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[实用新型]一种晶圆解胶去环装置-CN202321138259.3有效
发明人：赵裕兴;杨磊 -专利权人：苏州德龙激光股份有限公司
申请日： 2023-05-12 - 公布日： 2023-10-27 - 主分类号： H01L21/683 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种晶圆解胶去环装置，包括吸附对位载台组件、Y向对位轴、Z向升降轴、θ旋转轴、右剥刀组件和左剥刀组件；吸附对位载台组件的正上方设置有Y向对位轴，Y向对位轴可驱动上方的Z向升降轴沿着Y轴方向移动，Z向升降轴可驱动θ旋转轴沿着Z轴方向移动，θ旋转轴用于抓取位于吸附对位载台组件上的晶圆，右剥刀组件和左剥刀组件分别位于吸附对位载台组件上沿着X轴方向的两侧，且用于对晶圆上的废料环剥离处理。本实用新型是针对激光切割方式去环而研制的一种便于外围的晶圆环和内部晶圆分离的装置，采用双侧的UV灯照射和双侧滚轮剥刀，提高解胶去环的效率。
一种晶圆解胶去环装置

[实用新型]具有除边机构的晶圆涂布设备-CN202122666663.5有效
发明人：王锦山;郑新峰;徐建煌;张恒 -专利权人：上海德沪涂膜设备有限公司
申请日： 2021-11-02 - 公布日： 2022-05-13 - 主分类号： B05C5/02 文献下载
摘要：本实用新型描述一种具有除边机构的晶圆涂布设备，其包括支承晶圆的支承机构、向晶圆供应浆料的供料机构、驱动供料机构的驱动机构、以及对晶圆的边缘进行清除的除边机构，支承机构包括承载晶圆的托盘、以及驱动托盘转动的转动部，供料机构具有容纳浆料的腔室、以及连通于腔室的料口，料口的长度不小于晶圆的直径，驱动机构以使料口沿着规定方向由支承机构的一侧移动到相对的另一侧的方式驱动供料机构，除边机构具有位移部、以及连接于位移部的清除部，位移部驱使清除部抵接于承载在托盘上的晶圆的边缘。根据本实用新型，能够便于对晶圆的边缘进行清除。
具有机构晶圆涂布设

[实用新型]一种晶圆晶粒的圆盘输送构造-CN202223091999.4有效
发明人：张林;葛国鹏;金朝龙 -专利权人：苏州天弘激光股份有限公司
申请日： 2022-11-21 - 公布日： 2023-08-22 - 主分类号： H01L21/683 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种晶圆晶粒的圆盘输送构造，转盘装置、进料装置、静电发生装置、去离子装、导正装置以及若干出料装置组成晶圆的输送构造。本实用新型提供一种晶圆晶粒的圆盘输送构造，采用静电发生装置导入静电方式使玻璃盘体产生静电，使晶粒吸附在盘体上，实现小颗粒物体高速吸附传输；而且，设有去离子装置中，去离子器对工件上电离子进行去除；避免影响工件的后续加工工序本实用新型免除机械式的固定方式，方便快捷，能够避免晶圆在运输的过程中刮花表面进行，保证工件完整无损。
一种晶粒圆盘输送构造

[发明专利]晶圆运输盒-CN202210858117.8在审
发明人：金相振 -专利权人： 3S韩国株式会社
申请日： 2022-07-20 - 公布日： 2023-03-10 - 主分类号： H01L21/673 文献下载
摘要：本发明提供一种晶圆运输盒，其特征在于，包括：下部壳体(200)，包括底板(201)和一个以上的下部挡边(210)，所述一个以上的下部挡边(210)垂直形成于所述底板(201)的上表面以形成弧形的壁，以在内部空间(A)中堆叠晶圆；上部壳体(100)，包括顶板(101)和上部挡边(110)，所述上部挡边(110)垂直形成于所述顶板(101)的下表面以形成弧形的壁；及侧壁部件(300)，结合于所述下部挡边(210)的内侧，其中，当所述上部壳体(100)与下部壳体(200)结合时，所述侧壁部件(300)固定堆叠在所述内部空间(A)中的晶圆。根据本发明，可以提供一种为了使在移动晶圆时产生的振动和冲击等均匀地维持在最小而具有固定堆叠晶圆的固定手段的晶圆运输盒。
运输

