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农业化学；冶金建筑机械工程区域搜索

主分类

B 作业；运输

C 化学；冶金

D 纺织；造纸

E 固定建筑物

F 机械工程、照明、加热

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公布日期

2023-10-24 公布专利

2023-10-20 公布专利

2023-10-17 公布专利

2023-10-13 公布专利

2023-10-10 公布专利

2023-10-03 公布专利

2023-09-29 公布专利

2023-09-26 公布专利

2023-09-22 公布专利

2023-09-19 公布专利

专利权人

国家电网公司

华为技术有限公司

中兴通讯股份有限公司

三星电子株式会社

中国石油化工股份有限公司

鸿海精密工业股份有限公司

松下电器产业株式会社

上海交通大学

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[发明专利]一种根据晶圆缺陷聚集位置判定问题制程范围的方法-CN201310054774.8有效
发明人：郭贤权;许向辉;顾珍 -专利权人：上海华力微电子有限公司
申请日： 2013-02-20 - 公布日： 2013-06-12 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明涉及一种根据晶圆缺陷聚集位置判定问题制程范围的方法。获取缺陷晶圆两两之间凹口方向夹角的数据；记录每个缺陷晶圆的编号；分析并记录每一片缺陷晶圆的缺陷位置，建立缺陷数据库；根据编号数据库中的数据，获取并比对每个缺陷晶圆在所述凹口方向夹角数据库中的数据和缺陷数据库中的数据；根据上述的制程的数据，逐一判断每个制程中，上述凹口方向夹角数据与获取的所述缺陷数据之间是否匹配；若匹配，则该制程确定为问题制程段的开始制程，反之，则确定该制程为问题制程段的结束。本发明无需像传统的方法一样对每一步都进行扫描，因此节省了大量人力和扫描机台资源。
一种根据缺陷聚集位置判定问题范围方法

[发明专利]生产现场信息采集监控方法及系统-CN01114885.3无效
发明人：胡石玉;李幼甫;尚东;修明珠 -专利权人：鸿富锦精密工业（深圳）有限公司;鸿海精密工业股份有限公司
申请日： 2001-06-29 - 公布日： 2003-01-29 - 主分类号： G06F17/60 文献下载
摘要：一种生产现场信息采集监控方法及系统，通过可产生第一信号的一种现场信息采集器，可自动产生第二信号的机台，与现场信息采集器、机台连接，获取第一信号及第二信号的信息采集计算机，反映生产现场机台及机台对应的工位异常的监控模块，具有人机界面以及数据库的计算机设备，实时地采集生产现场的信息，并进行整合处理，产生各类相关报表及制程与设备异常状况警报，实现厂区生产现场信息的实时收集与实时监控。
生产现场信息采集监控方法系统

[发明专利]记忆体晶片超频测试方法-CN201910717831.3有效
发明人：洪康宁 -专利权人：全何科技股份有限公司
申请日： 2019-08-05 - 公布日： 2022-06-17 - 主分类号： B07C5/34 文献下载
摘要：本发明为一种记忆体晶片超频测试方法，应用在两阶段的记忆体晶片测试制程中，筛检不同速度的记忆体晶片，包含测试盘区、定位暂存盘、至少一预测试机台、多个测试机台、机械手臂以及监控装置，测试盘区、定位暂存盘、至少一预测试机台、多个测试机台与机械手臂视为一个测试装置，而监控装置无线或有线连接测是装置，透过预测试机台做第一阶段筛选，且将资讯上传更新到监控装置，提供终端装置随时读取。
记忆体晶片超频测试方法

[发明专利]晶圆转移装置及其应用方法-CN201710103967.6在审
发明人：干怀渝 -专利权人：中芯国际集成电路制造（上海）有限公司;中芯国际集成电路制造（北京）有限公司
申请日： 2017-02-24 - 公布日： 2018-09-07 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明提供了一种晶圆转移装置及其应用方法，所述晶圆转移装置包括本体、设置于所述本体上的第一对接附件、设置于所述本体内的工作槽，所述工作槽中承载有隔离液；所述第一对接附件将所述本体与存在故障的机台对接，所述晶圆从存在故障的机台被转移至所述工作槽的隔离液中后，所述本体与存在故障的机台解除对接，所述本体将晶圆转移至正常的机台上。基于本发明设计的晶圆转移装置可将存在故障的机台上的晶圆及时转移至正常的机台上，有效避免因机台上出现故障，无法对故障的机台正在处理的晶圆进行正常的处理工序，对制程造成的影响，提高了成品率及工作效率。
机台晶圆晶圆转移装置工作槽隔离液处理工序工作效率转移装置成品率制程种晶应用承载体内

