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[发明专利]无尘室室内循环空气净化设备-CN200710149740.1无效
发明人：郑石治;林哲弘;陈寿忠;徐瑞珠;刘邦昱;洪守铭 -专利权人：华懋科技股份有限公司
申请日： 2007-09-05 - 公布日： 2009-03-11 - 主分类号： A61L9/00 文献下载
摘要：一种无尘室室内循环空气净化设备，主要于外气入口连设一外气空调箱(Make Up Air Unit，MAU)，该外气空调箱的出口直接导入一无尘室工艺设备区，该无尘室工艺设备区内设有一微污染净化设备及一特殊工艺区，该微污染净化设备中设有至少一吸附机构，该吸附机构上涂布有一吸附层，以吸附无尘室室内循环空气内所含的微污染物，该微污染净化设备与无尘室工艺设备区的特殊工艺区连设，且该无尘室工艺设备区再与一工艺废气处理设备连接，该工艺废气处理设备供处理无尘室工艺设备区内的气体，经处理后再排放至大气中；由此，以净化无尘室工艺设备区的循环空气。
无尘室室内循环空气净化设备

[发明专利]一种扩散构件和半导体工艺设备-CN202310809470.1在审
发明人：张佳琦;尹艳超;谭华强;方成;吴凤丽 -专利权人：拓荆科技(上海)有限公司
申请日： 2023-07-03 - 公布日： 2023-09-22 - 主分类号： C23C16/455 文献下载
摘要：本发明的实施例提供了一种扩散构件及半导体工艺设备，涉及半导体制造技术领域。扩散构件用于安装在进气口，以进行导流和均流。由进气口流入的工艺气体可沿导流面和导流通道流动。其能够提高半导体工艺设备的镀膜厚度的均一性。
一种扩散构件半导体工艺设备

[实用新型]一种工艺设备收尘系统-CN202123301646.8有效
发明人：连江平;刘长威;郑传伟 -专利权人：北京当升材料科技股份有限公司
申请日： 2021-12-24 - 公布日： 2022-09-20 - 主分类号： B01D46/00 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种带有负压调节机构的工艺设备收尘系统，属于工艺设备收尘技术领域。该系统包括工艺设备本体、设于所述工艺设备本体上的排气装置以及通过管路与所述排气装置连通除尘系统，还包括负压调节机构，所述负压调节机构设于所述管路上。本实用新型通过设计负压调节机构，在收尘系统和工艺设备连接位置引入补风，减少收尘系统的负压直接作用于工艺设备，减少物料损失，同时降低初级过滤系统的滤材堵塞频率。
一种工艺设备收尘系统

[发明专利]半导体工艺设备与半导体装置的制造方法-CN201610999050.4有效
发明人：张简秀峰;刘又诚;吕祯祥;张哲诚 -专利权人：台湾积体电路制造股份有限公司
申请日： 2016-11-14 - 公布日： 2021-07-23 - 主分类号： H01J37/32 文献下载
摘要：本发明的一些实施例公开了一种半导体工艺设备与半导体装置的制造方法。此半导体工艺设备包括载台以及环绕载台的边缘环。此边缘环包括具有第一粗糙度的主表面。边缘环还包括连接主表面的第一侧壁。
半导体工艺设备装置制造方法

[实用新型]一种用于磁芯成型的高温压制生产线-CN202223354140.8有效
发明人：张光刊;林涛;吴长和;王劲 -专利权人：江苏蓝沛新材料科技有限公司
申请日： 2022-12-14 - 公布日： 2023-05-05 - 主分类号： H01F41/02 文献下载
摘要：本实用新型提供一种用于磁芯成型的高温压制生产线，属于磁芯技术领域，包括：多个工艺设备，多个工艺设备靠近于一检测及脱模区域设置，多个工艺设备包括填料机、填粉机以及热压机；治具于各个工艺设备和检测及脱模区域之间进行输送，检测及脱模区域将高温压制生产过程中的各阶段上游工艺设备输出端的治具检测后输送至下游工艺设备输入端。有益效果：通过设置检测及脱模区域，并且检测及脱模区域可与高温压制生产过程中任意工艺设备进行治具的输送，从而使得每一工艺阶段检测后再进行下一工艺阶段的执行，保证产品良率，同时可实现磁芯产品的自动化高温压制生产
一种用于成型高温压制生产线

