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[发明专利]衬底处理方法、衬底处理装置及干燥前处理液-CN202310947663.3在审
发明人：佐佐木悠太;尾辻正幸;藤原直澄;加藤雅彦;山口佑;高桥弘明 -专利权人：株式会社斯库林集团
申请日： 2019-06-21 - 公布日： 2023-09-12 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明涉及衬底处理方法、衬底处理装置及干燥前处理液。向形成有图案的衬底的表面供给干燥前处理液，所述干燥前处理液为包含不经液体即变化为气体的升华性物质和与升华性物质互溶的溶剂的溶液。然后，从衬底的表面上的干燥前处理液中蒸发溶剂，由此在衬底的表面上形成包含升华性物质的凝固体。然后，通过使凝固体升华，从而将所述凝固体从衬底的表面除去。凝固体的厚度相对于图案的高度的比例乘以一百而得到的值超过76且小于219。
衬底处理方法装置干燥

[发明专利]衬底处理方法及衬底处理装置-CN201910583654.4有效
发明人：尾辻正幸;高桥弘明;加藤雅彦;藤原直澄;山口佑;佐佐木悠太 -专利权人：株式会社斯库林集团
申请日： 2019-06-28 - 公布日： 2023-08-18 - 主分类号： H01L21/02 文献下载
摘要：本发明涉及衬底处理方法及衬底处理装置。该衬底处理方法包括：干燥前处理液供给工序，向衬底的表面供给干燥前处理液，所述干燥前处理液包含形成凝固体的凝固体形成物质、和与上述凝固体形成物质互溶的溶解物质，并且所述干燥前处理液具有比上述凝固体形成物质的凝固点低的凝固点；凝固体形成工序，通过使上述衬底的表面上的上述干燥前处理液的一部分固化，从而在上述干燥前处理液中形成包含上述凝固体形成物质的上述凝固体；液体除去工序，在将上述凝固体保留于上述衬底的表面上的同时，将上述衬底的表面上的上述干燥前处理液除去；和固体除去工序，通过使保留于上述衬底的表面上的上述凝固体变化为气体，从而将所述凝固体从上述衬底的表面除去。
衬底处理方法装置

[发明专利]衬底处理方法、衬底处理装置及干燥前处理液-CN201910544595.X有效
发明人：佐佐木悠太;尾辻正幸;藤原直澄;加藤雅彦;山口佑;高桥弘明 -专利权人：株式会社斯库林集团
申请日： 2019-06-21 - 公布日： 2023-08-18 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明涉及衬底处理方法、衬底处理装置及干燥前处理液。向形成有图案的衬底的表面供给干燥前处理液，所述干燥前处理液为包含不经液体即变化为气体的升华性物质和与升华性物质互溶的溶剂的溶液。然后，从衬底的表面上的干燥前处理液中蒸发溶剂，由此在衬底的表面上形成包含升华性物质的凝固体。然后，通过使凝固体升华，从而将所述凝固体从衬底的表面除去。凝固体的厚度相对于图案的高度的比例乘以一百而得到的值超过76且小于219。
衬底处理方法装置干燥

[发明专利]衬底处理方法及衬底处理装置-CN202010482318.3有效
发明人：藤原直澄;尾辻正幸;加藤雅彦;山口佑 -专利权人：株式会社斯库林集团
申请日： 2020-05-29 - 公布日： 2023-05-02 - 主分类号： F26B5/04 文献下载
摘要：本发明涉及衬底处理方法及衬底处理装置。衬底处理方法包括下述工序：含有升华性物质的液膜形成工序，通过将含有升华性物质的液体向形成有图案的衬底的表面供给，从而在衬底的表面上形成将衬底的表面覆盖的含有升华性物质的液体的液膜，含有升华性物质的液体为包含不经液体即从固体变化为气体的升华性物质和使升华性物质溶解的溶剂的溶液；过渡状态膜形成工序，使溶剂从液膜蒸发而形成升华性物质的固体，由此在衬底的表面形成升华性物质的固体处于结晶化之前的结晶前过渡状态的过渡状态膜；和过渡状态膜除去工序，通过在将升华性物质的固体维持为结晶前过渡状态的同时、使衬底的表面上的升华性物质的固体升华，从而将过渡状态膜从衬底的表面除去。
衬底处理方法装置

