[发明专利]一种半导体设备用机械手与预上片台系统在审
| 申请号： | 202210503325.6 | 申请日： | 2022-05-09 |
| 公开（公告）号： | CN114800475A | 公开（公告）日： | 2022-07-29 |
| 发明（设计）人： | 芦刚;李伯汉;李顺;杨家荣;王振宇 | 申请（专利权）人： | 三河建华高科有限责任公司 |
| 主分类号： | B25J9/12 | 分类号： | B25J9/12;B25J9/14;B25J15/06;G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京华科知信专利代理事务所(普通合伙) 16086 | 代理人： | 刘焕玲 |
| 地址： | 065201 河北省廊*** | 国省代码： | 河北;13 |
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| 摘要： | 本发明提供一种半导体设备用机械手与预上片台系统，涉及半导体设备技术领域。该半导体设备用机械手与预上片台系统，包括机械手系统和气动旋转预上片台系统，所述机械手系统包括有机械手气动θ向旋转机构、机械手Z向电动抬升机构、机械手真空取片机构，所述机械手气动θ向旋转机构用于实现机械手Z向电动抬升机构进行θ向旋转，所述机械手Z向电动抬升机构用于实现机械手真空取片机构上下运动，所述机械手真空取片机构用于与气动旋转预上片台系统接触并微量Z向抬升。通过机械手系统与气动旋转预上片台系统的配合实现上下片，既保证效率，也保证基片的对准精度，提高曝光效果。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 半导体 备用 机械手 上片 系统 | ||
【主权项】：
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