的抗蚀剂(resist)面形状良好且更高精细的图案图案形成材料以及具备该图案形成材料的图案形成装置及使用该图案形成材料的图案形成方法所以,该图案形成材料以及具备该图案形成材料的图案形成装置及使用该图案形成材料进行曝光的图案形成方法的特征在于,在支撑体上至少具有感光层,该支撑体的浊度值为5.0%以下,而且该感光层至少含有粘合剂、聚合性化合物及光聚合引发剂
  • 图案形成材料以及装置方法
  • [发明专利]图案形成材料以及图案形成装置及图案形成方法-CN200680048863.X无效
  • 佐藤守正 - 富士胶片株式会社
  • 2006-11-20 - 2009-01-14 - G03F7/033
  • 本发明的目的在于提供一种图案形成材料,其是一种高感度而且显影性出色的、可以得到高析像度和高精细的图案图案形成材料,本发明的目的还在于提供具备该图案形成材料的图案形成装置及使用该图案形成材料的图案形成方法所以,本发明提供的图案形成材料的特征在于,具有支撑体和在该支撑体上至少具有的感光层,该感光层至少含有粘合剂、聚合性化合物及光聚合引发剂,该感光层的感度在20mJ/cm2以下,在曝光之后显影该感光层时的最短显影时间为另外,本发明还提供使用所述图案形成材料的图案形成装置及图案形成方法。
  • 图案形成材料以及装置方法
  • [发明专利]图案形成装置以及图案形成方法-CN201410250180.9在审
  • 中川良幸 - 大日本网屏制造株式会社
  • 2014-06-06 - 2015-01-21 - H01L21/67
  • 本发明提供一种能够在基板上以良好的形状形成线图案图案形成装置以及图案形成方法。该图案形状装置具有气流吹送单元(1C)和图案整形单元中的至少一个,其中,所述气流吹送单元(1C)与开始喷出所述涂敷液以及停止喷出所述涂敷液相对应地朝向所述基板(W)的在第一方向(X)上比向所述基板(W)供给所述涂敷液的供给位置(P1)更靠上游侧的表面喷射气体,并在所述涂敷液喷嘴(2)的喷出口(21)和所述基板(W)的表面的中间,向所述涂敷液的液流吹送气流(AF);所述图案整形单元向形成在所述基板(W)的表面上的图案(LP)呈脉冲状喷射气体来进行整形。
  • 图案形成装置以及方法
  • [发明专利]用于使用反转图案形成图案的方法-CN202110054311.6在审
  • 李政衡;朴萨汉;宋姝璃;林志英;郑相禧 - 爱思开海力士有限公司
  • 2021-01-15 - 2022-01-04 - H01L21/033
  • 本公开提供一种用于使用反转图案形成图案的方法。在形成图案的方法中,可以在下反转层上形成第一上反转图案和第二上反转图案。可以形成缓冲层以填充由第一上反转图案提供的第一开口部分。可以形成遮蔽图案以覆盖缓冲层的第二区域。可以使用遮蔽图案和第一上反转图案作为第一刻蚀掩模来执行刻蚀工艺,以形成第一下反转图案以及缓冲层图案和与遮蔽图案重叠的第二下反转图案,该第一下反转图案提供与第一开口部分重叠的第二开口部分。可以形成硬掩模层并进行刻蚀以分离填充第一开口部分和第二开口部分的硬掩模层第一图案。可以使用硬掩模层第一图案和第二上反转图案作为刻蚀掩模来执行刻蚀工艺,以形成与第二上反转图案重叠的第三下反转图案
  • 用于使用反转图案形成方法
  • [发明专利]图案测量装置及图案测量方法-CN202211231117.1在审
  • 山本琢磨;太田洋也;谷本宪史;安部悠介;田盛友浩;野尻正明 - 株式会社日立高新技术
  • 2017-10-13 - 2022-12-23 - G01B15/00
  • 提供一种图案测量装置和图案测量方法,图案测量装置具备运算装置,该运算装置基于由带电粒子束装置得到的信号,对形成在试料上的图案的尺寸进行测定,所述运算装置具有:位置偏移量算出部,其根据以任意的射束倾转角获取到的图像,算出不同高度的两个图案之间的与晶片表面平行的方向的位置偏移量;图案倾斜量算出部,其通过预先求出的所述位置偏移量与所述图案的倾斜量的关系式,根据所述位置偏移量来算出所述图案的倾斜量;以及射束倾转控制量算出部,其控制射束倾转角,使得与所述图案的倾斜量一致,设定为算出的射束倾转角,再次获取图像而进行图案的测量。
  • 图案测量装置测量方法

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