[发明专利]衬底处理方法及衬底处理装置-CN202110651722.3有效
发明人：尾辻正幸;加藤雅彦;山口佑 -专利权人：株式会社斯库林集团
申请日： 2021-06-11 - 公布日： 2022-11-22 - 主分类号： F26B5/04 文献下载
摘要：本发明的课题在于改善衬底的表面周缘部上的图案倒塌。本发明涉及一种衬底处理方法及衬底处理装置，该衬底处理方法的特征在于，具备：第1升华工序，向衬底的表面中央部喷出第1气体并使第1气体经由整个凝固体流通至衬底周边而使整个凝固体升华；及第2升华工序，向衬底的表面周缘部喷出第2气体并使第2气体经由凝固体中表面周缘部上的周缘区域流通至衬底周边而使周缘区域升华；且第2升华工序的开始早于第1升华工序，及/或第2气体的流量多于第1气体的流量。
衬底处理方法装置

[发明专利]基板处理方法及基板处理装置-CN201980086789.8在审
发明人：佐佐木悠太;高桥弘明;藤原直澄;尾辻正幸;加藤雅彦;山口佑 -专利权人：株式会社斯库林集团
申请日： 2019-11-25 - 公布日： 2021-08-06 - 主分类号： H01L21/304 文献下载
摘要：本发明的基板处理方法包含：干燥前处理液供给工序，其是将升华性物质溶解于溶剂中而成的溶液即干燥前处理液供给至形成有图案的基板的上表面，而在上述基板的上述上表面形成上述干燥前处理液的液膜；析出工序，其是通过使上述溶剂自上述液膜蒸发，而使上述升华性物质的固体在上述基板的上述上表面析出；浓度判定工序，其是在上述析出工序中上述升华性物质的固体析出之前，基于通过上述溶剂的蒸发而上述液膜的厚度减少的速度即膜厚减少速度，判定上述液膜中的上述升华性物质的浓度是否为基准浓度范围内；及升华工序，其是在上述浓度判定工序中判定上述液膜中的上述升华性物质的浓度为基准浓度范围内的情形时，在上述析出工序结束后，使上述升华性物质的固体升华。
处理方法装置

[发明专利]衬底处理方法及衬底处理装置-CN201980061313.9在审
发明人：尾辻正幸;髙桥弘明;加藤雅彦;藤原直澄;山口佑;佐佐木悠太 -专利权人：株式会社斯库林集团
申请日： 2019-07-23 - 公布日： 2021-04-30 - 主分类号： H01L21/304 文献下载
摘要：本发明的衬底处理方法对正面具有图案的衬底进行处理，且包含：混合干燥辅助物质供给步骤，将混合干燥辅助物质供给至所述衬底的正面，在所述衬底的正面形成所述混合干燥辅助物质的液膜，所述混合干燥辅助物质由作为无极性物质的干燥辅助物质与具有两亲性的溶剂混合所得，且具有比所述干燥辅助物质的凝固点低的凝固点；凝固膜形成步骤，通过使所述混合干燥辅助物质的液膜中包含的所述干燥辅助物质凝固而形成包含所述干燥辅助物质的凝固膜；及去除步骤，使所述凝固膜中包含的所述干燥辅助物质不经过液体状态地变化为气体而将它从所述衬底的正面去除。所述凝固膜形成步骤包含供给液接液步骤，所述供给液接液步骤是使种类与所述干燥辅助物质及所述溶剂不同且为极性物质的供给液接液于所述混合干燥辅助物质的液膜，随着溶入到所述混合干燥辅助物质的所述溶剂从所述混合干燥辅助物质向所述供给液移动而该液膜中的所述干燥辅助物质的浓度上升，从而使所述干燥辅助物质析出，由此形成所述凝固膜。
衬底处理方法装置