[发明专利]一种基于DCS系统工艺设备运行工况一键切换方法-CN202111661216.9在审
发明人：马程耀;王琪;朱高斌;汪安平;祁勋;孟安军;浦绍俭;袁屹昆;何朝均;乔峰 -专利权人：江苏核电有限公司
申请日： 2021-12-31 - 公布日： 2022-04-22 - 主分类号： G05B19/418 文献下载
摘要：本发明属于DCS控制技术领域，具体涉及一种基于DCS系统工艺设备运行工况一键切换方法，包括：步骤1、预先设置工艺设备运行工况；步骤2、工艺设备正常运行工况控制逻辑组态；步骤3、工艺设备非正常运行工况控制逻辑组态；步骤4、控制逻辑组态下载及与计算机画面关联；步骤5、工艺设备运行工况一键切换实施。本发明能够有效提高工作效率，提高控制逻辑的安全性、准确性，保证工艺系统的安全稳定运行。
一种基于 dcs 系统工艺设备运行工况切换方法

[发明专利]泛能站设备的诊断方法、云服务器及系统-CN201710641663.5有效
发明人：黄宇斌 -专利权人：新奥泛能网络科技股份有限公司
申请日： 2017-07-31 - 公布日： 2021-03-12 - 主分类号： G05B19/048 文献下载
摘要：本发明公开了一种泛能站设备的诊断方法、云服务器及系统，其中，方法包括：根据多个工艺设备的每个工艺设备的类型获取每个工艺设备的相关状态参数；判断每个工艺设备的相关状态参数是否满足预设条件；如果满足预设条件，则根据每个工艺设备的相关状态参数得到每个工艺设备的当前运行状态；根据每个工艺设备的当前运行状态和相关状态参数预测预设时间内运行走势，并根据预设时间内运行走势得到诊断结果。该方法可以根据预设时间内运行走势得到诊断结果，从而可以对设备各项性能指标进行实时监测，实现基于工业云对泛能站设备进行在线诊断的目的，提高诊断的精确性，且提高诊断的实时性，有效保证监控可靠性，降低运营成本
泛能站设备诊断方法服务器系统

[发明专利]一种汽车环境风洞工艺设备控制系统-CN202011613418.1有效
发明人：程益恒;康永泰;李跃;石运军;刘继月 -专利权人：中国航天空气动力技术研究院
申请日： 2020-12-30 - 公布日： 2023-04-14 - 主分类号： G01M9/00 文献下载
摘要：本申请公开了一种汽车环境风洞工艺设备控制系统，该系统包括：计算机设备、控制子系统以及汽车环境风洞中多个工艺设备子系统，其中，计算机设备，用于接收控制子系统发送的每个工艺设备子系统的运行数据，根据运行数据以及预设的试验流程确定每个工艺设备子系统的目标配置参数信息；控制子系统，用于接收目标配置参数信息以及每个工艺设备子系统发送的运行数据，将运行数据发送给计算机设备以及根据目标配置参数信息以及预设控制策略生成控制指令；每个工艺设备子系统，用于接收控制指令，并根据控制指令自动控制其运行本申请解决了现有技术中工艺设备控制系统的自动化程度较差，控制的效率较低的技术问题。
一种汽车环境风洞工艺设备控制系统

[发明专利]反应器壁上的金刚石涂层及其制造方法-CN01821558.0无效
发明人： R·J·奥多尼尔;J·E·道格尔蒂;C·C·常 -专利权人：兰姆研究公司
申请日： 2001-11-21 - 公布日： 2004-04-07 - 主分类号： C23C16/44 文献下载
摘要：半导体工艺设备如等离子体腔的一种包括一个含金刚石的表面的抗腐蚀部件，及其制造方法。
反应器壁上金刚石涂层及其制造方法

[发明专利]半导体工艺设备的碳氮化物涂层部件及其制造方法-CN01822451.2无效
发明人： R·J·奥丹尼尔;C·C·常;J·E·多尔蒂 -专利权人：兰姆研究公司
申请日： 2001-11-21 - 公布日： 2004-04-07 - 主分类号： C23C14/06 文献下载
摘要：半导体工艺设备如等离子体腔的一种包括一个含碳氮化物的表面的抗腐蚀部件，及其制造方法。
半导体工艺设备氮化物涂层部件及其制造方法