[发明专利]晶圆运输盒-CN202210858846.3在审
发明人：金相振 -专利权人： 3S韩国株式会社
申请日： 2022-07-20 - 公布日： 2023-03-10 - 主分类号： H01L21/673 文献下载
摘要：本发明提供晶圆运输盒，其特征在于，包括：下部壳体(200)，包括底板(201)和一个以上的下部挡边(210)，所述一个以上的下部挡边(210)垂直形成于所述底板(201)的上表面以形成弧形的壁而在内部空间(A)中堆叠晶圆；及上部壳体(100)，包括顶板(101)和上部挡边(110)，所述上部挡边(110)垂直形成于所述顶板(101)的下表面以形成弧形的壁，所述下部挡边(210)以预定间隔包括朝向内侧面的一个以上的突出部件(215)，当所述上部壳体(100)与下部壳体(200)结合时，所述突出部件(215)固定堆叠在所述内部空间(A)中的晶圆。根据本发明，可以提供为了使在移动晶圆时产生的振动和冲击等均匀地维持最小而具有固定堆叠晶圆的固定手段的晶圆运输盒。
运输

[实用新型]一种晶圆外观检测装置-CN202221365719.1有效
发明人：李林稳;林昌达;郭海兵;曾志东;叶胜浓 -专利权人：深圳华工量测工程技术有限公司
申请日： 2022-06-02 - 公布日： 2023-02-03 - 主分类号： G01N21/01 文献下载
摘要：本实用新型涉及晶圆生产技术领域，具体涉及一种晶圆外观检测装置，包括底板，所述底板上设有外观检测工位、视觉检测机构以及XY直线模组，所述外观检测工位设置于所述XY直线模组的一侧，所述视觉检测机构安装于所述XY直线模组上；所述外观检测工位包括基板、晶圆定位治具、旋转驱动机构以及寻边纠偏机构；所述旋转驱动机构和所述寻边纠偏机构均设置于所述基板上，所述晶圆定位治具转动安装于所述基板上，且所述晶圆定位治具与所述旋转驱动机构连接本实用新型将寻边纠偏机构设置在基板上，通过旋转驱动机构带动晶圆定位治具转动，配合寻边纠偏机构，可以实现自动寻边纠偏功能，且结构简单，易于操作，成本低。
一种外观检测装置

[发明专利]一种晶圆对中装置及方法-CN201810276575.4在审
发明人：赵宁;白富强;陈波 -专利权人：上海新创达智能科技有限公司
申请日： 2018-03-30 - 公布日： 2018-08-28 - 主分类号： H01L21/68 文献下载
摘要：本发明公开了一种晶圆对中装置及方法，其中晶圆对中装置包括控制器，可旋转的支撑台组件，若干夹爪组件，可径向伸缩的装设于支撑台组件上，且布置在晶圆摆放位置的四周侧，张力模块，连接至夹爪组件，驱动机构，通过张力模块与夹爪组件连接，驱动机构通过张力模块带动夹爪组件伸缩以调整晶圆位置，以及缺边寻找传感器，设置在支撑台组件上，以感测晶圆的缺边位置，其中，控制器根据张力模块的张力变化控制夹爪组件对晶圆的夹紧力，并且根据缺边寻找传感器的检测结果控制支撑台组件旋转以带动晶圆到预设角度，控制器控制驱动机构使其带动夹爪组件将晶圆移动到预设位置。实现对于超薄、形状不规则的晶圆的快速对中。
晶圆夹爪组件张力模块支撑台对中装置驱动机构缺边控制器传感器种晶张力变化控制控制器控制摆放位置检测结果晶圆位置径向伸缩可旋转的预设位置不规则夹紧力伸缩感测预设装设移动

