[发明专利]冷却半导体管芯的方法和装置无效
| 申请号: | 98807099.5 | 申请日: | 1998-04-14 |
| 公开(公告)号: | CN1154180C | 公开(公告)日: | 2004-06-16 |
| 发明(设计)人: | P·维纳;M·J·帕尼斯尔;K·J·马 | 申请(专利权)人: | 英特尔公司 |
| 主分类号: | H01L23/34 | 分类号: | H01L23/34 |
| 代理公司: | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人: | 邹光新;王忠忠 |
| 地址: | 美国加利*** | 国省代码: | 美国;US |
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| 摘要: | 一种冷却半导体管芯的方法和装置。在一个实施例中,C4封装的半导体管芯(301)热耦合到具有一个开口(315)的冷却板(313)。冷却板的开口设置在半导体管芯的背面,由此可以无障碍地访问半导体管芯露出的背面。如铟的保形导热体设置在半导体管芯和冷却板之间,以提高半导体和冷却板之间的热耦合。在一个实施例中,半导体管芯(501)安装在电路板(503)上,冷却块(519)设置在电路板的背面。冷却板用如热螺钉等的热传递导管热耦合到冷却块,热传递导管延伸穿过电路板,将热从半导体管芯穿过冷却板、穿过热传递导管传递到达位于电路板背面上的冷却块。在一个实施例中,冷却剂穿过冷却块循环从冷却块上除去热。 | ||
| 搜索关键词: | 冷却 半导体 管芯 方法 装置 | ||
【主权项】:
1.一种冷却半导体管芯的装置,包括:具有一个开口的冷却板,冷却板设置在半导体管芯的第一面上,在第一表面的界面使冷却板热耦合到半导体管芯,由此热从半导体管芯传递到冷却板,冷却板的开口设置在第一表面的露出部分,由此无障碍地访问第一表面的露出部分的基本区域。
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