专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]一种风能制冷储能装置-CN202211656939.4在审
  • 张国印;王华强;张兴奎;张哲诚 - 河南永联科技有限公司
  • 2022-12-22 - 2023-08-18 - F03D9/17
  • 本发明公开了一种风能制冷储能装置,通过设置风力空气压缩装置利用风能对空气进行压缩,形成压缩空气并输出至压缩空气管道内的储气装置进行暂存;并设置气举循环膨胀制冷装置,压缩空气进入该装置的循环制冷介质中膨胀并吸热,使得循环制冷介质的温度降低,得到的降温后的循环制冷介质则是输出至蓄冷装置进行蓄冷储能。当外部供冷需求端存在供冷需求时,即可引出蓄冷装置中的循环制冷介质进行供冷。本实施例的风能制冷储能装置中,风能可转化为压缩空气在储气装置中储能,同时可转化为循环制冷介质在蓄冷装置内蓄冷储能,可实现风能的高效利用。
  • 一种风能制冷装置
  • [发明专利]用于制造FinFET和半导体器件的方法及半导体器件-CN202310027371.8在审
  • 张哲诚;林志翰;曾鸿辉 - 台湾积体电路制造股份有限公司
  • 2016-11-28 - 2023-06-23 - H01L21/336
  • 本发明的实施例提供了一种制造鳍式场效应晶体管的方法,包括:图案化衬底以形成沟槽,在沟槽之间形成沿第一方向延伸的半导体鳍;在沟槽中形成绝缘体;形成介电层以覆盖半导体鳍和绝缘体;在介电层上形成在垂直于第一方向的第二方向上延伸的第一、第二伪栅极带,并且第一伪栅极带的宽度小于第二伪栅极带的宽度;在第一、第二伪栅极带的侧壁上分别形成厚度不同的第一间隔件和第二间隔件;移除第一、第二伪栅极带且仅减薄介电层在第一伪栅极带下方且与其接触的部分以在第一间隔件之间形成包括凹口的减薄部分;在第一、第二间隔件之间形成第一、第二栅极,第一栅极延伸至凹口内。本发明的实施例还提供了一种制造半导体器件的方法以及一种半导体器件。
  • 用于制造finfet半导体器件方法
  • [发明专利]半导体器件及其制造方法-CN202211131767.9在审
  • 张哲诚;林志翰;曾鸿辉 - 台湾积体电路制造股份有限公司
  • 2017-06-23 - 2022-12-09 - H01L29/78
  • 本发明的实施例公开了一种用于制造半导体器件(例如,鳍式场效应晶体管)的代表性方法,该方法包括以下步骤:形成具有第一横向宽度的栅极结构,并且在栅极结构上方形成第一通孔开口。第一通孔开口具有暴露栅极结构的最上表面的最下部。第一通孔开口的最下部具有第二横向宽度。第二横向宽度与第一横向宽度的比率小于约1.1。邻近栅极结构横向设置源极/漏极(S/D)区。接触部件设置在S/D区上方。第二通孔开口延伸至并暴露接触部件的最上表面。第二通孔开口的最下部设置在栅极结构的最顶部之上。本发明的实施例还公开了一种半导体器件。
  • 半导体器件及其制造方法
  • [发明专利]半导体器件及半导体器件的制造方法-CN201611021154.4有效
  • 张哲诚;林志翰;曾鸿辉 - 台湾积体电路制造股份有限公司
  • 2016-11-15 - 2022-11-11 - H01L21/8234
  • 一种半导体器件,其包括衬底、多个绝缘体、介电层以及多个栅极。衬底包括多个沟槽及在多个沟槽之间的半导体鳍片。多个绝缘体配置在多个沟槽内。介电层覆盖半导体鳍片以及多个绝缘体。多个栅极的长度方向与半导体鳍片的长度方向不同。多个栅极包括至少一第一栅极以及至少一第二栅极,其中半导体鳍片穿过至少一第一栅极,半导体鳍片未穿透至少一第二栅极。第二栅极包括配置在介电层上的加宽部分,以及配置在加宽部分上的顶部分,其中加宽部分的底部宽度大于顶部分的宽度。