[发明专利]提升晶边良率的方法-CN201510557758.X有效
发明人：陈亚威;顾费东 -专利权人：无锡华润上华科技有限公司
申请日： 2015-09-02 - 公布日： 2019-07-23 - 主分类号： H01L21/768 文献下载
摘要：本发明涉及一种提升晶边良率的方法，包括以下步骤：提供晶圆衬底；在晶圆衬底上涂胶形成第一光刻胶层，并进行有源区洗边；在晶圆衬底上未被第一光刻胶层覆盖的位置形成氧化硅隔离结构；在晶圆衬底上形成有源区；在有源区上形成层间介质；在层间介质上涂胶形成第二光刻胶层，并进行接触孔洗边；在第二光刻胶层的掩蔽下刻蚀层间介质形成接触孔；通过沉积工艺向接触孔内填充金属；对填充了金属的层间介质进行平坦化处理；有源区洗边步骤中的洗边区域至少从晶圆边缘延伸至沉积区域边缘本发明通过设定合适的洗边区域，无需额外的成本就可提升晶边良率。
提升晶边良率方法

[发明专利]一种晶圆质量异常的处理方法-CN202211290321.0在审
发明人：叶顺闵;林伯璋;蔡孟霖;许邦泓;蘇政宏 -专利权人：滁州钰顺企业管理咨询合伙企业（有限合伙）
申请日： 2022-10-21 - 公布日： 2022-12-20 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明属于半导体制造技术领域，具体涉及一种晶圆质量异常的处理方法，包括收取晶圆来料一批，从晶圆的来料到出货，个站均设有首件检查、自检与制程检验，能有效把关质量与品质，而厂内也设有异常处理机制与应变措施，并由权责部门去评估分析异常原因以利改善与调整，针对RMA的产品也有对应的处理机制控管，对于品质异常导致客诉或可靠度测试、仪器校验、环境品质等相关问题，更有应对机制去避免异常扩大，本发明不仅可标准化晶圆质量异常的处理流程
一种质量异常处理方法

[发明专利]电化学镀铜洗边装置以及电化学镀铜洗边方法-CN201610790760.6有效
发明人：曹玉荣;张守龙;赵正元;李虎 -专利权人：上海华力微电子有限公司
申请日： 2016-08-31 - 公布日： 2019-07-23 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明提供了一种电化学镀铜洗边装置以及电化学镀铜洗边方法。本发明的电化学镀铜洗边装置包括：用于抓住晶圆的侧面的多个垂直夹具、布置在晶圆侧边的喷嘴、以及与喷嘴连接的洗边溶液供给装置；其中，垂直夹具具有中间镂空结构，使得垂直夹具与晶圆的侧面接触的区域为中间镂空结构的边框部分本发明采用具有合适强度的材料，改善垂直夹具的结构，将其做成中间镂空的结构；以减小垂直夹具与晶圆接触的面积，从而减少当洗边溶液经过时垂直夹具对洗边溶液的回弹量。由此，本发明在保证洗边效果的前提下，提出了一种可提高洗边宽度均匀性的方案，有效提高晶圆边缘芯片的质量，从而提高良率，减少经济损失。
电化学镀铜装置以及方法

[发明专利]支持偏转定位的晶圆预定位方法及装置-CN202310351416.7有效
发明人：戴金方;季建峰 -专利权人：无锡卓海科技股份有限公司
申请日： 2023-04-04 - 公布日： 2023-06-27 - 主分类号： H01L21/68 文献下载
摘要：本发明提出一种支持偏转定位的晶圆预定位方法及装置。其包括：寻心定位时，配置预定位传感器组内的标准预定位单元组对晶圆进行寻心定位检测；寻边定位时，基于所述寻边定位时的预设偏转角度以及晶圆在预定位时的转动方向，将与预设偏转角度正对应的预定位传感器配置为寻边定位目标传感器，将预定位传感器组内除寻边定位目标传感器所在传感单元对外其余的传感单元对配置为偏转寻边定位单元组；利用偏转寻边定位单元组对转动中的晶圆进行寻边定位，以将晶圆的定位标识体与寻边定位目标传感器正对应。
支持偏转定位预定方法装置

