专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [实用新型]一种新型工艺设备冷冻水供应装置-CN201220533887.7有效
  • 刘峰;詹新力;雷建华;袁正明 - 中国瑞林工程技术有限公司
  • 2012-10-18 - 2013-04-10 - F24F5/00
  • 一种新型工艺设备冷冻水供应装置,其特征在于:包括抽水井、回灌井、变频水泵、水处理装置、空调冷水机组、电动三通调节阀、温度传感器、压差变送器、PID控制器、水流量计、电动阀,地下水由抽水井通过变频水泵输送到水处理装置进行水处理,然后通过空调冷水机组或者电动三通调节阀为工艺设备提供一定温度的冷冻水,带走工艺设备散热量,变频水泵通过压差变送器信号和PID控制器调节运行频率以控制工艺设备冷冻水流量。本实用新型充分利用了地下水资源,依靠地下水带走工艺设备的散热量,克服了传统的冷冻站制备工艺冷冻水方式耗电量大的缺点,尽量降低运行成本,达到节能降耗的目的。
  • 一种新型工艺设备冷冻供应装置
  • [实用新型]工艺冷却水蓄冷平衡储水罐-CN201020159388.7无效
  • 徐乐燕;聂欣蔚;邵硕;胡贤忠 - 中国海诚工程科技股份有限公司
  • 2010-04-15 - 2010-11-17 - B65D90/00
  • 本实用新型提供了一种工艺冷却水蓄冷平衡储水罐,包括储水罐体,其特征在于,所述储水罐体的中间设有分隔板,分隔板将储水罐体分为回水区和供水区,回水区设有工艺设备回水口和冷水机组回水口,供水区设有冷水机组供水口、工艺设备供水口、水位测量孔和温度测量孔,回水区下部设有检修人孔,分隔板中部设有平衡检修孔,分隔板两侧位于平衡检修孔下方的位置处设有爬梯。本实用新型的优点是:能有效节约安装和检修所需空间,制造成本低,系统运行成本低。
  • 工艺冷却水平衡储水
  • [发明专利]半导体工艺设备-CN202011156384.8在审
  • 宋瑞智 - 北京北方华创微电子装备有限公司
  • 2020-10-26 - 2021-02-05 - H01J37/32
  • 本申请实施例提供了一种半导体工艺设备。该半导体工艺设备包括:工艺腔室、负载腔室及传输腔室;工艺腔室内设置有基座及聚焦环,聚焦环设置于基座上,基座用于承载待加工件;负载腔室内设置有支撑组件,支撑组件用于承载待加工件及聚焦环;传输腔室与工艺腔室及负载腔室均连通,传输腔室内设置有机械手,机械手用于在负载腔室及工艺腔室之间传送待加工件或聚焦环。本申请实施例实现了无需开启工艺腔室的上盖即可实现对聚焦环进行更换,从而大幅缩短了工艺腔室的维护时间,并且由于无需对工艺腔室进行开盖,还节省了半导体工艺设备的复机时间,从而大幅提高了半导体工艺设备的产能。
  • 半导体工艺设备
  • [实用新型]一种配电系统及洁净厂房-CN201921277306.6有效
  • 张秀芬;乔正 - 世源科技工程有限公司;中国电子工程设计院有限公司
  • 2019-08-08 - 2020-05-08 - H02J3/00
  • 本实用新型提供了一种配电系统及洁净厂房,该配电系统应用于洁净厂房,洁净厂房内设置有工艺设备,配电系统用于给工艺设备供电。该配电系统包括设置在洁净厂房外的配电所、以及用于给多个工艺分区内的工艺设备供电的至少一根第一电缆。配电系统还包括设置在多个工艺分区内的至少一根配电母线,至少一根配电母线与至少一根第一电缆一一对应,每根配电母线电连接对应的第一电缆及该根配电母线所在的工艺分区内的工艺设备。以提高配电系统的稳定性,提高对洁净厂房内工艺设备的供电的可靠性及灵活性。
  • 一种配电系统洁净厂房
  • [实用新型]密封机构-CN201921680582.7有效
  • 张佑语;黄俊尧 - 麦丰密封科技股份有限公司
  • 2019-10-09 - 2020-05-22 - H01J37/02
  • 一种环状的密封机构,设置在半导体工艺设备中,包括密封层、弹性层以及保护层。前述密封层设置在前述半导体工艺设备的沟槽内,前述弹性层覆盖前述密封层的外侧表面,前述保护层设置在前述弹性层的外侧,其中前述保护层的硬度大于前述弹性层的硬度,且前述保护层朝前述密封机构的内侧方向压迫前述弹性层,以防止工艺流体侵蚀半导体工艺设备内部的电极。
  • 密封机构
  • [发明专利]一种碳排放量的评估方法、装置及设备-CN202310897628.5有效
  • 朱明远;史明;吴奇锋;王燕 - 北京睿碳科技有限公司
  • 2023-07-21 - 2023-10-03 - G06Q10/0637
  • 本发明提供一种碳排放量的评估方法、装置及设备,包括:获取工艺线中的工艺设备在预设周期内的运行数据;根据所述运行数据,获得所述工艺设备在预设周期内的指标数据;根据所述指标数据,获得与所述指标数据对应的指标数据雷达图的面积值;根据所述指标数据雷达图的面积值以及预设碳排放量预测模型,获得所述工艺设备的目标碳排放量;所述预设碳排放量预测模型是基于预设工艺数据库中的历史数据进行拟合训练得到的;根据预设标杆工艺碳排量对所述目标碳排放量进行评估,获得所述工艺设备的碳排放量评估结果。本发明提供的方案可以提高碳排放评估准确性,降低碳排放的人力核算成本及设备维护成本。
  • 一种排放量评估方法装置设备

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