[发明专利]衬底处理方法及衬底处理装置-CN201980056867.X在审
发明人：加藤雅彦;髙桥弘明;藤原直澄;尾辻正幸;佐佐木悠太;山口佑 -专利权人：株式会社斯库林集团
申请日： 2019-07-24 - 公布日： 2021-04-09 - 主分类号： H01L21/304 文献下载
摘要：本发明涉及一种进行升华干燥的衬底处理方法及衬底处理装置，在使溶剂从包含覆盖衬底表面的升华性物质的干燥前处理液的液膜蒸发而在衬底表面上形成包含升华性物质的凝固体，且使凝固体升华，由此，从衬底表面上将液膜排除的干燥前处理液膜排除工序中，产生区域并存状态，所述区域并存状态是凝固体升华使得衬底表面干燥的干燥区域、残存有凝固体的凝固体残存区域、及残存有液膜的液体残存区域依次从衬底表面的中央部朝向衬底表面的周缘部排列的状态，一边维持区域并存状态一边以凝固体残存区域朝向衬底表面的周缘部移动的方式使干燥区域扩大。由此，能够降低由固体状态的升华性物质引起的应力的影响，从而减少衬底上的图案崩塌。
衬底处理方法装置

[发明专利]衬底处理方法及衬底处理装置-CN201980037650.4在审
发明人：藤原直澄;尾辻正幸;加藤雅彦;佐佐木悠太;山口佑;髙桥弘明 -专利权人：株式会社斯库林集团
申请日： 2019-06-12 - 公布日： 2021-01-15 - 主分类号： H01L21/304 文献下载
摘要：该衬底处理方法包括：混合升华性物质供给工序，将混合升华性物质供给到衬底的正面，该混合升华性物质是将具有升华性的第1升华性物质、具有比所述第1升华性物质低的蒸气压且具有升华性的第2升华性物质、及相对于所述第1升华性物质及所述第2升华性物质中的至少一种物质可溶的溶剂相互混合而成；凝固膜形成工序，就存在于所述衬底正面的所述混合升华性物质，形成包含所述第1升华性物质及所述第2升华性物质的凝固膜；以及升华工序，使所述凝固膜所包含的至少所述第1升华性物质升华。
衬底处理方法装置

[发明专利]衬底处理装置及衬底处理方法-CN201980036610.8在审
发明人：藤原直澄;山口佑;尾辻正幸;加藤雅彦;佐佐木悠太;髙桥弘明 -专利权人：株式会社斯库林集团
申请日： 2019-06-20 - 公布日： 2021-01-12 - 主分类号： H01L21/304 文献下载
摘要：本发明的衬底处理方法包含：混合干燥辅助物质供给步骤，将混合干燥辅助物质供给至衬底的表面，所述混合干燥辅助物质由干燥辅助物质、第1溶剂、以及与所述干燥辅助物质及所述第1溶剂不同的药剂相互混合所得；固化膜形成步骤，通过使所述第1溶剂从存在于所述衬底表面的所述混合干燥辅助物质蒸发且使所述混合干燥辅助物质中包含的所述干燥辅助物质固化，而形成包含所述干燥辅助物质及所述药剂的固化膜；及去除步骤，将所述固化膜中包含的所述干燥辅助物质去除。
衬底处理装置方法

[发明专利]基板处理方法和基板处理装置-CN202010608279.7在审
发明人：尾辻正幸;高桥弘明;加藤雅彦;山口佑;佐佐木悠太 -专利权人：株式会社斯库林集团
申请日： 2020-06-29 - 公布日： 2020-12-29 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明的基板处理方法和基板处理装置具有优异的干燥性能，使在表面形成有图案的基板良好地干燥。该基板处理方法具备：液膜形成工序，将溶剂中溶解有环己酮肟的处理液供给到形成有图案的基板的表面，以在基板的表面形成处理液的液膜；固化膜形成工序，使处理液的液膜固化以形成环己酮肟的固化膜；以及升华工序，使固化膜升华以从基板的表面去除。
处理方法装置

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