[发明专利]基于全景分割的半导体自动分区方法有效
| 申请号： | 202111508151.4 | 申请日： | 2021-12-10 |
| 公开（公告）号： | CN113902765B | 公开（公告）日： | 2022-04-12 |
| 发明（设计）人： | 糜泽阳;张记霞;郑军 | 申请（专利权）人： | 聚时科技（江苏）有限公司 |
| 主分类号： | G06T7/11 | 分类号： | G06T7/11;G06T7/12;G06T7/13;G06T7/187;G06T5/00;G06T1/20;G06N5/04 |
| 代理公司： | 武汉天领众智专利代理事务所(普通合伙) 42300 | 代理人： | 杨建军 |
| 地址： | 210044 江苏省南京市*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明属于半导体缺陷检测与图像处理技术领域，具体涉及一种基于全景分割的半导体自动分区方法，本方法基于全景分割网络，首先收集若干产品的模板数据作为全景分割网络的训练数据，模板数据包含模板图片和mask图片；将mask图片中材质定义为stuff，在模板图片上任意位置生成随机大小的颜色块，并将颜色块映射到mask图片上定义为things；其次采用训练数据训练全景分割网络，得到可以进行半导体自动分区建模的全景分割网络。将带分区图片输入该全景分割网络即可得到分区模板，该方法可以解决传统分区方案中调参繁琐、结构适应性弱、分区耗时等问题。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 全景 分割 半导体 自动 分区 方法 | ||
【主权项】：
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