  • 半导体器件制造方法
  • [发明专利]通孔结构及其方法-CN202210871557.7在审
  • 张哲诚;林志翰 - 台湾积体电路制造股份有限公司
  • 2018-09-12 - 2022-11-01 - H01L23/538
  • 一种半导体器件包括:具有沟道区的衬底;位于沟道区上方的栅极堆叠件;覆盖栅极堆叠件的侧壁的密封间隔件,密封间隔件包括氮化硅;覆盖密封间隔件的侧壁的栅极间隔件,栅极间隔件包括氧化硅,栅极间隔件具有第一垂直部分和第一水平部分;以及覆盖栅极间隔件的侧壁的第一介电层,第一介电层包括氮化硅。本发明的实施例还涉及通孔结构及其方法。
  • 结构及其方法
  • [发明专利]带有凹口的栅极结构制造-CN201910560029.8有效
  • 陈建颖;张哲诚;林志翰 - 台湾积体电路制造股份有限公司
  • 2019-06-26 - 2022-10-18 - H01L21/336
  • 一种方法包括提供具有第一区域和第二区域的结构,第一区域包括第一沟道区域,第二区域包括第二沟道区域;在第一区域和第二区域上方形成栅极堆叠层;图案化栅极堆叠层,从而在第一沟道区域上方形成第一栅极堆叠件和在第二沟道区域上方形成第二栅极堆叠件;以及通过同时向第一区域和第二区域施加不同的蚀刻剂浓度来横向蚀刻第一栅极堆叠件和第二栅极堆叠件的底部,从而在第一栅极堆叠件和第二栅极堆叠件的底部处形成凹口。本发明实施例涉及带有凹口的栅极结构制造。
  • 带有凹口栅极结构制造
  • [发明专利]半导体装置-CN201611215720.5有效
  • 张哲诚;林志翰;曾鸿辉 - 台湾积体电路制造股份有限公司
  • 2016-12-26 - 2022-08-30 - H01L29/78
  • 一种半导体装置,包括衬底、绝缘体、栅极介电层、第一栅极结构及第二栅极结构。所述衬底包括沟槽、第一半导体鳍及第二半导体鳍。所述第一栅极结构配置于所述栅极介电层上并局部地覆盖所述第一半导体鳍。所述第一栅极结构包括第一金属栅极及覆盖所述第一金属栅极的第一介电顶盖。所述第二栅极结构配置于所述栅极介电层上并局部地覆盖所述第二半导体鳍。所述第二栅极结构包括第二金属栅极及覆盖所述第二金属栅极的第二介电顶盖。所述第一金属栅极的功函数小于所述第二金属栅极的功函数,且所述第一介电顶盖的厚度小于所述第二介电顶盖的厚度。
  • 半导体装置
  • [发明专利]鳍场效应晶体管-CN201610917347.1有效
  • 张哲诚;林志翰;曾鸿辉 - 台湾积体电路制造股份有限公司
  • 2016-10-21 - 2022-06-28 - H01L29/78
  • 图案化衬底以形成沟槽并且半导体鳍位于沟槽之间。在沟槽中形成绝缘体以及形成介电层以覆盖半导体鳍和绝缘体。在介电层上形成伪栅极条。在伪栅极条的侧壁上形成间隔件。去除伪栅极条和介电层下面直到暴露间隔件的侧壁、部分半导体鳍和部分绝缘体。选择性地形成第二介电层以覆盖暴露的部分半导体鳍,其中介电层的厚度小于第二介电层的厚度。在间隔件之间形成栅极以覆盖第二介电层、间隔件的侧壁和暴露的部分绝缘体。本发明实施例涉及鳍场效应晶体管。
  • 场效应晶体管

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