[发明专利]一种整体式催化器进气弯管热气胀形工艺设备及加工工艺-CN201810384154.3在审
发明人：程鹏志;葛宇龙;夏勇;周青;郑四发 -专利权人：清华大学苏州汽车研究院（相城）;华航清宇（苏州）汽车零部件有限公司
申请日： 2018-04-26 - 公布日： 2018-08-14 - 主分类号： F01N3/28 文献下载
摘要：本发明公开了一种整体式催化器进气弯管热气胀形工艺设备及加工工艺，所述热气胀形工艺设备用于使大弯曲半径的弯管坯料加工成小弯曲半径的弯管坯料，所述热气胀形工艺设备包括用于加热并传送大弯曲半径的弯管坯料的加热炉传送系统该整体式催化器进气弯管热气胀形工艺设备结构简单，可使催化器进气弯管一次整体热气胀形成型，且成型后的产品结构刚度高、精度好、壁厚分布均匀，避免了破裂、起皱等成形缺陷，而且整体零件的制造工序少、成本低。
弯管热气胀形工艺坯料进气弯管催化器整体式坯料加工胀形成型胀形传送加热炉搬运机器人壁厚分布成形缺陷传送系统流体压力设备结构整体零件制造工序传送台出料起皱加热搬运成型产品结构破裂

[发明专利]一种基板固定装置及制作方法以及固定基板的方法-CN201110319335.6有效
发明人：王玉林 -专利权人：京东方科技集团股份有限公司
申请日： 2011-10-19 - 公布日： 2012-08-08 - 主分类号： H01L21/687 文献下载
摘要：本发明公开了一种基板固定装置，用于将基板(1)固定在工艺设备中，所述基板固定装置上表面设置有基板容置槽(13)以固定所述基板(1)，所述基板固定装置的外形尺寸设置为使得其能够固定在所述工艺设备上。本发明通过在不同的工艺设备中采用基板固定装置，从而扩大了同一基板对不同工艺设备的适应范围，保证了基板在不同工艺设备中的准确定位，解决了同一基板在不同工艺设备中基板托架尺寸不一致引起的错位问题。
一种固定装置制作方法以及方法

[发明专利]换热式转化炉中上升管的制造工艺-CN201010190944.1无效
发明人：田冬冬 -专利权人：江苏双勤民生冶化设备制造有限公司
申请日： 2010-05-25 - 公布日： 2010-09-15 - 主分类号： B21C37/06 文献下载
摘要：本发明涉及到一种换热式转化炉中上升管的制造工艺，它是由中频炉冶炼→离心浇铸→冲孔→交叉辊挤压→定径机挤压→冷床冷却→机械精加工→成品。本发明和轧制工艺与设备相比，轧制工艺设备复杂，而离心铸造工艺简单，节约成本，提高收益。
换热式转化上升制造工艺

[发明专利]半导体工艺设备的副产物处理装置及半导体工艺设备-CN202011267623.7有效
发明人：姚晶;谢远祥;韩子迦 -专利权人：北京北方华创微电子装备有限公司
申请日： 2020-11-13 - 公布日： 2022-06-17 - 主分类号： B01D45/08 文献下载
摘要：本发明提供一种半导体工艺设备的副产物处理装置及半导体工艺设备，半导体工艺设备的副产物处理装置包括冷却组件和分离组件，其中，冷却组件与半导体工艺设备的工艺腔室的排出口连通，用于对自排出口排出至其中的副产物进行冷却本发明提供的半导体工艺设备的副产物处理装置及半导体工艺设备，能够对副产物中的气液进行分离，以满足环保要求。
半导体工艺设备副产物处理装置

[发明专利]用于清洁工艺设备的方法和原位清洁装置以及工艺设备-CN201910305238.8在审
发明人： C·博登施泰纳;V·克诺奇;于尔根·泽尔纳;伊娃·拜尔勒 -专利权人：克朗斯股份公司
申请日： 2019-04-16 - 公布日： 2019-10-29 - 主分类号： B08B9/032 文献下载
摘要：本发明涉及一种用于清洁工艺设备(400)的方法和原位清洁装置以及工艺设备，特别是食品和饮料工业中的工艺设备，所述方法包括：向液体清洁剂(102)中添加气体介质(103)，以便形成清洁流(105)，所述清洁流以气泡流或以塞状流的形式流过待清洁的所述工艺设备的部件
工艺设备原位清洁装置清洁工艺清洁液体清洁剂添加气体饮料工业气泡流塞状流