专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]图案测量装置和图案测量方法-CN201680082888.5有效
  • 太田洋也;谷本宪史;田盛友浩;山本琢磨 - 株式会社日立高新技术
  • 2016-04-13 - 2020-05-08 - G01B15/00
  • 本发明的目的在于提供一种与深槽、深孔的形成精度无关,能够高精度地测定槽底、孔底等的图案测量装置。因此,在本发明中,提供一种图案测量装置,其具备基于由带电粒子束装置得到的信号,测定在试样上形成的图案的尺寸的运算装置,上述运算装置根据基于对上述试样扫描带电粒子束而得到的检测信号,求出图案的第1部分与位于与该第1部分不同高度位置的第2部分之间的偏移以及上述图案的尺寸值,使用根据该检测信号求出的偏移以及表示上述图案的尺寸与上述偏移之间的关系的关系信息,修正上述图案的尺寸值。
  • 图案测量装置测量方法
  • [发明专利]图案形成方法和图案形成设备-CN200710108780.1有效
  • 奥岛真吾;关淳一 - 佳能株式会社
  • 2007-05-31 - 2007-12-05 - G03F7/00
  • 一种通过使用给模子设置的压印图案在基板上的图案形成材料上形成图案图案形成方法由下述步骤构成:制备在其上具有图案形成区域的基板;将处于未固化状态的所述图案形成材料在不同间距的多个位置上按分散状态设置在所述图案形成区域中;以及在所述图案形成材料变形为与给所述模子设置的所述压印图案的形状相对应的形状的状态下,固化所述图案形成材料。
  • 图案形成方法设备
  • [发明专利]图案形成方法和图案形成装置-CN200610080940.1有效
  • 金桢吉;李文九;李锡原;朴正宇;赵成训 - 三星电子株式会社
  • 2006-05-23 - 2007-05-30 - B41M5/26
  • 本发明涉及一种图案形成方法和图案形成装置。依据本发明所提供的图案形成方法包含步骤:将图案形成对象安放到安放部;通过对软模的背面施加压力使所述软模的中央部分向所述图案形成对象突出;从所述中央部分开始将所述软模紧贴到所述图案形成对象;在所述软模与所述图案形成对象紧贴的状态下,将所述软模的图案转印到所述图案形成对象上;分离所述软模与所述图案形成对象。由此得到可以以低成本形成高品质图案图案形成方法。
  • 图案形成方法装置

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