[发明专利]测试设备以及测试单元在审
| 申请号： | 202210485871.1 | 申请日： | 2022-05-06 |
| 公开（公告）号： | CN114975366A | 公开（公告）日： | 2022-08-30 |
| 发明（设计）人： | 张硕文;李宥贤;刘明达;张元耀 | 申请（专利权）人： | 台湾积体电路制造股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L23/544 | 分类号： | H01L23/544;H01L23/48 |
| 代理公司： | 南京正联知识产权代理有限公司 32243 | 代理人： | 王素琴 |
| 地址： | 中国台湾新竹科*** | 国省代码： | 台湾;71 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本说明书的一个方面涉及一种测试设备，包含：进阶程序控制监视器(APCM)，位于第一晶片中；多个衬垫，设置于进阶程序控制监视器上方且耦合到进阶程序控制监视器。多个衬垫位于第二晶片中。测试设备包含设置于第一晶片与第二晶片之间的测试单元。测试单元耦合到进阶程序控制监视器。测试单元包含介电质内的金属结构。测试设备包含在第一方向上从第一晶片穿过测试单元的介电质延伸到第二晶片的多个硅穿孔(TSV)。 | ||
| 搜索关键词： | 测试 设备 以及 单元 | ||
【主权项】：
暂无信息
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