[发明专利]一种半导体设备用机械手与预上片台系统

权利要求书

1.一种半导体设备用机械手与预上片台系统，其特征在于：包括机械手系统(1)和气动旋转预上片台系统(2)，所述机械手系统(1)包括有机械手气动θ向旋转机构(5)、机械手Z向电动抬升机构(6)、机械手真空取片机构(4)，所述机械手气动θ向旋转机构(5)用于实现机械手Z向电动抬升机构(6)进行θ向旋转，所述机械手Z向电动抬升机构(6)用于实现机械手真空取片机构(4)上下运动，所述机械手真空取片机构(4)用于与气动旋转预上片台系统(2)接触并微量Z向抬升；

所述机械手Z向电动抬升机构(6)包括有机械手电动抬升丝杠(12)、机械手Z向抬升下到位开关(13)和机械手下降挂板(14)，所述机械手下降挂板(14)安装在机械手θ向旋转轴(11)上，所述机械手电动抬升丝杠(12)用于使机械手下降挂板(14)进行上下运动，对机械手下降挂板(14)的上限位方式为硬限位，下限位方式为触碰所述机械手Z向抬升下到位开关(13)；

所述机械手真空取片机构(4)包括有机械手自锁机构(7)，所述机械手自锁机构(7)安装于机械手下降挂板(14)上，所述机械手自锁机构(7)包含机械手自锁锁紧气缸(15)、机械手取片吸盘(16)和取片吸盘上到位开关(17)，所述机械手自锁机构(7)用于利用机械手取片吸盘(16)与气动旋转预上片台系统(2)接触并微量Z向抬升，机械手取片吸盘(16)触碰到取片吸盘上到位开关(17)产生信号驱动机械手自锁锁紧气缸(15)实现锁紧操作；

所述气动旋转预上片台系统(2)通过燕尾槽结构挂于预上片台固定立墙(18)上，所述气动旋转预上片台系统(2)包括有预上片气动旋转机构(3)、转台机构；

所述预上片气动旋转机构(3)包括有气动旋转机构(19)、转轴(20)和旋转到位开关(21)，所述气动旋转机构(19)通过燕尾槽结构安装在预上片台固定立墙(18)指定位置，所述气动旋转机构(19)用于通过转轴(20)带动所述转台机构进行转动，所述旋转到位开关(21)用于对转台机构进行限位；

所述转台机构包括旋转盘(22)、上片承片台(23)、旋转挡块(24)和下片承片台(25)，所述下片承片台(25)和上片承片台(23)分别位于所述旋转盘(22)的上表面两侧，所述旋转盘(22)下端对应位置连接转轴(20)在转动过程中通过安装于旋转盘(22)底部的旋转挡块(24)实现限位，所述机械手自锁机构(7)能够通过机械手取片吸盘(16)与上片承片台(23)接触并微量Z向抬升。

2.根据权利要求1所述的一种半导体设备用机械手与预上片台系统，其特征在于：所述机械手系统(1)包括机械手固定台(8)、机械手旋转气缸(9)、机械手旋转滑块(10)、机械手θ向旋转轴(11)、机械手电动抬升丝杠(12)、机械手Z向抬升下到位开关(13)、机械手下降挂板(14)、机械手自锁锁紧气缸(15)、机械手取片吸盘(16)、取片吸盘上到位开关(17)，所述机械手旋转气缸(9)安装在机械手固定台(8)上，所述机械手旋转滑块(10)安装在机械手固定台(8)对应θ向滑轨上，所述机械手θ向旋转轴(11)安装在机械手固定台(8)并使得机械手θ向旋转轴(11)的挡块与机械手旋转滑块(10)配合，所述机械手电动抬升丝杠(12)安装在机械手固定台(8)对应位置，所述机械手Z向抬升下到位开关(13)安装在机械手Z向电动抬升机构(6)指定位置，所述机械手下降挂板(14)安装在机械手电动抬升丝杠(12)上，并且置于机械手Z向电动抬升机构(6)的Z向滑轨中，所述机械手自锁锁紧气缸(15)安装于机械手自锁机构(7)的指定位置，所述机械手取片吸盘(16)安装于机械手前端位置，所述取片吸盘上到位开关(17)安装于机械手取片吸盘(16)上部位置。