专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]衬底处理方法及衬底处理装置-CN201910583654.4有效
  • 尾辻正幸;高桥弘明;加藤雅彦;藤原直澄;山口佑;佐佐木悠太 - 株式会社斯库林集团
  • 2019-06-28 - 2023-08-18 - H01L21/02
  • 该衬底处理方法包括:干燥前处理液供给工序,向衬底的表面供给干燥前处理液,所述干燥前处理液包含形成凝固凝固形成物质、和与上述凝固形成物质互溶的溶解物质,并且所述干燥前处理液具有比上述凝固形成物质的凝固点低的凝固点;凝固形成工序,通过使上述衬底的表面上的上述干燥前处理液的一部分固化,从而在上述干燥前处理液中形成包含上述凝固形成物质的上述凝固;液体除去工序,在将上述凝固保留于上述衬底的表面上的同时,将上述衬底的表面上的上述干燥前处理液除去;和固体除去工序,通过使保留于上述衬底的表面上的上述凝固变化为气体,从而将所述凝固从上述衬底的表面除去。
  • 衬底处理方法装置
  • [发明专利]衬底干燥方法及衬底干燥装置-CN201880058723.3有效
  • 塙洋祐;佐佐木悠太 - 株式会社斯库林集团
  • 2018-06-19 - 2023-09-19 - H01L21/304
  • 对附着有液体的衬底的正面供给包含升华性物质的处理液而形成液膜,使所述液膜凝固而变成凝固。对形成在衬底正面的凝固以在衬底的整面每单位面积的流量变成固定的方式供给氮气。在衬底的整面,凝固均匀地升华,凝固的气体固体界面朝与衬底正面垂直的方向移动。图案的凸部不会因凝固的气体固体界面移动而被牵引,能够防止形成在衬底正面的图案倒塌,并且使该正面良好地干燥。
  • 衬底干燥方法装置
  • [发明专利]衬底处理方法及衬底处理装置-CN201980056867.X在审
  • 加藤雅彦;髙桥弘明;藤原直澄;尾辻正幸;佐佐木悠太;山口佑 - 株式会社斯库林集团
  • 2019-07-24 - 2021-04-09 - H01L21/304
  • 本发明涉及一种进行升华干燥的衬底处理方法及衬底处理装置,在使溶剂从包含覆盖衬底表面的升华性物质的干燥前处理液的液膜蒸发而在衬底表面上形成包含升华性物质的凝固,且使凝固升华,由此,从衬底表面上将液膜排除的干燥前处理液膜排除工序中,产生区域并存状态,所述区域并存状态是凝固升华使得衬底表面干燥的干燥区域、残存有凝固凝固残存区域、及残存有液膜的液体残存区域依次从衬底表面的中央部朝向衬底表面的周缘部排列的状态,一边维持区域并存状态一边以凝固残存区域朝向衬底表面的周缘部移动的方式使干燥区域扩大由此,能够降低由固体状态的升华性物质引起的应力的影响,从而减少衬底上的图案崩塌。
  • 衬底处理方法装置
  • [发明专利]基板处理方法以及基板处理装置-CN201610016289.5有效
  • 北川广明;宫胜彦 - 株式会社思可林集团
  • 2016-01-12 - 2018-11-30 - H01L21/67
  • 本发明提供一种以低成本且高效地在基板的表面上形成凝固的基板处理方法以及基板处理装置。使用冷却构件使在水平姿势的基板的上表面形成的凝固对象液的液膜凝固来形成凝固凝固形成工序包括第一工序和第二工序,在第一工序中,使冷却构件中的温度比凝固对象液的凝固点低的处理面着落于液膜,使位于由上表面和处理面夹持的区域的凝固对象液凝固,在第二工序中,从通过第一工序凝固凝固区域剥离处理面,凝固区域和处理面的附着力小于凝固区域和上表面的附着力。
  • 处理方法以及装置
  • [实用新型]机动车用刹车片-CN200720083729.5无效
  • 喻海 - 喻海
  • 2007-03-07 - 2008-02-06 - F16D69/00
  • 本实用新型公开了一种机动车用刹车片,它包括刹车片本体,特征是在刹车片本体的摩擦面加工有摩擦槽,在摩擦槽内注入有能增强摩擦系数、耐高温、耐磨性能好的凝固。所述摩擦槽为横向长槽或竖向长槽或为摩擦孔。所述凝固为松香或改性松香树脂。这样在制动过程中,随着刹车片的摩擦,刹车片内的凝固有少量粉末被磨出,脱落的凝固粉末则粘附在刹车片表面,形成一层摩擦层,并且随刹车片的损耗而不断更新。刹车片表面的凝固摩擦层可适当增加刹车片的摩擦系数,减轻刹车时所需的制动压力,从而能在较短的时间内刹住车,保证驾车人和车辆的安全;并且由于凝固受刹车片温度的影响小,延长刹车片最佳使用效果保持的时间,增加驾驶的舒适性
  • 机动车刹车片

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