[实用新型]一种用于承载方形半导体晶圆的承载盒-CN202122676776.3有效
发明人：聂恒亮;倪酩杰;蔡德敏 -专利权人：苏州纳维科技有限公司
申请日： 2021-11-03 - 公布日： 2022-04-15 - 主分类号： H01L21/673 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种用于承载方形半导体晶圆的承载盒，包括上盖和下盖，该上盖的边部和下盖的边部连为一体；所述上盖相对于所述下盖能够打开或关闭；所述下盖具有多个方形的晶圆容纳槽，且该晶圆容纳槽为下窄上宽的梯形结构；方形半导体晶圆放置于所述晶圆容纳槽中，且方形半导体晶圆呈悬空状态；所述上盖上设有多个弹性卡角，每个晶圆容纳槽分别对应两个弹性卡角；每个弹性卡角分别卡抵在方形半导体晶圆的边缘处。该承载盒可以实现对方形半导体晶圆的固定，且半导体晶圆的装取也较方便，并可以保证半导体晶圆的洁净度。
一种用于承载方形半导体

[实用新型]一种降低晶圆运输过程中碎边与碎片风险的晶圆盒-CN202321409680.3有效
发明人：刘晓辉 -专利权人：成都海威华芯科技有限公司
申请日： 2023-06-05 - 公布日： 2023-10-27 - 主分类号： H01L21/673 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种降低晶圆运输过程中碎边与碎片风险的晶圆盒，属于半导体设备技术领域，晶圆盒本体内设有承载晶圆的腔体；晶圆盒本体两侧均开设有竖直盲槽，盲槽内均设有缓冲杆，缓冲杆顶部均经弹性件与晶圆盒本体连接在搬运晶圆盒过程中，弹性件处于拉伸状态，此时缓冲杆向下运动，并带动伸缩杆进行伸缩位移，使伸缩杆接触至晶圆表面，为晶圆提供缓冲或固定晶圆，进而降低晶圆运输过程中碎边和碎片风险。
一种降低运输过程中碎边碎片风险晶圆盒

[发明专利]在晶圆表面的聚酰亚胺前驱体的旋涂方法和系统-CN202010729351.1有效
发明人：吕其尧 -专利权人：上海先进半导体制造有限公司
申请日： 2020-07-27 - 公布日： 2022-10-14 - 主分类号： B05D1/02 文献下载
摘要：本发明公开了一种在晶圆表面的聚酰亚胺前驱体的旋涂方法和系统。所述旋涂方法包括以下步骤：控制喷头静止在晶圆中心并喷涂所述聚酰亚胺前驱体；控制所述喷头从所述晶圆中心向所述晶圆的边缘移动并喷涂所述聚酰亚胺前驱体，所述喷头移动的同时控制所述晶圆旋转，其中，所述喷头喷涂持续的时长小于等于所述晶圆旋转的时长；控制所述晶圆继续旋转。本发明通过控制喷头一边喷涂一边移动的同时控制晶圆旋转，使得喷涂的聚酰亚胺前驱体在晶圆上沿径向有更大范围的分布，有利于聚酰亚胺前驱体的均匀涂布，从而减少了单片晶圆需要的液量，降低了原料成本，减少了有机废液的排放量
表面聚酰亚胺前驱方法系统

[发明专利]去毛边装置和去毛边系统-CN201711053882.8在审
发明人：饶桥兵;郑强 -专利权人：蓝思智能机器人（长沙）有限公司
申请日： 2017-10-31 - 公布日： 2019-05-07 - 主分类号： B28D7/04 文献下载
摘要：本发明提供了一种去毛边装置和去毛边系统，涉及自动化设备领域。该去毛边装置包括旋转机构和去毛边机构；所述旋转机构用于固定圆片物料，并带动圆片物料沿所述旋转机构的输出轴做旋转运动；所述去毛边机构包括去边治具和弹性补偿组件；所述弹性补偿组件用于调节所述去边治具到所述旋转机构的距离，以使所述去边治具与圆片物料的边沿接触；所述去边治具用于去除圆片物料的毛边。所述去毛边系统包括机架、吸废料组件，以及所述的去毛边装置；所述吸废料组件与所述去毛边装置均设置在所述机架上；所述吸废料组件用于处理毛边废料。本发明解决了传统去毛边方式效率低，去除效果不明显，容易导致工伤事故的技术问题。
去毛边去毛边装置旋转机构去边治具圆片弹性补偿毛边去除自动化设备方式效率工伤事故固定圆片输出轴