[实用新型]加工机床组-CN201721613631.6有效
发明人：夏军;罗育银;叶李生;张荣彬 -专利权人：深圳市创世纪机械有限公司
申请日： 2017-11-28 - 公布日： 2018-08-21 - 主分类号： B23Q37/00 文献下载
摘要：本实用新型公开一种加工机床组，加工机床组包括左右方向延伸的移动轨道、安装在移动轨道上的取放料机械手、布置在移动轨道的前侧中央位置的取放料台，以及布置在移动轨道的前侧，并且分别布置在取放料台的左右两侧的左机台和右机台；左机台和右机台各自的加工工作台皆与移动轨道相邻设置；左机台和右机台用于按照控制程序加工物料；取放料台用于盛放物料；取放料机械手用于按程序顺序移动到各个预设位置，获取取放料台上的物料，并且安放至左机台和右机台的加工工作台上，以及用于获取左机台和右机台的加工工作台上的物料，并且安放至取放料台上。
取放机台移动轨道左机台加工机床料台本实用新型料机械手控制程序加工工作台加工物料空间要求顺序移动相邻设置预设位置左右两侧机械手盛放加工延伸

[发明专利]一种提高清洗效率的方法-CN201410499431.7在审
发明人：陈林;李广宁 -专利权人：中芯国际集成电路制造（上海）有限公司
申请日： 2014-09-25 - 公布日： 2016-03-30 - 主分类号： H01L21/02 文献下载
摘要：本发明提供了一种提高机台清洗效率的方法，包括以下步骤：提供一机台，所述机台包括有一腔室；在所述反应腔室内通入第一气体的同时，通入含O等离子体；通入惰性气体，以提升腔室内气体均匀性；通入第二气体，并进行多次充气和抽气的循环处理本发明在提升清洗效率的同时还提高了晶圆的良率，同时制程变动较小，实现成本较低，提高了经济效益。
一种提高清洗效率方法

[发明专利]监测液晶精度的方法、重力感应机台及存储介质-CN202010081973.8在审
发明人：张隆贤 -专利权人：深圳市华星光电半导体显示技术有限公司
申请日： 2020-02-06 - 公布日： 2020-06-12 - 主分类号： G01M99/00 文献下载
摘要：本发明提供一种监测液晶精度的方法、重力感应机台及存储介质，通过机台表面安装多个重量传感器，并通过真空吸盘吸附基板使基板充分接触重量传感器，重力感应机台检测液晶滴入前后基板重量的数据变化，通过比较基板上前后的重量数据差值，与预先设置的液晶精度进行比较，进而可以判断制程中液晶量是否符合标准，并且可以在超出预设阈值之后，可以发送警示信号，进而可以及时拦截该基板，避免造成更大的损失。
监测液晶精度方法重力感应机台存储介质

[发明专利]半导体产品良率分析系统及分析方法和计算机存储介质-CN201811146276.5有效
发明人：不公告发明人 -专利权人：长鑫存储技术有限公司
申请日： 2018-09-26 - 公布日： 2022-09-30 - 主分类号： G06F17/18 文献下载
摘要：本发明提供一种半导体产品良率分析系统及分析方法和计算机存储介质，能够通过对产品在制程过程中发生的机台的异常或制程工艺的改进变更或量测数据超过工艺规格等特殊情况进行记录，还能够自动对关键性的货批进行备注并加以统计分析
半导体产品分析系统方法计算机存储介质

[发明专利]一种液晶面板烘烤机台防过烤系统及其方法-CN201611195609.4有效
发明人：杨振宇 -专利权人：武汉华星光电技术有限公司
申请日： 2016-12-22 - 公布日： 2019-02-26 - 主分类号： G05B19/418 文献下载
摘要：本发明提供了一种液晶面板烘烤机台防过烤系统，所述工厂控制系统包括：控制模块，用于对烘烤机台进行监控，在接收到延迟计时结束信号后判断烘烤机台是否有上报加工完成信号，烘烤机台未上报加工完成信号时向报警模块发送报警指令；加工计时模块，用于计算烘烤制程的时间是否超过预设的加工时间，并将结果发送至控制模块；延迟计时模块，用于在加工时间结束后，对加工时间进行延迟补偿时间计时，并在计时值到达后向控制模块发送延迟计时结束信号；还提供了液晶面板烘烤机台防过烤方法。与现有技术相比，工厂控制系统对加工时间进行计时监控，及时了解到烘烤机台出现过烤情况并进行处理，避免玻璃过烤。
一种液晶面板烘烤机台系统及其方法

