[实用新型]半导体封装和半导体结构有效

专利信息
申请号: 202320542932.3 申请日: 2023-03-20
公开(公告)号: CN219716851U 公开(公告)日: 2023-09-19
发明(设计)人: 郭富强 申请(专利权)人: 台湾积体电路制造股份有限公司
主分类号: H01L23/31 分类号: H01L23/31;H01L23/13;H01L25/07;H01L23/498;H01L23/48
代理公司: 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 代理人: 徐金国
地址: 中国台湾新竹市*** 国省代码: 暂无信息
权利要求书: 暂无信息 说明书: 暂无信息
摘要: 实用新型提供一种半导体封装和半导体结构,半导体结构包括基板和形成在基板中的深沟槽电容器区域。深沟槽电容器区域包括多个深沟槽电容器单元,并且每个深沟槽电容器单元包括从基板的顶表面向下延伸的沟槽、设置在沟槽中的第一导电层、设置在沟槽中的第二导电层,以及由第一导电层及第二导电层夹置的介电层。每个深沟槽电容器单元是细长的,并且多个深沟槽电容器单元的第一群组在第一方向上水平延伸,而多个深沟槽电容器单元的第二群组在第二方向上水平延伸。
搜索关键词: 半导体 封装 结构
【主权项】:
暂无信息
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