[发明专利]冷却半导体管芯的方法和装置无效
| 申请号： | 98807099.5 | 申请日： | 1998-04-14 |
| 公开（公告）号： | CN1154180C | 公开（公告）日： | 2004-06-16 |
| 发明（设计）人： | P·维纳;M·J·帕尼斯尔;K·J·马 | 申请（专利权）人： | 英特尔公司 |
| 主分类号： | H01L23/34 | 分类号： | H01L23/34 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 邹光新;王忠忠 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 冷却 半导体 管芯 方法 装置 | ||
【说明书】：
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