专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]图案检查装置以及图案检查方法-CN201911118601.1在审
  • 井上贵文;中岛和弘;矶部学;秋山裕照 - 纽富来科技股份有限公司
  • 2019-11-15 - 2020-05-22 - H01L21/66
  • 本发明涉及图案检查装置以及图案检查方法。本发明的一方式的图案检查装置具备:光学图像取得机构,从形成有多个图形图案的基板取得多个区域的光学图像数据;多个比较处理电路,进行裸片-裸片检查处理与裸片-数据库检查处理中的一方的处理,该裸片-裸片检查处理将光学图像数据彼此进行比较,该裸片-数据库检查处理将光学图像数据与根据设计图案数据制作的参照图像数据进行比较;以及检查处理电路,以如下方式进行控制,按多个区域的每个区域,分别将该区域的光学图像数据向多个比较处理电路中的按每个区域可变地设定的数量的比较处理电路输出
  • 图案检查装置以及方法
  • [发明专利]图案化材料和图案化薄膜-CN202010761964.3在审
  • 张宇;曾志雄;周慧慧 - 华为技术有限公司
  • 2020-07-31 - 2022-02-18 - G03F7/075
  • 本申请提供一种图案化材料,包括聚硅氧烷,所述聚硅氧烷包括至少一个由Si‑O键重复构成的环状结构和连接在所述环状结构中的Si原子上的有机基团;其中,至少一个所述环状结构中的部分Si原子被金属元素取代,和/本申请图案化材料在1nm~15nm X射线照射下,具有高敏感性、高图案分辨率,可实现高质量、高效率图案化工艺。将本申请图案化材料用于芯片等电子元器件的制备,可提高电子元器件精度和制备效率。本申请还提供了采用该图案化材料形成的图案化薄膜。
  • 图案材料薄膜
  • [发明专利]图案曝光装置以及图案曝光方法-CN202180082822.7在审
  • 鬼头义昭;加藤正纪 - 株式会社 尼康
  • 2021-12-03 - 2023-08-08 - G02B26/12
  • 具有在基板上描绘图案的描绘单元的图案曝光装置具有:第1光源装置,其射出第1光束;第2光源装置,其射出第2光束;光束合成部,其将来自第1光源装置的第1光束和来自第2光源装置的第2光束以分别入射到描绘单元的方式进行合成光束所形成的第1点光的形状与第2光束所形成的第2点光的形状相互不同的方式使入射到光束合成部的第1光束与第2光束各自的截面形状相互不同;以及控制装置,其以利用第1点光和第2点光中的任意一方或双方对在基板上描绘的图案的至少边缘部进行描绘的方式进行控制
  • 图案曝光装置以及方法
  • [发明专利]图案化方法及图案化装置-CN201780020398.7有效
  • 渡部功治 - 长濑化成株式会社
  • 2017-03-01 - 2021-01-22 - B29C64/135
  • 本发明提供一种图案化方法,其不需要将光固化图案(固化物)从脱模层剥离,能够简便且在短时间内形成光固化图案图案化方法具备以下工序:i)对具备具有光照射面的底部的造型用托盘供给具有比重d1的液状脱模材料、及具有比比重d1小的比重d2且与脱模材料呈相分离的液状的图案化材料,设置与底部接触的脱模材料的第1液层,同时在第1液层上形成与其接触的图案化材料的第2液层,在第2液层的与第1液层的界面附近形成图案化材料的液膜的工序;和ii)隔着第1液层对液膜照射光,使液膜光固化而形成图案的工序。
  • 图案方法化装
  • [发明专利]图案检查装置及图案检查方法-CN201410053224.9有效
  • 藤原成章 - 斯克林集团公司
  • 2014-02-17 - 2017-04-19 - G01N21/892
  • 本发明涉及图案检查装置及图案检查方法。在该图案检查装置上设有第一光源部(331),将光照射至透明基材(9)的形成有图案的一侧主表面(91)上;第二光源部(332),将光照射至另一侧主表面(92)上;一个第一受光部(341),接受第一光源部(331)的光中被图案反射的反射光和第二光源部(332)的光中透过了透明基材(9)的透过光。而且,一边使透明基材(9)连续移动,一边交替点亮第一光源部(331)和第二光源部(332),从而用一个第一受光部(341)获取基于图案的反射光而形成的反射图像和基于透明基材(9)的透过光而形成的透过图像由此,能够减少图案检查装置的部件数目。
  • 图案检查装置方法

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