[发明专利]液晶显示面板的光配向方法-CN201711244218.1有效
发明人：赵丽 -专利权人：深圳市华星光电技术有限公司
申请日： 2017-11-30 - 公布日： 2020-06-30 - 主分类号： G02F1/1337 文献下载
摘要：该方法利用UV光强度侦测仪和配向电压侦测仪分别侦测参考配向机台的使得液晶显示面板的液晶达到目标预倾角时的实际UV光强度和实际配向电压，并根据所述参考配向机台的实际UV光强度和实际配向电压调整所述待调试配向机台的配向参数，使得所述待调试配向机台的实际UV光强度和实际配向电压与所述参考配向机台的实际UV光强度和实际配向电压相同，能够减小配向机台的配向电压和UV光强度的差异，避免液晶显示面板出现预倾角的角度不均匀的现象，提升产品制程良率
液晶显示面板方法

[实用新型]一种摩擦取向装置-CN201720005461.7有效
发明人：孟影;孙鹏;封宾 -专利权人：京东方科技集团股份有限公司;北京京东方显示技术有限公司
申请日： 2017-01-03 - 公布日： 2017-07-04 - 主分类号： G02F1/1337 文献下载
摘要：本实用新型实施例提供了一种摩擦取向装置，涉及显示技术领域，可在摩擦制程的同时对摩擦布进行老化，降低或消除摩擦绒毛的磨损，节约成本，提高定向膜的良品率和生产效率。该装置包括用于承载待取向基板的摩擦机台；设置在摩擦机台两侧的支撑柱；架设在支撑柱之间且设置在摩擦机台上方的摩擦辊；设置在摩擦辊上方的预摩擦单元；预摩擦单元包括架设在支撑柱之间的预摩擦机台；预摩擦机台上设置有固定部，用于使预摩擦基板固定在预摩擦机台朝向摩擦辊的一面；其中，预摩擦基板朝向摩擦辊的一面为光滑面，光滑面可与摩擦辊上的绒毛相接触。
一种摩擦取向装置

[发明专利]基于等离子体的制程机台-CN201710061655.3在审
发明人：孟庆豪;陈智圣;周银铜;詹炽桦;黄琳清;江煜培 -专利权人：台湾积体电路制造股份有限公司
申请日： 2017-01-26 - 公布日： 2017-11-03 - 主分类号： H01J37/32 文献下载
摘要：本揭露提供一种基于等离子体的制程机台，包含外壳与气体分布板。外壳界定出处理室且包含用以接收处理气体的气体入口。气体分布板设置于处理室中且用以在处理室内分布处理气体。
基于等离子体机台

[发明专利]轴承机构及应用其的制程机台-CN200710003921.3无效
发明人：庄建忠 -专利权人：达信科技股份有限公司
申请日： 2007-01-18 - 公布日： 2008-07-23 - 主分类号： F16C13/00 文献下载
摘要：一种轴承机构及应用其的制程机台。轴承机构使用在一液体中。轴承机构包括一第一转动环、一第二转动环、数个滚动元件及一轴封元件。第一转动环用以耦接一轴心并与轴心同步转动。
轴承机构应用机台

[实用新型]用于软性电路板的制程机台-CN201020647611.2有效
发明人：赖铭胜 -专利权人：嘉联益科技股份有限公司
申请日： 2010-12-06 - 公布日： 2011-07-06 - 主分类号： H05K3/00 文献下载
摘要：一种用于软性电路板的制程机台包括一送料机、一收料机、两轨道、一载具、两盖合机构及一盖合治具。送料机与收料机之间形成一输送软性电路板的输送路径，软性电路板设有多个线路组件，两轨道分别具有一凹槽。
用于软性电路板机台

[发明专利]芯片剥折制程的供料方法及装置-CN201811337010.9在审
发明人：董圣鑫;黄子葳 -专利权人：万润科技股份有限公司
申请日： 2018-11-12 - 公布日： 2020-05-01 - 主分类号： B65G49/05 文献下载
摘要：本发明提供一种芯片剥折制程的供料方法及装置，用以在一机台上对将一待剥条芯片剥折成条状芯片的一剥折机构进行供料，其方法包括：提供一设有一电阻部位、一位于该电阻部位一端的废料部、二位于该电阻部位两侧的侧边部的片状芯片；使该片状芯片被置于该机台上一置料机构；以一搬送机构将该置料机构中的片状芯片搬送至该机台上一折边机构，以执行剥除该侧边部及废料部的待剥除部位以剩下该待剥条芯片；以该搬送机构将该折边机构中的该待剥条芯片搬送到该剥折机构处进行剥折成条状芯片；借此使芯片剥折制程可以一贯而有效率的被执行，并大幅提升产能。
芯片剥折制程供料方法装置

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