[发明专利]芯片封装结构及其制作方法在审
申请号: | 202310152832.4 | 申请日: | 2023-02-22 |
公开(公告)号: | CN116031217A | 公开(公告)日: | 2023-04-28 |
发明(设计)人: | 李瀚宇 | 申请(专利权)人: | 苏州晶方半导体科技股份有限公司 |
主分类号: | H01L23/31 | 分类号: | H01L23/31;H01L23/485;H01L23/488;H01L23/00;H01L21/50;H01L21/56;H01L21/60 |
代理公司: | 苏州威世朋知识产权代理事务所(普通合伙) 32235 | 代理人: | 沈晓敏 |
地址: | 215000 江*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明揭示了一种芯片封装结构及其制作方法,包括:芯片,具有设置有焊盘的下表面和与下表面相背的上表面,芯片上表面相对焊盘位置处设置第一凹槽,第一凹槽暴露出焊盘上表面;第一绝缘层,设置于芯片上表面侧和第一凹槽的侧表面;第一金属层,设置于第一绝缘层表面,并延伸覆盖至焊盘上表面;第二绝缘层,设置于第一金属层表面,第二绝缘层部分区域设置第二凹槽,第二凹槽暴露出第一金属层;焊接凸起,设置于第二凹槽内,焊接凸起通过第一金属层与焊盘电性连接。本发明于第一金属层上表面设置第二绝缘层,在能够保护第一金属层、防止金属迁移的情况下,减小封装结构的应力,提高封装产品的信耐性,同时提高封装结构的散热能力。 | ||
搜索关键词: | 芯片 封装 结构 及其 制作方法 | ||
【主权项】:
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